800G光接收端多项目晶圆有源流片服务单一来源公示

一．采购人名称：

之江实验室

二．单一来源编号：

ZJLAB-FS-QT*******

三．采购项目名称：

800G光接收端多项目晶圆有源流片服务

四．采购项目概况：

序号：1

项目名称：800G光接收端多项目晶圆有源流片服务

数量：1

单位：项

预算金额： 90万元人民币

简要规格描述：

标准无源工艺：含70nm、60nm、90nm三次硅刻蚀工艺；制作TiN热电极；

标准有源工艺：8种硅波导掺杂工艺、金属电极工艺、高速Ge/Si探测器工艺；

提供高性能PDK：可提供稳定、损耗较低的PDK:

边缘耦合器：在O波段损耗＜2dB；

MMI：（1x2）在O波段损耗＜0.4dB，（2x2）在O波段损耗＜0.7dB；

高速锗硅探测器：带宽＞35 GHz，响应度＞0.8 A/W

五．拟采用的采购方式：

单一来源采购方式

六．申请理由：

800G硅基光接收集成芯片课题目前已经完成全部所需器件以及接收端集成芯片的设计仿真，并完成部分器件的EBL仿CMOS工艺试制与测试，以及一次标准CMOS工艺流片。鉴于标准CMOS工艺流片所需时间通常在半年左右，且可能会遇到因疫情延期的情况，为完成项目节点任务，需要在2022年下半年进行多项目晶圆（MPW）流片。

此次MPW流片用于验证光接收端硅基集成芯片可行性，根据器件的设计需求，流片工艺需要包含标准硅基有源工艺，并且提供性能较好的PDK器件。由于所设计器件面积较大，单个区块面积不足以放置完整器件，为器件测试需购置多项目圆晶上的两块区域。

七．拟定供应商：

1、拟定供应商名称

CompoundTek

2、拟定供应商地址

5, International Business Park, #02-07A Mewah Building, Singapore

八．论证专业人员信息及意见：

专业人员姓名：樊中朝

专业人员工作单位：中科院半导体研究所

专业人员职称：研究员

专业人员姓名：李志华

专业人员工作单位：中国科学院微电子研究所

专业人员职称：研究员

专业人员姓名：李志勇

专业人员工作单位：中科院半导体研究所

专业人员职称：研究员

具体论证意见：

2022年6月15日，之江实验室财务资产部采购与资产管理中心组织专家就智能网络研究院“800G光接收端多项目晶圆有源流片服务”单一来源采购进行了论证，专家组（名单附后）听取了该采购项目的汇报，就相关问题进行了提问和质询，在各位专家独立评价的基础上，经充分讨论，形成如下论证意见：

此次MPW流片用于验证光接收端硅基集成芯片可行性，根据器件设计需求，流片工艺需要包含标准硅基无源工艺和有源工艺，并且提供性能较好的PDK器件。

800G光芯片项目组前期在新加坡CompoundTek公司的硅光流片平台进行过芯片加工，此次加工器件为上次的迭代更新。由于各流片工厂的工艺参数有所差别，芯片性能对加工工艺十分敏感，为确保工艺有延续性，最终确定以新加坡CompoundTek公司作为本次800G光接收端多项目晶圆有源流片的唯一供应商。满足单一来源采购需求。

经专家组讨论，获得一致意见，同意CompoundTek作为本次800G光接收端多项目晶圆有源流片服务采购的唯一供应商。

注：CompoundTek公司在国内没有代理商，直接从厂商进口采购。

经专家组讨论，一致认为本次申请理由充分、合理，同意采用单一来源采购。

九．其它事项：

本项目公告期限为5个工作日，供应商对该项目拟采用单一来源采购方式及其理由和相关需求有异议的，可以在公示期限内（截止时间为本公示发布之日后的第6个工作日），以书面形式向采购人提出异议。

十．联系方式

采购人名称：之江实验室

联系人：柳老师

联系电话：0571-********

地址：浙江省杭州市文一西路1818号之江实验室

附件信息:

• 800G光接收端多项目晶圆有源流片服务-单一来源意见.pdf

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