清洗-光胶涂布-显影装置-加热及传送单元国际招标公告(1)-0730-224011020007/29
清洗-光胶涂布-显影装置-加热及传送单元国际招标公告(1)-0730-224011020007/29
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 清洗-光胶涂布-显影装置-加热及传送单元 | 2套 | (1)本系统是自动流水线处理系统中DH-Bake、Soft-Bake及传送部分,可以进行基板加热烘干、HMDS喷涂、预烘烤、传送,可在短时间(节拍时间)内对CFOT黄光制程进行高精度处理;(2)CFOT脱水烘烤炉构成:Robot Fence 1+DB(HMDS)*3+CP*2+Robot Fence 2+Turn+Buffer*6(3)CFOT脱水软烤炉构成:Robot Fence 3+HP*4+CP*2+Robot Fence 4+Turn(Conveyor)+Buffer*15。 | 0730-224*****0007/29 |
标签: 国际
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