锗硅选择性外延去氧化腔 国际招标公告(1)
锗硅选择性外延去氧化腔 国际招标公告(1)
上海圣博华康投资管理有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2014-09-22在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:包一:锗硅选择性外延去氧化腔1台
包二:激光快速退火(镍金属硅化物) 1台
资金到位或资金来源落实情况:已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:****-********0022/01
招标项目名称:锗硅选择性外延去氧化腔
项目实施地点:中国上海市
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 锗硅嵌入沟槽蚀刻 | 1 | 用于12吋半导体生产线配套设备 |
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