键合机、键合对准机,1套国际招标公告(1)
键合机、键合对准机,1套国际招标公告(1)
中招国际招标有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2014-09-29在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:中招国际招标有限公司受业主委托对下列产品及服务进行国际公开招标:热切机、键合机、键合对准机、接触式光罩对准及曝光设备、离子注入机、真空探针台、电化学C-V分布仪、电子束蒸发台、激光封焊系统、金属溅射设备、晶圆微电镀系统
资金到位或资金来源落实情况:资金已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0618-144TC1402AGE/02
招标项目名称:键合机、键合对准机,1套
项目实施地点:中国安徽省
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 热切机 | #REF! | *3.1.1切割模式:具备自动切割、手动切割两种工作方式,自动切割过程中可手动干预。 | 1包 |
2 | 键合机、键合对准机 | 1套 | *1.2.1晶圆尺寸: 6英寸 | 2包 |
3 | 接触式光罩对准及曝光设备 | 1套 | *1. 功能要求:具备对要求尺寸(40mm、60mm)的基片进行套准控制及曝光能力的全新设备。 | 3包 |
4 | 离子注入机 | 1台 | *2.3注入离子能量范围:100Kev~900Kev(单电子态) | 4包 |
5 | 真空探针台 | 1台 | *2.1可测试晶圆尺寸:4英寸和6英寸圆片 | 5包 |
6 | 电化学C-V分布仪 | 1台 | *2.1.1基片材质和尺寸:多层同性掺杂、多层异性掺杂的半导体片;最小可检测基片5mm*5mm,可检测φ40mm、φ60mm的基片; | 6包 |
7 | 电子束蒸发台 | 1台 | *3.1设备主体结构:设备主要包括腔室系统、真空系统、自动控制系统。 | 7包 |
8 | 激光封焊系统 | 1套 | *3.1.2焊接尺寸:10mm×10mm~230mm×230mm,盖板厚度0.1mm~3mm。 | 8包 |
9 | 金属溅射设备 | 1台 | *2.1真空系统主要指标:a.极限真空:优于3 x 10-7torr;b.真空抽速:30分钟从大气抽到5 x 10-7torr;c.真空室漏率小于1E-6Pa m3/s;d.泵组配置:干泵、冷泵。 | 9包 |
10 | 晶圆微电镀系统 | 1套 | *1、功能要求:具备在Φ40mm和Φ60mm基片上电镀生长金、铜、镍金属薄膜的全新设备。 | 10包 |
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