项目概况

清华大学砂轮划片机 招标项目的潜在投标人应在登记报名网址：http://sbcgczxxfb.sysc.tsinghua.edu.cn获取招标文件，并于2022年07月26日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。

一、项目基本情况

项目编号：清设招第*******号

项目名称：清华大学砂轮划片机

预算金额：195.******0 万元（人民币）

采购需求：

设备用途介绍 ：砂轮划片机主要应用于体硅MEMS陀螺、加速度计等器件及先进集成中的划片工艺。

简要技术指标 ：

1）晶圆尺寸：8英寸兼容6英寸；PCB板尺寸：200mm×200mm向下兼容；

2）设备进刀速度：0.1~600mm/s；

3）Y轴步进精度≤0.1μm，切割范围≥210mm；

4）Y轴精度（移动精度）：≤2μm/5mm，≤3μm/210mm；

5）Z轴重复精度：≤1μm，分辨率：≤50nm。

合同履行期限：交货时间：合同签订后360日内

本项目(不接受)联合体投标。

二、申请人的资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

无

3.本项目的特定资格要求：1）在中华人民共和国境内注册；2）符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定的条件；3）通过“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）和中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）查询信用记录（截止时点为投标截止时间），被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商，没有资格参加本项目的采购活动；4）不接受联合体投标；5）单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得同时参加同一包号的政府采购活动；6）为某一包号提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加该包的其他采购活动；7）必须在线登记获取招标文件，否则没有资格投标。

三、获取招标文件

时间：2022年06月30日至2022年07月07日，每天上午8:00至14:00，下午12:00至16:30。（北京时间，法定节假日除外）

地点：登记报名网址：http://sbcgczxxfb.sysc.tsinghua.edu.cn

方式：登记报名网址：http://sbcgczxxfb.sysc.tsinghua.edu.cn

售价：￥0.0元，本公告包含的招标文件售价总和

四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点

提交投标文件截止时间：2022年07月26日 09点30分（北京时间）

开标时间：2022年07月26日 09点30分（北京时间）

地点：北京市海淀区清华大学华业大厦实验室处1区5层第一评标室（清华大学东南门东侧，无须办理入校手续）。

五、公告期限

自本公告发布之日起5个工作日。

六、其他补充事宜

无

七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。

1.采购人信息

名 称：清华大学　　　　　

地址：清华大学华业大厦1区5层实验室管理处　　　　　　　　

联系方式：李美珍，********；肖天鹏，********（技术咨询）　　　　　　

2.项目联系方式

项目联系人：李美珍

电　话：　　********