序号

货物名称

计量

单位

数量

交货时间

交货地点

交货

方式

质量

保证期

备注

1.

分子泵

台

2

合同签订后10周

北京

送货上门

3年

货到付款

2.

无油干泵

台

2

3.

标准漏孔隔离阀

台

1

4.

超高真空室

台

1

5.

高真空电磁阀

台

1

6.

真空检漏阀

台

1

7.

常压检漏阀

台

1

8.

压差室阀门

台

1

9.

微孔阀

台

1

10.

真空截止阀

台

5

11.

电容薄膜真空计

台

1

12.

电容薄膜真空计

台

1

13.

超高真空计

台

1

14.

四极质谱仪

台

1

15.

标准漏孔装置1

台

1

16.

标准漏孔装置2

台

1

17.

标准漏孔装置3

台

1

包号

产品名称

性能指标

一

分子泵

★1. 具有分流型（两级）抽气功能，最大抽速≥60L/s；

2. 最大抽气接口的极限真空度≤1×10^-7Pa；

★3. 提供专业计量机构分别出具两级抽气接口对应的抽速（至少包含氦气、氮气）及极限真空度的测试报告；

4. 含集成式风冷模块；

5. 含控制、通信单元（需提供底层通信协议）。

无油干泵

1. 全无油；

2. 抽速≥50L/min，需提供专业计量机构分别出具两级抽气接口对应的抽速（至少包含氦气、氮气）及极限真空度的测试报告；

3. 极限真空度≤20Pa。

标准漏孔隔离阀

1. 金属膜片阀

2. 1/4inch;

3. 漏率＜1×10^-10 Pa·m³/s，由专业计量机构出具检测报告;

4. 含电磁开关控制器。

超高真空室

★1. 根据甲方技术要求设计，容积约为10L，定制加工；

2. 配置3个CF35法兰和1个CF100法兰；

★3. 进行高真空清洗、热处理、镀膜、除氢等超高真空处理；

★4. 整体漏率＜5×10^-10 Pam³/s，由专业计量机构出具检测报告。

高真空电磁阀

1. DN40；

★2. 漏率＜1×10^-10 Pa·m³/s，由专业计量机构出具检测报告;

3. 含位置控制单元。

真空检漏阀

1. 内径3mm；

★2. 漏率＜5×10^-10Pa·m³/s，由专业计量机构出具检测报告;

3. 含电磁开关控制器。

常压检漏阀

1. 内径3mm；

★2. 漏率＜1×10^-10 Pa·m³/s，由专业计量机构出具检测报告;

3. 含电磁开关控制器。

压差室阀门

1. 内径3mm；

★2. 漏率＜5×10^-11 Pa·m³/s，由专业计量机构出具检测报告;

3. 含电磁开关控制器。

微孔阀

★1. 内径≤0.3mm，需提供产品规格书等证明资料；

★2. 死空间≤100uL，需提供产品规格书等证明资料;

3. 含电磁开关控制器。

真空截止阀

1. 厂家为世伟洛克；

2. 4VCR接口；

3. 漏率＜1×10^-10 Pa·m³/s，由专业计量机构出具检测报告。

一

电容薄膜真空计

★1. 满量程1000Torr；

★2. 测量精度：0.2%读数值；

3. 配置独立控制器。

4. 提供专业计量机构提供的真空压力校准证书。

电容薄膜真空计

★1. 满量程10Torr；

★2. 测量精度：0.2%读数值；

3. 配置独立控制器；

4. 提供专业计量机构提供的真空压力校准证书。

超高真空计

1. 下限≤1×10^-7Pa；

2. 配置独立控制器。

3. 提供专业计量机构提供的真空压力校准证书。

四极质谱仪

★1. 质量数：0～200amu；

2. 最小可检分压强≤3×10^-12Torr；

3. 包含TCP/IP 接口；

★4. 提供四极开发软件底层数据编程协议；

★5. 提供国产驱动程序，负责根据用户提供的模型开发独立数据处理模块；

★6. 提供专业计量机构提供的分压力校准证书。

标准漏孔装置1

1. 薄膜通道型；

2. 漏率：10^-4Pa·m³/s；

3. 提供专业计量机构出具的校准证书。

标准漏孔装置2

1. 薄膜通道型；

2. 漏率：10^-6Pa·m³/s；

3. 提供专业计量机构出具的校准证书。

标准漏孔装置3

1. 薄膜通道型；

2. 漏率：10^-8Pa·m³/s；

3. 提供专业计量机构出具的校准证书。