薄膜制备与超导测试仪器购置需求公示招标公告

招 标 正 文
 

薄膜制备与超导测试仪器购置需求公示招标公告

( 薄膜制备与超导测试仪器购置 )需求公示

项目名称

薄膜制备与超导测试仪器购置

是否预选项目

否

采购人名称

南方科技大学

采购方式

公开招标

财政预算限额（元）

*******

项目背景


实验室设备购置需求。

投标人资质要求


1）具有独立法人资格；
2）本项目不接受联合体投标，不允许分包，（不接受投标人选用进口产品参与投标）。
3）近三年内（即至少从___年_____月开始起算，供应商成立不足三年的可从成立之日起算）无行贿犯罪记录，由供应商营业执照住所地人民检察院出具《行贿犯罪档案查询告知函》。告知函自出具之日起2个月内有效，有效期到期日应在本项目公告日之后。投标人须在投标文件中提供《行贿犯罪档案查询告知函》扫描件，原件备查。

货物清单

序号采购计划编号 货物名称 数量单位备注财政预算限额(元)
1PLAN-2014-136001-000168薄膜制备与超导测试仪器购置1.0批*******.0

具体技术要求



名称
参数要求

双室高真空PECVD与磁控溅射集成镀膜系统
一、系统的主要组成及技术指标
该系统是一台高真空双室PECVD与磁控溅射集成联合镀膜系统，由PECVD沉积室、三靶磁控溅射镀膜室和公共部分组成。系统可用于开发纳米级的单层及多层功能膜和复合膜-可镀金属、合金、化合物、半导体、陶瓷膜(需配射频电源)、介质复合膜和其它化学反应膜等。
系统主要由PECVD沉积室、PECVD样品台、喷淋头组件、PECVD气路系统、溅射室、永磁磁控溅射靶（三个靶）、直流电源、射频电源、样品台、样品加热炉、泵抽系统、真空测量系统、气路系统、电控系统等组成。
二、PECVD室主要组成及技术指标
PECVD极限真空度：≤6.6x10-6Pa(经烘烤除气后，单独抽气)；
系统真空检漏漏率：≤5.0x10-8Pa.l/S；
系统从大气开始抽气：溅射室30分钟可达到6.6x10-4 Pa；
系统停泵关机12小时后真空度：≤5Pa；
1、真空反应室组件 1套
方形前开门结构，真空室尺寸300×300×280mm，方箱式前开门结构，前开门尺寸300×280mm，方便维护清洗，选用0Cr18Ni9（304）优质不锈钢材料制造，氩弧焊接，表面进行喷玻璃丸处理+电化学抛光国内最新表面钝化处理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封；
真空室组件上焊有各种规格的法兰接口如下：
1.1、CF100法兰接口：1个（观察窗口）；
1.2、CF16法兰接口：1个（放气阀）；
1.3、CF150法兰接口：1个（接分子泵）；
1.4、CF50法兰接口：1个（备用）；
1.5、CF35法兰接口：4个(接高真空电离规管、陶封引线1个、备用2个)；
1.6、CF16法兰接口：3个（低真空规管，薄膜规接口，备用）；
1.7、CF35法兰接口：1个(接旁抽口)；
2、样品台组件 1套
2.1、样品台布置在真空室的顶部，采用不锈钢铠装加热器，样品台可手动升降，具体见图纸。
2.2、上下升降功能可调节样品台与喷淋头之间的距离：从20mm－50mm连续可调, 并带有标尺指数显示，采用金属焊接波纹管+进口丝杠+进口光轴方式，升降平稳、无抖动，保证了电极与样品的平行度；
2.3、基片尺寸：最大150×150mm并向下兼容（也可根据用户要求定做）。
2.4、加热器及控温电源 ：1套
温度范围：室温－400°C，连续可调，控温精度±1°C。控温器采用日本进口FP93控温表有计算机通讯接口；
2.4、样品托组件： 1套
3、下电极喷淋头组件: 1套
下极板采用喷淋头结构，喷淋头尺寸：约为175×175mm，与样品台组成平行平板电
极辉光放电机构，喷淋头内有多层匀流板，使气体混合均匀。喷淋头与腔体及进气管路
之间绝缘，并设有电磁屏蔽,设计采用科仪专利设计。
4、窗口及法兰接口部件 1套
4.1、CF100玻璃窗口：1块；
4.2、 CF100观察窗挡板：1个；
4.2、CF35陶瓷封接引线法兰：1个（加热及测温引线）；
4.3、盲法兰：CF16：1个；CF35：2个；其它接口1个；
5、 工作气路 1套
5.1、气体种类：SiH4、NH3、CH4、N2O、Ar、H2（Ar和H2磁控溅射公用）
5.2、 质量流量控制器：共6路；
其中SiH4、NH3、CH4、N2O采用MKS产品，其它两路采用国产产品。
5.3、 管路、接头、模拟屏等：1套
5.4、 浮子流量计：5L/min（用于清洗管路和稀释尾排）
5.5、 密封气柜：1台（用于安装气路、小气瓶及相关部件）尺寸：500*550*1600mm；
5.6、 DG16放气阀、管路、接头等：1路（解除真空冲氮气）；
5.7、 高温裂解尾气处理装置(采用管式炉方式用来处理硅烷，)：1套
5.8、气路图最后和用户确认。
6、 工作气体抽气环组件 1套
6.1、在喷淋头四周均匀开有圆孔用做抽气口，使气体从喷淋头喷出后，像喷淋一样喷到样品表面后，从四周返回喷淋头周边的抽气口，最终经位于喷淋头下方的抽气口抽出。
工作气体抽气采用电动蝶阀+薄膜规进行控制。工作时，真空室内的真空度用薄膜规监控（国产品牌）
6.2、电动蝶阀一台（国产，与薄膜规联动用于控制工作真空度。）
7、 国产ZDF5201复合真空计进行测量。
三、三靶磁控溅射系统主要组成及技术指标
溅射室极限真空度：≤8.60x10-6Pa(经烘烤除气后)；
系统真空检漏漏率：≤5.0x10-8Pa.l/S；
系统从大气开始抽气：溅射室30分钟可达到6.6x10-4 Pa；
系统停泵关机12小时后真空度：≤5Pa；
1、溅射真空室 1套
真空室为圆筒形前开门结构，尺寸Ф450mmx400mm，全不锈钢结构。可内烘烤到100～150℃，选用不锈钢材料制造，氩弧焊接，表面进行电化学抛光国内首家钝化处理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封；手动前开门结构；靶安装在下底板，基片转台安装在上。
真空室组件上焊有各种规格的法兰接口如下：
1.1、 CF100法兰接口：1个（观察窗口）；
CF63法兰接口：1个（观察窗口）；
1.2、CF16法兰接口：2个（1路进气管路、放气阀）；
1.3、CF150法兰接口：1个（接分子泵）；
1.4、RF300法兰接口：1个（用来安装磁控靶和靶挡板）
1.5、RF300法兰接口：1个（用来安装样品台）
1.6、CF35法兰接口：5个(接高真空电离规管、旁抽口、陶封引线,备用2个)；
1.7、CF16法兰接口：2个（备用）；
2、磁控溅射系统 3套
2.1 、靶材尺寸：Ф60mm；
2.2 、提供靶材：测试靶材 3块；
2.3 、永磁靶（其中一个可溅射磁性材料)，射频溅射与直流溅射兼容，靶内水冷；
2.4 、进口SMC旋转气动控制挡板组件：3套；
2.5 、靶在下，向上溅射，共焦磁控溅射靶（溅射靶角度可调），分布在一个圆周上，各靶可独立/顺次/共同工作；
2.6 、500w直流电源2台（电压：500V，电流：1A）；
2.7 、1000w全自动调谐射频电源1台(进口HK SMITH)
2.8 、磁控靶与基片的距离可调，调节距离约为：90~130mm。
3、旋转转基片台 1套
3.1 基片尺寸和数量：4英寸样品一次放置1片；
3.2、基片通过进口加热丝加热方式，加热温度：室温—500°C，由热电偶闭环反馈控制，可控可调；
3.3、基片公转由调速电机驱动，转动速度0—30转/分连续可调；
3.4、进口SMC转角气缸样品挡板组件 1套；
4、窗口及法兰接口部件 1套
4.1、CF100玻璃窗口：1块；
4.2、CF63玻璃窗口：1块
4.3、CF35陶瓷封接引线法兰：1个（照明及内烘烤引线）；
4.3、盲法兰：CF16：2个；CF35：2个。
5、加热装置 1套
加热装置在真空室上法兰上，对基片托板进行加热，通过热电偶控制控温电源实现闭环控制，系统由加热器和1个加热控温电源组成，加热电源配备日本进口控温表，控温方式为PID自动控温及数字显示；样品加热温度：室温～500°C，连续可调；
6、工作气路 1套
6.1、100SCCM、20SCCM质量流量控制器（国产）、DN16气动截止阀、管路、接头等：共2路（与pecvd公用气路）
6.2、DN16气动充气阀、管路、接头等：1路（解除真空充入氮气）；
7、真空测量 1套
溅射室采用国产ZDF5201复合真空计进行测量
四、公用部分
1、抽气机组及阀门、管道 1套
1.1、进口德国普发分子泵及变频控制电源：1台（HIPACE 700 685l/s 德国普发）；
1.2、ZJP-30罗茨泵：1台（抽速30升/秒，成都）
1.3、机械泵：TRP-36 1台（北京优成）；
1.4、KF25/KF40气动旁抽角阀 2台（北京）；
1.5、电磁压差式充气阀：1台
1.6、DN40电动截止阀：1台（北京川北）；
1.7、机械泵与真空室之间的旁抽管路：1套；
1.8、CC150气动闸板阀：2台（沈阳科仪,用于复合分子泵与真空室隔离）；
2、电源系统：
进口香港1000w全自动匹配射频电源及匹配器 1台（HK SMITH，手动切换两路输出）
3、安装机台架组件 1套
优质方钢型材焊接成，快卸围板表面喷塑处理；机台表面用不锈钢蒙皮装饰；四只脚轮，可固定，可移动；
4、电控系统 1套
1.1、电源机柜：1台；
1.2、总控制电源：1台（为分子泵、机械泵、电磁阀、升降电机、真空计等提供电源，有断电保护功能）；
1.3、水流报警系统：1套（对分子泵、磁控靶有断水报警切断相应电源功能）；
1.4、样品加热控温电源：2套（可实现程序控温）；
1.5、步进电机旋转电源：1套
1.6、加热烘烤及照明电源：2套；
5、配件及备件 1套
1.1、 ￠6mm不锈钢管：6米或以上，根据气瓶摆放位置确定；
1.2、 无氧铜密封垫圈及管路
a) CF16：3个；CF35：3个； CF100：2个；CF150：2个；
b) ￠6mm卡套：4套；
1.3、 氟橡胶密封圈：各种规格各一个；
1.4、 碘钨灯：5个；
1.5、 样品加热丝：1套；
1.6、 各种观察窗玻璃各1块；
6、系统采用PLC+工控机+触摸屏全自动控制方式 1套
6.1、自动抽气及程序设定
6.2、计算机实时显示记录真空度及设定加热温度
6.3、计算机设定显示直流电源、射频电源功率参数
6.4、技术机设定显示MFC的设定控制等
6.5、计算机设定显示挡板状态，样品转速等
6.6、工艺参数，以及工艺的设定等
7、循环水冷却器 1套
7.1、采用日本松下压缩机 ，制冷量 6kw
7.2、采用制订制立式双风扇高性能冷凝器
7.3、采用进口转子电机（德国 EBM R2E220）
7.4、高性能全不锈钢水泵（南方泵业、CHL2 -40）
7.5、水箱采用不锈钢材料，机内储水量15L
7.6、防止铜锈升华冷却管采用不锈钢管
7.7、水压显示并可调并配调压阀门（0. 15 -0. 4MPa），水流量30L/min，水温＜5-25 ℃可控可调
7.8、控温精度：正负 0. 1度
7.9、控制采用自主精密式数显微电脑温度控制器，在前面板上数显进口水温及出口水温
7.10、电气部分采用国际品牌施耐德原厂产品
7.11、系统配有空气过滤网，并方便拆洗
7.12、产品质量符合工业化长期生产使用
7.13、静电喷塑外壳，欧化紧凑设计，美观大方，外表板采用快速拆装形式
7.14、220V 额定工作电流11 .8A
7.15、外形尺寸504×624×975（mm）
7.16、有过温、过压保护功能

高温超导材料特性测试实验仪
一、实验仪的主要功能和组成
该实验仪主要完成超导材料特性的测试，适用于理工科高校学生开展前沿物理研究型实验，能够完成以下实验内容：
1、超导材料的迈斯纳效应
2、超导材料临界温度特性测量
3、磁场下超导材料临界电流变化特性测量
实验仪由高精度电压电流源、高精度数字多用测量仪表、低温系统、磁场单元和自动化测试软件等部分组成。

二、高精度电压电流源
1、 电压源、电流源、电压表、电流表四合一仪表，适用于快速直流测试
2、 提供宽动态范围：10pA~ 1.05A, 1μV ~ 1100V, 20W
3、 基本测量精度，电压0.035%，电流0.015%，电阻0.06%
4、 五位半电表, 0.012%准确度 ，可作六线式奥姆测量
5、 程控电流／电压，并可设定箝制准位
6、 最快速度可达1000点／秒(GPIB接口)
7、 内建快速「通过／失效」比较器，适用于自动化质量管理
8、 数字I/O可直接与其它仪器沟通
9、 具有IEEE-488和RS-232接口
10、 测量电压、电流外，并可直接量测电阻、功率、百分率、补偿电阻（Offset Compensated Ω）、变阻器α值（Varistor α）、电压系数（Voltage Coefficient）
11、内置的“源存储器”可编程序列发生器最多可存储100个不同的测试，以满足高速测试的需要；
12、可靠性高，MTBF不低于75000小时的可靠性设计；
三、高精度数字多用测量仪表
1、八位半高精度电学测量多用表
2、扩展通道：10通道
3、直流电压测量：灵敏度1nV；最大读数1000V；基本准确度0.00%；直流峰值测量
4、交流电压测量：灵敏度 100nV；最大读数 775V（1100Vpk）；基本准确度 0.02%；带宽1Hz～2MHz；dB、dBm 显示；频率、周期测量；峰值/平均值/有效值测量；AC、AC+DC模式
5、电阻测量：灵敏度100nΩ；最大读数 1GΩ；基本准确度0.00%；支持偏置补偿；内置恒流源；开路检测功能
6、直流电流测量：灵敏度10pA；量程200μA～2A；基本准确度0.03%；支持在线电流
7、交流电流测量：灵敏度 100pA；量程 200μA～2A；基本准确度0.10%；带宽20Hz～100kHz
8、接口GPIB
四、低温系统
采用不锈钢杜瓦瓶，液氮制冷，实现77K~150K连续变化的低温环境.
五、磁场单元
1、螺线管式电生磁场，长度>=15cm，匝数N>=2000
2、磁感应强度±400Gs连续可调
3、适用温度70K-350K
六、自动化测试软件
1、具备自动测试、记录和分析功能
2、测试参数可全范围设置
3、支持二次开发，提供全部SDK
4、支持Win7系统，软件鲁棒性强，界面友好

商务需求



1.交货要求
1.1交货期的要求：签订合同后 60 天（日历日）内。
1.2投标人必须承担的设备运输、安装调试、验收检测和提供设备操作说明书、图纸等其他类似的义务。
2.售后服务的要求
2.1货物免费保修期 1 年，时间自最终验收合格并交付使用之日起计算。在保修期内，一旦发生质量问题，投标人保证在接到通知24小时内赶到现场进行修理或更换。
2.2投标人应按其投标文件中的承诺，进行其他售后服务工作。
3.关于验收
3.1投标人货物经过双方检验认可后，签署验收报告，产品保修期自验收合格之日起算，由投标人提供产品保修文件。
3.2当满足以下条件时，采购人才向中标人签发货物验收报告：
a、中标人已按照合同规定提供了全部产品及完整的技术资料。
b、货物符合招标文件技术规格书的要求，性能满足要求。

c、货物具备产品合格证。

评标信息



序号

评分项

权重

1

价格

≥30

2

技术部分

53-64

序号

评分因素

权重

评分方式

评分准则

1

技术保障措施

3

专家打分

在投标文件中详细说明保障措施，评标委员会根据响应情况进行横向比较，按优81-100分，良61-80分，中31-60分，差0分打分。

2

施工安全保障措施

（可选）

3

专家打分

在投标文件中详细说明保障措施，评标委员会根据响应情况进行横向比较，按优81-100分，良61-80分，中31-60分，差0分打分。

3

交货期（完工期）

2

专家打分

在投标文件中详细说明交货期（完工期），评标委员会根据响应情况进行横向比较，按优81-100分，良61-80分，中31-60分，差0分打分。

4

售后服务承诺

10-15

专家打分

评标委员会根据投标文件中售后服务承诺情况进行横向比较，按优81-100分，良61-80分，中31-60分，差0分打分。不满足招标文件要求的得0分。

5

样品

（可选）

2

专家打分

（一般性、标准化程度高、市场竞争充分的采购项目不允许要求投标人提供大样，特殊的或有特别工艺要求的方可要求投标人提供样品。样品需求只能将设计图纸作为参考，不得放图片和照片）

评标委员会根据样品情况进行横向比较，按优81-100分，良61-80分，中31-60分，差0分打分。

6

技术响应情况

28-49

专家评分

在投标文件中详细说明响应情况，评标委员会根据响应情况按优81-100分，良61-80分，中31-60分，差0分打分。

3

综合实力部分

4-5

序号

评分因素

权重

评分方式

评分准则

1

投标人近三年同类业绩

2

专家评分

提供3个同类业绩即得满分，提供2个得60分，提供1个得30分，未提供的不得分。投标人必须在投标文件中提供每一个完工项目的合同和验收报告，否则不得分。

2

社保情况

1

专家评分

请提供近三个月社保证明书扫描件，原件备查。根据总人数评分：优81-100分，良61-80分，中31-60分，差0分打分。未提供的得0分。

3

纳税情况

1

专家评分

请提供近一年度纳税证明扫描件，原件备查。根据纳税总金额评分：优81-100分；良61-80分；中31-60；差0分。未提供的得0分。

4

奖励、奖项、资质、资格

（可选）

1

专家评分

请提供奖励证明扫描件，原件备查。横向比较优81-100分；良61-80分；中31-60；差0分。未提供的得0分。

4

供应商社会责任

2-10

序号

评分因素

权重

评分方式

评分准则

1

公益慈善

1

专家评分

提供近3年社会公益慈善和见义勇为情况证明材料，未提供的不得分。

2

不良行为记录

1

专家评分

深圳企业信用网和政府采购行政处罚记录查询企业不良记录，有不良记录的不得分，没有不良记录的得满分。

3

履约评价

（可选）

3

专家评分

根据投标人提交的履约评价及中心履约评价库中资料打分。优得100分，良得80分，中的60分，差的0分。

4

环保执行情况

（可选）

3

专家评分

近三年有一次受到环境主管部门处罚的得0分，无处罚的得满分。投标人提交承诺函，若虚假应标将被废标并报主管部门处理。

5

总部经济

（可选）

1

专家评分

投标人总部在深圳得100分，不在深圳得0分。提供相关政府部门出具的深圳总部企业认定的证明材料，未提供的不得分。

6

节能环保

（可选）

1

专家评分

1、财政部、国家发展和改革委员会制定的《节能产品政府采购清单》；

2、财政部、环境保护部制定的《环境标志产品政府采购清单》

上述清单以截图及网址为准，未提供的不得分。

其它

货物采购部
　　********
　　工程采购部
　　********
　　服务采购部
　　********
　　预选采购部
　　********
中心传真
　　********

附件

*******&dateType=FILE" target="_blank">公开招标项目评定分离申报事项一览表 (1).docx
采购需求质疑及回复列表
序号质疑标题质疑内容质疑单位质疑人质疑附件质疑日期标题内容单位采购人附件日期

联系人：郝工
电话：010-68960698
邮箱：1049263697@qq.com

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