燕东科技8英吋产线清洗类设备采购国际招标公告(2)-0610-2240IH010500
燕东科技8英吋产线清洗类设备采购国际招标公告(2)-0610-2240IH010500
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 8英寸旋转腐蚀清洗设备 | 1台 | 实现半导体集成电路硅片制造流程中“对硅片进行背面湿法刻蚀、清洗、干燥”的工艺。 | 招标编号:0610-2240IH****** |
2 | SiN Wet bench(氮化物去除)设备 | 1台 | 实现半导体集成电路硅片制造流程中“氮化物湿法去除”的工艺 | 招标编号:0610-2240IH****** |
3 | Al Etch (铝刻蚀)设备 | 1台 | 实现半导体集成电路硅片制造流程中“金属Al湿法蚀刻的”的工艺 | 招标编号:0610-2240IH****** |
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