无掩膜光刻机（JJ2022000081）采购公告
无掩膜光刻机（JJ2022000081）采购公告
| 项目名称 | 无掩膜光刻机 | 项目编号 | JJ********** |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 165*****61000 | 公告截止日期 | 165*****00000 |
| 采购单位 | 福州大学 | 付款方式 | 无 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 成交后7个工作日内 | 到货时间要求 | 外贸：办理免税后60个工作日内 |
| 预 算 | ******.0 | ||
| 收货地址 | 福州大学 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 无掩膜光刻机 | 1 | 台 | 特种设备 |
| 品牌 | Microlight3D |
|---|---|
| 型号 | SP-UV.Advanced |
| 品牌2 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 品牌3 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 预算 | ******.0 |
| 技术参数及配置要求 | 1.1 性能指标1.★基于 DMD的无掩模光刻系统 2.★曝光波长: 385nm (LED) 3.准直波长: 590nm (LED) 4.搭配2个物镜(2.5X/10X)，配备磁性“快速释放”系统 5.1X的单次写入区域高达10.56mm × 5.94mm 6.完整的拼接写入区域可达110mm ×110 mm 7.★最小线宽精度低至1.5um（X10物镜）8.★套刻精度1um(for 1cm2 打印区域) 9.旋转台360°可旋转，0.1°精度 10.★兼容 SU-8、i线，h线g线光刻胶1. 2. 主要配置一、光学模组：385nm波长曝光光源；590nm波长准直光源；反馈相机（聚焦、对齐、准直）二、2.5倍物镜；三、步进电机操作位移台；四、多功能样品载台（载玻片、2inch晶圆、小样品）；电动Z轴，25mm行程范围，0.6μm分辨率;电动(线性)XY轴，110x110mm行程范围，0.1um分辨率和0.25um重复性;手动旋转工作台，0-360°范围，0.1°精度;五、10倍物镜；1.3. 附属设备及备品备件电脑台式主机1套；Windows 10 Pro (64bits)操作系统； 键盘(QWERTY) 和鼠标 24英寸高动态范围屏幕SFTprint软件（功能：机器控制、步进重复、自动剂量测试、拼接、对齐）SFT转换器：将标准 CAD 格式（gdsii、dxf、cif、oas）转换为机器格式，包含CAD 软件。 |
| 售后服务 | 质量保证期:验收合格之日起算一年;服务网点:当地;维修响应时限:报修后2小时内响应;电话支持:7×24小时;备用机:48小时内无法排除故障，免费提供同档次备用机;质保期外:质保期外承担终身维修服务，维修过程只收取配件费，且以最优惠价格提供; |
标签: 光刻机
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