刻蚀机调试（清设比选20220761号）采购公告

招 标 正 文
 

刻蚀机调试（清设比选20220761号）采购公告

采购项目名称刻蚀机调试采购项目编号清设比选********号
公告开始时间2022-06-07 01:03:20公告截止时间2022-06-10 02:00:00
采购单位清华大学付款方式合同签订后付款30%，验收合格后一周付尾款70%
对外联系人本项目不接受咨询联系电话本项目不接受咨询
签约时间要求成交后5个工作日(如不按时签订合同，采购单位有权取消或变更采购结果)交货时间要求签订合同后5个工作日
最高限价未公布
交货地址北京市清华大学微纳加工中心
供应商特殊资质要求

;有5年以上lam 9400 9600相关设备调机业务，调机人员要求具备10台以上lam 9400 9600相关设备调机经验，并提供相应证明材料。(必选)

无

采购清单1
物资名称采购数量计量单位
刻蚀机调试1套
品牌品牌1
型号
品牌2
型号
品牌3
型号
单价￥
技术参数及配置要求Lam9400等离子刻蚀机：
1、本底真空：工艺腔0-0.3 mTorr，传片腔<300mTorr
2、漏率：工艺腔<2 mTorr/min，传片腔< 30mTorr/min
3、工艺压力范围：设定值2%
4、流量计精确度：<±3%（满量程）
5、压力稳定时间：第一步工艺前15秒内
6、气体流量计测试（最大流量80%）：设定值≤设定值*(±5%)
7、射频电源参数：≤ (±5%)设定值
8、连续运行无报警：>1000Cycle
9、腔室温度精确性：<±5%设定值
10、由于机械原因导致的气体颗粒增加：<30 ea (>0.16um)
11、晶圆碎片率：<1/2000
12、多晶硅刻蚀速率及均匀性：5000±200?/min/<±2%
13、氧化硅刻蚀速率及均匀性：2400±200?/min/<±4%

Lam9600se等离子金属刻蚀机：
1、本底真空：工艺腔0-0.3 mTorr，去胶腔0-100 mTorr，传片腔<300mTorr
2、漏率：工艺腔<2 mTorr/min，去胶腔<20m mTorr传片腔< 30mTorr/min，
3、工艺压力范围：设定值2%
4、流量计精确度：<±3%（满量程）
5、压力稳定时间：第一步工艺前15秒内
6、气体流量计测试（最大流量80%）：设定值≤设定值*(±5%)
7、射频电源参数：≤ (±5%)设定值
8、连续运行无报警：>1000Cycle
9、腔室温度精确性：<±5%设定值
10、由于机械原因导致的气体颗粒增加：<30 ea (>0.16um)
11、晶圆碎片率：<1/2000
12、金属铝刻蚀速率及均匀性：6500±500?/min/<±8%
13、去胶剥离速率及均匀性：>*****?/min/<±8%

首付款后5个工作日调试人员到位
质保期6个月

清华大学

2022-06-07 01:03:20

标签: 刻蚀

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