高真空电阻蒸发镀膜机（JJ2022001635）采购公告
高真空电阻蒸发镀膜机（JJ2022001635）采购公告
| 项目名称 | 高真空电阻蒸发镀膜机 | 项目编号 | JJ********** |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 165*****74000 | 公告截止日期 | 165*****00000 |
| 采购单位 | 南开大学 | 付款方式 | 供方提供货物至需方指定地点经安装验收合格，双方签字确认后，七个工作日内支付全部货款。 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 无 | 到货时间要求 | 合同签定生效后30个工作日内 |
| 预 算 | 无 | ||
| 收货地址 | 南开大学津南校区材料科学与工程学院520室 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 高真空电阻蒸发镀膜机 | 1 | 台 | 无 |
| 品牌 | 泰科诺 |
|---|---|
| 型号 | ZHD300 |
| 品牌2 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 品牌3 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 预算 | 无 |
| 技术参数及配置要求 | 真空腔室：Φ300×H360mm，304优质不锈钢真空腔室；真空系统：复合分子泵+直联旋片泵+高真阀门高真空系统，数显复合真空计；真空极限：≤8.0×10-5Pa；（设备空载）；漏率：设备升压率：≤0.8Pa/h；设备保压：停泵12小时候后，设备真空度≤10Pa；抽速：从大气抽至5.0×10-3Pa≤13min；（设备空载）基片台尺寸：最大可镀基片尺寸/面积：Φ100mm范围内可装卡各种规格基片；基片台旋转：旋转速度：0-20转/分钟；基片台加热：加热温度250℃可调可控，PID智能温控仪调节控温蒸发源及电源：2对水冷式蒸发电极；1台2kW金属蒸发电源；膜厚不均匀性：≤±5%（基片台Φ80mm范围内）；控制方式：PLC+触摸屏控制方式；报警及保护：对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统；占地面积：设备尺寸为：长×宽: 1100mm×800mm，安装场地尺寸≥1600×1200mm |
| 售后服务 | 按国家法定或行业要求提供售后服务。 |
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