磁控溅射镀膜机采购竞价公告
磁控溅射镀膜机采购竞价公告
| 项目名称 | 磁控溅射镀膜机采购 | 项目编号 | WUST-JJXM-******** |
| 项目编号 | WUST-JJXM-******** | ||
| 公告发布日期 | 2022/06/27 10:26 | 公告截止日期 | 2022/06/30 10:26 |
| 公告截止日期 | 2022/06/30 10:26 | ||
| 采购单位 | 武汉科技大学 | 付款条款 | 货到验收合格后一次性支付全款 |
| 付款条款 | 货到验收合格后一次性支付全款 | ||
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系手机 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 联系手机 | 中标后在我参与的项目中查看 | ||
| 是否本地化服务 | 否 | 是否需要踏勘 | 否 |
| 是否需要踏勘 | 否 | ||
| 踏勘联系人 | 踏勘联系电话 | ||
| 踏勘联系电话 | |||
| 踏勘地点 | 踏勘联系时间 | ||
| 踏勘联系时间 | |||
| 采购预算 | ￥193,000.00 | ||
| 送货/施工/服务期限 | 合同生效之日起20日内 | ||
| 送货/施工/服务地址 | 武汉市青山区武汉科技大学信息科学与工程学院 | ||
| 采购内容 | 是否进口 | 计量单位 | 采购数量 | 售后服务 | |
| 磁控溅射镀膜机 | 否 | 1 | 1 | 1.1、在设备到达目的地后，投标人派工程师到用户处免费进行设备的安装、调试。1.2.1、负责镀膜系统的现场安装和调试；1.2.2、提供设备的操作培训；1.2.3、提供设备的常见问题处理培训；1.2.4、提供有关镀膜工艺培训，有专业的镀膜工艺人员现场提供培训，并提供设备试机时的金属靶材。2.1保修：合同设备安装后，设备保修期为验收合格后1年。2.2合同设备出现故障时，投标人确保及时维修，并确保在接到用户方服务要求的2小时内作出回应。电话指导不能排除的故障，工程师可在1个工作日内到现场进行维修服务，仅收取材料成本费。 | |
| 参考品牌及型号 | 不限定品牌型号 | ||||
| 技术参数要求 | 1.真空系统及溅射真空室组件1.1 真空系统：8L机械泵+KYKY FF-160/620C分子泵,配备超高真空主阀+全自动节流阀；1.2真空室尺寸约300 mm ×300 mm× 350 mm，U型结构，正面开门结构，可烘烤100 ~ 150 度，选用优质不锈钢材料制造，氩弧焊接，表面进行特殊工艺抛光处理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封；真空室组件上焊有各种规格的法兰。2、磁控溅射靶组件至少2套 2.1、靶材尺寸：2英寸；2.2、永磁靶：射频溅射与直流溅射兼容，靶内有水冷； 2.3、气动控制挡板组件：3套；2.4、靶配有屏蔽罩，以避免靶材之间的交叉污染；2.5、倾斜向上溅射时，靶与样品距离60 ~ 130 mm可调并有调位距离指示。当直接向上溅射时，靶与样品距离40 ~ 80 mm可调，并有调位距离指示。3、单基片加热旋转台，基片通过加热丝加热方式，由热电偶闭环反馈控制，可控可调，精度±1 oC；温度均匀性在衬底上的偏差约≤ 2%；4、窗口及法兰接口部件 4.1、直径大于100玻璃窗口：1块； 4.2、陶瓷封接引线法兰：1个（内烘烤引线）；5、工作气路（溅射室）5.1、100 SCCM、50 SCCM质量流量控制器、进气截止阀、混气室、管路等：6、离子源配备一套离子源，用于辅助溅射。7、安装机台架组件型材框架，快卸围板表面喷塑处理；机台表面用不锈钢蒙皮装饰；四只脚轮，可固定，可移动；8、真空测量及电控系统8.1、电源机柜：2台（含供电电源，有断电保护功能）；8.2、控制电源：1台（为机械泵、电磁阀、升降电机等提供电源）；8.3、冷却水循环系统，制冷功率大于1P；水流报警系统：2套（对分子泵、磁控靶有断水报警切断电源等相应功能）；8.4、溅射室样品加热控温电源：1套（日本产控温表，可实现程序控温）；8.5、电机控制电源：1套；8.6、靶挡板电源：2套；8.7、加热烘烤及照明电源：1套；8.8、宽量程数显真空计：2套；测量范围：1.0 × 105 Pa ~ 1.0 × 10-5 Pa。8.9、100 SCCM、50 SCCM质量流量控制器：2套；8.10、分子泵控制电源：1套；8.11、500 W射频电源：1套（配自动匹配器）；8.12、500 W直流电源：1套；9、控制系统配备触摸屏自动控制，可实现全自动镀膜，提供ITO、AZO、氧化镍、氮化钛镀膜工艺； | ||||
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