公告日期：2014年10月31日
采购名称：西安交通大学电信学院高精度光刻压印系统
招标单位：西安交通大学采购与招标管理办公室
　　西安交通大学根据政府采购法律法规和学校管理规定, 拟以招标方式采购下列货物。
一、招标采购项目内容及数量：高精度光刻压印系统(1台)
　　1.目的和用途：
　　　本设备用于半导体器件制备工艺中各种薄膜材料的纳米级图形压印加工，是为了获得器件殊结构设计的关键工艺步骤之一，也是固态照明工程研究中心开展各种半导体器件工艺研究工作的关键性设备。
　　2.技术指标及参数要求：
　　a) 适用晶圆尺寸：满足2-4寸晶圆及不规整碎片的紫外或热压印操作，可升级至6寸压印功能，提供多种曝光工作方式，可曝光光刻胶厚度范围不小于100nm-100um；
　　b) 汞灯曝光能量及均匀性：高性能汞灯提供恒功率和恒光强控制模式，365nm/405nm波长下曝光光强不低于15mW/cm2，汞灯使用寿命不小于1000小时，光强均匀性优于±5%（以4寸晶圆9点测量数据为基准）；
　　c) 曝光功能分辨率: 图形分辨率优于1um（1um厚度光刻胶，真空接触模式），光刻对准精度优于±0.8um；曝光时间可调范围不小于0.1秒-999秒，光刻版与曝光基片间距可调且提供数据显示，具有基片自动找平功能，并具备接触保护功能，防止基片压坏掩膜；
　　d) 对准工作台：X/Y/Z/θ方向均可采用粗调/微调进行位置调整， X/Y方向行程不小于±5mm，旋转轴θ不小于±5度，精度优于0.1um。Z方向可调范围（几片和掩膜间距）不小于1um-300um，精度优于1um；
　　e) 曝光夹具：提供2寸、4寸曝光掩膜夹具各一套，相应的晶圆片承载卡盘各一套，手动装卸掩膜版和基片；
　　f) 对准显微系统：正面双视场CCD对准系统，配有高中低三个倍率物镜，放大倍率可调且满足100 – 850倍范围，配置背面双视场CCD对准系统，其放大最高倍率不低于200倍，对准精度优于±1um；
　　g) 纳米压印系统：软膜紫外压印，压印分辨率最高优于100nm，压印重复精度±10nm，残留紫外压印胶层厚度小于50nm，残留胶层均匀度优于±20nm（4寸晶圆9点测量）；
　　h) 压印软膜版尺寸适用2-4寸晶圆，软膜使用寿命不少于50次，可适应曲面、矢高不小于10um(口径300mm-10MM，凹凸均可)；提供10个典型工艺配方，提供机台验证使用的软模板、压印胶，并提供压印模板和压印胶供应信息及报价，备注不少于3家LED蓝宝石图形衬底用户名单；
　　i) 提供光强计以及不少于3只备用紫外汞灯，配防震工作台、维修工具包，配置无油式真空泵，确保晶圆工作台真空吸附牢靠且稳定；基于windows计算机控制系统（显示屏不小于17寸），配有专用操作软件用于压印工艺控制和数据保存，系统具有报警和过载保护功能。
　　3.环境要求
　　a) 主机占地面积不超过1.8m（W）X 2.0m（D）X 1.9m（H）；
　　b) 电源：三相220/380±20%，50-60Hz，三相五线制（三相线，一中线，一地线）；
　　c) 其他排气、工艺冷却水、压缩空气等动力条件需在文件中提供清晰。
二、投标人的必备资格要求：
　（一）投标人必须符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条之规定；
　（二）投标人要具有独立法人资格、税务登记证、相关货物经营许可证，具有良好的企业形象和信誉，良好的银行资信状况；
　（三）投标人在近三年内没有违法行为，在以往政府采购活动中没有违规和违约行为。
三、投标报名或资格预审必须提供的资质证件和材料：
　（一）法定代表人授权委托书（加盖公章）；
　（二）生产商针对本项目产品授权书原件和1份复印件；
　（三）工商营业执照副本原件和1份复印件（原件验后归还，复印件须加盖公章）；
　（四）《税务登记证》、《中华人民共和国组织机构代码证》原件和各1份复印件（原件验后归还，复印件须加盖公章）；
　（五）被委托人身份证原件及法人和被委托人身份证复印件（原件验后归还，复印件须加盖公章）。
四、报名时间：2014-10-31至2014-11-10 (上午8:30-11:30 下午2:30-5:30 国家法定节假日及周三下午除外)
五、报名地点：
　　地址1：西安市咸宁西路28号西安交通大学主楼E座0908室
　　地址2：西安市咸宁西路28号西安交通大学计算机教学实验中心七楼
　　联系人：柴老师
　　联系电话：***-******** ********
　　电子邮箱：xlchai＠mail.xjtu.edu.cn
　　邮编：710049

　　欢迎符合条件的供应商参加投标。
注：
　　投标人须对其所提供资料的真实性、合法性、有效性负责，如有作假，一经发现立即取消投标资格，并将其列入不良行为记录名单，同时在网上进行实名通报，一至三年内禁止参加西安交通大学的采购活动。
　　报名公司将由采购办按照相关规定进行遴选，没有被遴选入围参与投标的报名公司，恕不另行通知。
西安交通大学采购与招标管理办公室
二0一四年十月三十一日