大尺寸高真空多源共蒸发沉积系统(ZBZXJJ20220171)采购公告
大尺寸高真空多源共蒸发沉积系统(ZBZXJJ20220171)采购公告
项目名称 | 大尺寸高真空多源共蒸发沉积系统 | 项目编号 | ZBZXJJ******** |
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公告开始日期 | 165*****80000 | 公告截止日期 | 165*****00000 |
采购单位 | 四川大学 | 付款方式 | 进口设备:甲方与所委托的进口代理公司签订代理进口委托协议后,将进口项目货款支付给代理公司指定的银行账户,项目货款仅用于本进口项目的信用证或TT付汇及进口相关费用等。进口代理公司收到甲方合同货款后,按外贸合同要求及时履行与乙方委托的境外代理公司的付款义务。国产设备:甲方应在完成验收并建立固定资产后向乙方一次性支付本合同的总款项,乙方须向甲方出具合法有效完整的完税发票及凭证资料进行支付结算。 |
联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
签约时间要求 | 无 | 到货时间要求 | 成交后20个工作日内 |
预 算 | ******.0 | ||
收货地址 | 四川大学望江校区一环路南一段24号 | ||
供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
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大尺寸高真空多源共蒸发沉积系统 | 1 | 套 | 其他特种设备 |
品牌 | 亚润丰 |
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型号 | LN-FS1006 |
品牌2 | 无 |
型号 | 无 |
品牌3 | 无 |
型号 | 无 |
预算 | ******.0 |
技术参数及配置要求 | 1设备名称:大尺寸高真空多源共蒸发沉积系统2主要功能:在高真空环境下,制备大尺寸的光电器件。应用于薄膜太阳能电池、发光器件、探测器等光电器件的制备,金属电极的制备。3主要技术参数及要求 ★3.1工作原理:蒸发镀膜是加热金属材料使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。 ★3.2真空系统:采用高性能泵组结构,半小时内达到小于等于3×10-4Pa;腔体的真空极限优于2×10-5Pa;分子泵需1200L 和机械泵需8L。3.3腔体部分:前后两个门,前门配有玻璃观察窗与防污挡板;两门均可单独打开, 与手套箱相连。★3.4基片架:旋转基片架可放1个基片。基片最大尺寸为156*156mm。基片架转速为0-30转/分(转速可调)。蒸镀均匀度优于±3%。基片总挡板,气动控制,通过触摸屏操作。(需提供实物图片)★3.5蒸发源及蒸发电源:配6个恒流控制金属蒸发源。可蒸发金、银和铝等金属。每组蒸发源需配有独立防污档板或防污罩。★3.6膜厚探测:膜厚探测系统可现实不同的材料;膜厚控制精度0.01埃;可实现膜厚清零操作,清零之后按新的膜厚重新计算;可显示晶振质量或寿命等参数;膜厚测量仪需是:INFICON (STM-2XM 两通道);★3.7操作系统及控制方式:将电气部件集成于设备机架中采用触摸屏界面操作蒸镀过程,并采用人机友好界面中文操控系统;抽真空和停真空可以一键操作。蒸发源的独立挡板采用触摸屏操作。3.8真空室防污板:真空室上方、左侧、右侧、前后门和玻璃观察窗都配有防污板(不锈钢材质),需提供两套,以便清洗更换。(需提供实物图片)3.9 保护措施:对冷却水循环系统检测保护,温度检测保护,真空度检测保护,对泵与电源进行缺水、欠压、过压过流、断路等异常情况报警并采取有效保护措施,冷却水循环系统由冷却水循环机和冷却水路水流控制系统构成。4基本配置要求4.1大尺寸高真空多源共蒸发沉积系统:1套5原产地:国内6交货时间:四川省成都市四川大学望江校区,合同生效后20天内供货并安装调试完毕 7付款方式:货到验收通过后付全款 |
售后服务 | 服务年限:60月;电话支持:7x24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年; |
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