表面化学催化剂制备系统招标公告

招 标 正 文
 

表面化学催化剂制备系统招标公告


项目名称表面化学催化剂制备系统项目编号JJ**********
公告开始日期2022-06-07 10:35:21公告截止日期2022-06-10 12:00:00
采购单位福州大学付款方式
联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求成交后30个工作日内到货时间要求内贸：合同签订后30个工作日内
预算总价￥ ******.00
发票要求
收货地址福州大学旗山校区泉港楼北102
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件




采购清单1
采购商品采购数量计量单位所属分类
表面化学催化剂制备系统1台其他仪器

品牌中国重庆诺图科技有限公司
型号D100-4882
预算单价￥******.00
技术参数及配置要求1、采用不锈钢设备框架，抗指纹不锈钢，钢板厚度大于1.8 mm
2、全抛光一体式不锈钢反应器
1.1、反应器内径≥150毫米，满足基片尺寸≥4英寸要求；
1.2、反应器采用浇铸电阻丝进行加热并导热，便于进行温度均匀性调控，加热温度：室温~400 ℃，控制精度±0.1 ℃；
1.3、反应器盖子采用双层设计，并填充保温层，增加温度稳定性和均匀性。
3、不锈钢管路
3.1、配备不锈钢载气管路、前体管路和尾气管路；
*3.2、前体管路配置4路源，每路采用进口耐高温、高速专用电磁阀门，工作压力范围：真空～10.0bar，工作温度：0～200℃；
3.3、配备VCR接口、不锈钢原料瓶和2个VCR接口隔膜阀，用于易燃易爆前体；
3.4、配置4个加热套，对进气管路和3路源进行加热，加热温度范围0~200 ℃，精度±0.1 ℃。配备耐高温VCR接口大通径球阀，避免粉末前体堵塞管路。
*4、沉积厚度均匀性偏差：< +/- 1%（以三甲基铝和水为前体沉积Al2O3为参考，沉积温度150 ℃）；
*5、臭氧系统配置高浓度臭氧发生器、O2/O3气体管路和精密数字流量计，控制精度±0.3 sccm，臭氧产量大于6g/h，另外，配置重复性良好装置；
6、温控系统采用8通道高精度PID温控系统，且采用固体继电器控温，节能高效，温控精度±0.1 ℃；
*7、气动控制采用进口8通道集成高速阀岛，其中1路用于控制尾阀、4路用于控制前体源（最大可扩展至7路源），工作压力范围：－0.9～10.0 bar；
8、采用高速机械真空泵，抽速≥3L/s，极限压力≤9×10-3 mbar，配备KF快接接口，方便装卸；配油雾过滤器，用于吸附过量的反应物；
9、工作压力≥1mbar，通过程序控制载气流量，宽范围可调，控制精度为±1Pa；
10、设备总功耗小于3000W，且设置有停电保护功能和漏电保护功能；
11、高度集成的控制系统软件
11.1、设备由电脑控制。方便程序升级、更新、沉积工艺加载和保存；
11.2、沉积软件采用高度集成整合界面，可在同一界面方便地对沉积参数进行控制；
11.3、程序自动记录沉积参数（截屏保存）、气压、沉积线路等，并可长久保存；
*11.4、 配备Close type和Flow type两种模式，程序可任选两种模式中的一种，一键设定；
*11.5、沉积序列设置方便，可交替循环，并能实现多层交替复合膜、多层多组分变化的梯度膜的沉积；
11.6、程序设计有最高气压限制、温度范围限定，防止CVD反应。
售后服务质量保证期:验收合格之日起算一年;服务网点:国内;维修响应时限:报修后2小时内响应;电话支持:7×24小时;备用机:48小时内无法排除故障，免费提供同档次备用机;质保期外:质保期外承担终身维修服务，维修过程只收取配件费，且以最优惠价格提供;暂无;

福州大学

2022-06-07 10:35:21


联系人：郝工
电话：010-68960698
邮箱：1049263697@qq.com

标签: 化学

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