金属有机热蒸发-沉积镀膜设备(FJNU-JJ-220033)采购公告
金属有机热蒸发-沉积镀膜设备(FJNU-JJ-220033)采购公告
项目名称 | 金属有机热蒸发-沉积镀膜设备 | 项目编号 | FJNU-JJ-****** |
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公告开始日期 | 165*****38000 | 公告截止日期 | 165*****00000 |
采购单位 | 福建师范大学 | 付款方式 | 货到验收合格付清全款 |
联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
签约时间要求 | 成交后15日内 | 到货时间要求 | 签约后150个工作日内 |
预 算 | ******.0 | ||
收货地址 | 福建师范大学旗山校区15号楼9层 | ||
供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
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金属有机热蒸发-沉积镀膜设备 | 1 | 台 | 其他特种设备 |
品牌 | 奇汇 |
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型号 | QHV-R96 |
品牌2 | 无 |
型号 | 无 |
品牌3 | 无 |
型号 | 无 |
预算 | ******.0 |
技术参数及配置要求 | 1. 真空室:方形结构,内尺寸约400×420×550mm,内外表面喷丸处理,外表电解处理。内外开门结构,外门折页方式,内门隐藏式侧滑导轨方式。外门下方为DN90mm的胶圈石英观察窗,上方为DN190×100的胶圈观察窗。上下观察窗都安装有手动挡板。内门下方有一个DN90的胶圈密封观察窗,观察窗有手动挡板。真空室侧板开孔,安装分子泵系统。底板上安装蒸发电极。真空室顶部安装样品架。2. 极限真空:优于4×10-5Pa(新设备)3. 漏 率:6.7×10-8Pa·L/S4. 工作真空:5×10-4Pa,从大气到工作真空时间小于30分钟(新设备冷态下,充干燥N2) 5. 系统保压:系统抽到极限后,停泵关机12小时后,系统真空度保持状态≤2Pa。6. 样品尺寸:100×100mm.7. 样品托尺寸:106×116mm.8. 样品架与源表面距离:300mm9. 蒸发源:金属源×4套。有机源×6套。共阴极。 并安装有相应挡板。10. 蒸发电源:进口电源×4套。11. 样品架:电动旋转,水冷。12. 真空室开腔形式:手动前后大开门结构13. 膜厚探头:水冷5只,安装在样品架下方。14. 真空计:冷规方式。15. 分子泵系统:1200L(*****转/分)分子泵+8L/S机械泵系统。16. 膜厚仪:进口4通道同时显示测量,测量精度0.01A/S。17. 设备控制:全自动控制,全自动抽真空,全自动镀膜。18. 验收后提供1年的免费维修,终身维护。 |
售后服务 | 服务年限:质保期两年; |
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