公斤级粉体原子层沉积（ALD）（A-WZBX0236）采购公告
公斤级粉体原子层沉积（ALD）（A-WZBX0236）采购公告
| 项目名称 | 公斤级粉体原子层沉积（ALD） | 项目编号 | A-WZBX0236 |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 165*****24000 | 公告截止日期 | 165*****00000 |
| 采购单位 | 厦门大学 | 付款方式 | 无 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 无 | 到货时间要求 | 无 |
| 预 算 | ******.0 | ||
| 收货地址 | 厦门大学化学楼横楼16 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 公斤级粉体原子层沉积（ALD） | 1 | 台 | 无 |
| 品牌 | 无 |
|---|---|
| 型号 | 无 |
| 品牌2 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 品牌3 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 预算 | ******.0 |
| 技术参数及配置要求 | 1、不锈钢304真空反应腔体，全对称加热器，最高温度300°C，温度均一性＜3%；2、100Torr/1000torr薄膜规各一套，实时监控工艺真空度，极限压力 <50m Torr；3、样品桶可旋转，转速0-60RPM可调；4、自动控制加热，阀门和线路温度范围：环境温度~200°C；尾气管路温度范围：环境温度~150°C；5、配置防腐油泵，抽速≥15m3/hr，尾气过滤包括泵前级过滤，2个专用两级ALD尾气过滤系统；6、配备5路固体液体源，2路反应气体气路，包括1路吹扫气体，1路载气气路，全部配置MFC气体流量计；7、配置臭氧发生器, 集成最高浓度10%臭氧发生器及消除器1套；8、集成单工位手套箱1套，水含量≤1ppm, 氧含量≤1ppm;9、随机配备样品桶容量2个，极片架1个，常温双管源瓶500 ml，1个，可加热双管源瓶500 ml，4个，全自动控温：室温~200°C，15寸国际品牌触摸屏。10、软件控制系统包括所有工艺菜单，工艺过程参数，报警，设备运行的实时日志数据，数据为可下载的 CSV 格式，500GB 存储大小，USB 兼容，具备温度，压力，气体流量，源互锁，上下样，电气和气动控制异常报警。 |
| 售后服务 | 商品承诺:送货上门/安装调试/技术培训; |
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