高真空热蒸发仪招标公告
高真空热蒸发仪招标公告
| 项目名称 | 高真空热蒸发仪 | 项目编号 | XF-WSBX-******* |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 2022-07-06 09:08:14 | 公告截止日期 | 2022-07-13 11:00:00 |
| 采购单位 | 浙江大学 | 付款方式 | 货到付款。境内供货的，甲方在到货验收后15日内向乙方一次性支付本项目的总款项。 境外供货需要由甲方办理进口减免税业务的，也必须以人民币报价，且包含货送到用户指定实验室前的所有费用。甲方指定的外贸代理公司在甲方到货验收后15日内向乙方指定的外方公司一次性支付款项。支付方式在《技术参数及配置要求》栏内另有约定的，从其约定。 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 成交后4天 | 到货时间要求 | 成交后5天 |
| 预算总价 | ￥ ******.00 | ||
| 发票要求 | |||
| 收货地址 | 浙江大学西溪校区西七楼439 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 高真空热蒸发仪 | 1 | 台 | 机电设备 |
| 品牌 | 北京泰科诺 |
|---|---|
| 型号 | ZHDS400 |
| 预算单价 | ￥******.00 |
| 技术参数及配置要求 | 1、基片台为抽屉式结构，120 mm x 120 mm基片；配有气动基片台挡板；通过磁流体密封基片台旋转轴；基片台转速0-20 rpm/min。根据客户定制掩膜版1块； 2、蒸发源到样品垂直可调高度范围0- 70 mm。 3、基片台加热可至300℃，加热范围大于基片外沿50 mm，保证样片处于等温加热区内，控温精度±1℃。 4、真空系统由复合分子泵和旋片式机械泵组成准无油真空系统。真空测量采用两低一高形式，两只电阻规分别测量前级及腔室真空，一只电离规测量腔室高真空，数显复合真空计，测量范围从1x10^5 Pa到1x10^-5 Pa。 5、金属蒸发源2组，采用舟式源，圆周分布，最高蒸发温度为室温~1300℃（真空状态）。 6、金属电源采用：TDK-lambda电源（GEN-6-200），1台切换使用； 7、有机蒸发源2组，石英坩埚容量2CC，角度可调倾斜指向基片台，适用温度为室温~600℃，有机蒸发电源采用 每源独立PID智能温控+热电偶+加热电源闭环控温。 8、有机电源采用： Z+20-10，2台； 9、每组蒸发源需配一组气动挡板以及源间防污隔板。 10、需配备水冷系统给电极、分子泵提供稳定的制冷循环水，保证设备稳定运行，温控范围为10- 25℃。 11、极限真空5.0x10^-5 Pa，40min内从大气抽至8.0x10^-4 Pa，真空室尺寸为：L400*W440*H450 mm。 12、电气控制系统采用PLC+工控机+液晶屏全自动控制方式； 13、报警及保护：对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统。 14、采用Inficon膜厚仪， 型号：SQC-310型，配备原装水冷探头2套； 15、配备循环水冷机及空气压缩机； 16、现货：合同签订后5天交付； 17、验收合格后付全款； |
| 售后服务 | 服务网点:当地;电话支持:7x24小时;服务年限:1;服务时限:报修后2小时;销售资质:协议供货商;商品承诺:原厂全新未拆封正品; |
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