引进凸点自动检测仪国际招标公告(2)
引进凸点自动检测仪国际招标公告(2)
苏美达国际技术贸易有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2014-10-16在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:01:12吋热氧化炉 1台;06:光学颗粒检测仪 1台; 12:凸点自动检测仪 1台; 13:退火炉 1台; 14:在线水清洗机 1台;详见货物需求一览表及技术规格。
资金到位或资金来源落实情况:已到位。
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0664-1440SUMEC209/12
招标项目名称:引进凸点自动检测仪
项目实施地点:中国江苏省
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 12吋热氧化炉 | 1台 | *3.1.3、恒温区精度≤±3℃,可满足单次氧化至少25片晶圆; | |
6 | 光学颗粒检测仪 | 1台 | *3.1.4、标准片: 随机发货两片VLSI标准片; | |
12 | 凸点自动检测仪 | 1台 | *3.1.1、设备可全自动作业并兼容8&12inch bare wafer(最薄厚度,8inch:250um;12inch:450um) and framed wafer; | |
13 | 退火炉 | 1台 | *3.1.3、恒温区精度≤±1oC,可满足单次退火25片晶圆,晶圆采取平放的方式;*3.1.5、降温速率可调,1 oC-2 oC /min; | |
14 | 在线水清洗机 | 1台 | *3.1、12 英寸兼容8 英寸,晶圆干进干出; |
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