序号

型号

描述

数量

1

DEKTAK XT

DektakXT表面轮廓测量主机；自动台阶检测功能特点:自动水平调整，自动检测台阶，自动测量台阶高度和多重台阶数据综合对比；提供Microform software 软件；包括操作/维护手册和工具包

1台

2

DXT-2D STRESS

应力测试软件

1个

3

D150-220V-EU

两相 220-240V, 50-60 HZ 电源线

1根

4

D150-ENC

保护罩

1个

5

DK-STYL-2UM-B

LIS 3 B性探针，半径2微米，红/白色

1条

6

CAL-1UM

1微米标准校准模块，含VLSI校正证书

1块

7

D150-MONITOR

23LCD显示器（国内采购）

1个

产品型号

性能描述

数量

DEKTAK-XT

最大扫描长度≥55mm；

测试所允许的最大样品高度≥50mm；

垂直方向的扫描范围≥1000μm；

★测试高度方向的重复性≤0.4nm（5μm以下的标准台阶）；

测试垂直分辨率≤0.1nm；

光学系统：彩色CCD 180x放大倍率；

XY移动载物台，X≥100mm行程,Y≥100mm行程；可无需移动或旋转样品，直接满足4英寸范围的全点测量；

★探针压力：能精确控制探针压力，保证在不同力下不破坏样品。探针压力1mg-15mg，以1mg间隔软件编程控制，更能一键自动校准；

多次扫描分析≥30次；

采用成熟的LVDT传感器,仪器稳定性高，数据重复性和可靠性好；

单次扫描最大采样点数120,000；

标配有自动更换探针附件工具，而不是固定在设备主机上，探针更换方便，安全，更换完探针后更能快速重新校准探针针尖位置；

仪器配有环境保护罩，防止静电环境影响；

薄膜应力测量功能；

★测试高度方向的重复性≤0.5nm（1微米的标准台阶）；

提供1umVLSI标准样品用于校准，同各个国家和地区的顶级计量部门完全相同的校准样品；

提供专用分析软件并终身免费升级；

计算机配置，最新64位操作系统，240GB硬盘及以上，4G内存及以上，23寸显示器，保证数据处理的流畅。

1