金属有机热蒸发-沉积镀膜设备（FJNU-JJ-220033）采购公告
金属有机热蒸发-沉积镀膜设备（FJNU-JJ-220033）采购公告
| 项目名称 | 金属有机热蒸发-沉积镀膜设备 | 项目编号 | FJNU-JJ-****** |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 165*****38000 | 公告截止日期 | 165*****00000 |
| 采购单位 | 福建师范大学 | 付款方式 | 货到验收合格付清全款 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 成交后15日内 | 到货时间要求 | 签约后150个工作日内 |
| 预 算 | ******.0 | ||
| 收货地址 | 福建师范大学旗山校区15号楼9层 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 金属有机热蒸发-沉积镀膜设备 | 1 | 台 | 其他特种设备 |
| 品牌 | 奇汇 |
|---|---|
| 型号 | QHV-R96 |
| 品牌2 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 品牌3 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 预算 | ******.0 |
| 技术参数及配置要求 | 1. 真空室：方形结构，内尺寸约400×420×550mm，内外表面喷丸处理,外表电解处理。内外开门结构，外门折页方式，内门隐藏式侧滑导轨方式。外门下方为DN90mm的胶圈石英观察窗，上方为DN190×100的胶圈观察窗。上下观察窗都安装有手动挡板。内门下方有一个DN90的胶圈密封观察窗，观察窗有手动挡板。真空室侧板开孔，安装分子泵系统。底板上安装蒸发电极。真空室顶部安装样品架。2. 极限真空：优于4×10-5Pa（新设备）3. 漏 率：6.7×10-8Pa·L/S4. 工作真空：5×10-4Pa，从大气到工作真空时间小于30分钟（新设备冷态下，充干燥N2） 5. 系统保压：系统抽到极限后，停泵关机12小时后，系统真空度保持状态≤2Pa。6. 样品尺寸：100×100mm.7. 样品托尺寸：106×116mm.8. 样品架与源表面距离：300mm9. 蒸发源：金属源×4套。有机源×6套。共阴极。 并安装有相应挡板。10. 蒸发电源：进口电源×4套。11. 样品架：电动旋转，水冷。12. 真空室开腔形式：手动前后大开门结构13. 膜厚探头：水冷5只，安装在样品架下方。14. 真空计：冷规方式。15. 分子泵系统：1200L（*****转/分）分子泵+8L/S机械泵系统。16. 膜厚仪：进口4通道同时显示测量，测量精度0.01A/S。17. 设备控制：全自动控制，全自动抽真空，全自动镀膜。18. 验收后提供1年的免费维修，终身维护。 |
| 售后服务 | 服务年限:质保期两年; |
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