8英寸多层精密光学薄膜真空溅射镀膜设备国际招标公告(1)-1219-224YBHW01001
8英寸多层精密光学薄膜真空溅射镀膜设备国际招标公告(1)-1219-224YBHW01001
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 8英寸多层精密光学薄膜真空溅射镀膜设备 | 1 | 招标设备为光学真空镀膜机,采用等离子溅射或磁控溅射工艺,可实现膜层层数多达200层多种光学薄膜膜系的真空镀制。该设备目标为制造各种精密干涉滤光片产品,波长范围330-2500nm,镀膜膜层材料为Ta2O5,TiO2,Nb2O5,SiO2, Al2O3,SiN,SiH等,支持混合材料镀制。能镀制各种不同膜系,包括带通,长波通,短波通,负滤光片等各种不同光谱性能的滤光片产品。具体详见招标文件 |
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