公告日期：2014年12月19日

项目名称：西安交通大学电信学院磁控溅射薄膜沉积系统

招标单位：西安交通大学采购与招标管理办公室

西安交通大学根据国家招投标法律法规和学校管理要求, 拟以招标方式采购下列货物。

一、招标采购项目内容及数量：磁控溅射薄膜沉积系统 （1台）

(一) 设备技术性能指标及参数

1. 真空腔室及真空泵系统：

双真空室系统包含样片室和溅射室，双室间采取自动送取样片工作方式；

真空系统采用分子泵+机械泵二级抽气系统，空载极限真空≤5×10-5 Pa，系统真空检漏漏率：≤5×10-7 PaL/S。

抽气速率要求，系统在短时间暴露于大气并充入少量干燥氮气后开始抽气，样品室在10分钟内可达到5×10-1Pa，溅射室30分钟内可达到6×10-4Pa。

真空室保压能力要求系统停泵关机12小时后真空度≤5Pa

2. 工作气路：进气数量≥2路，配备流量计及相关控制系统。

3. 溅射靶：溅射靶位≥3个，并配有阻挡片，以避免靶材之间交叉污染。

4. 工件台： 2英寸片可放置不少于3片，要求可以放置碎片，并配备相关夹具。

基片旋转控制：可以自动控制基片自转、公转，公转转速大于5转每分，自转转速一定范围内可调。

5. 靶基距：60-100mm可调，并提供调位距离指示。

6. 样品加热：基片最高加热温度500±5℃。

7. 溅射均匀性误差：九点测量均匀性≤5% （4英寸片）。

8. 射频电源:频率 13.56MHz，最大功率不低于500W

直流电源：最大功率不低于1000W

9. 反应溅射功能：设备配置靶电压监控装置及相关控制系统，可实现反应溅射中反应气体分压精确控制。

10. 控制及安全系统：可实现真空系统及溅射工艺的全自动控制，配置设备异常急停装置，同时设备启动及各真空系统阀门有实时监控和安全互锁。

11. 其它必要维修工具及配件应在投标文件中明确标识。

(二) 设备目的及用途

该设备用于沉积高均匀性和高致密性的金属和半导体薄膜，实现和解决薄膜的沉积均匀性问题，同时能够实现不同气氛(O2,N2等)下的氧化物和氮化物薄膜沉积。

该设备可用于硅片、陶瓷、玻璃、石英、YaG晶体、Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体、金刚石、金属等材料表面镀制各种金属、非金属、化合物薄膜材料。如Al、Au、Pt、Pd、Cr、Ti、Ni、Cu、NiCr、TiW、W、SiO、AlO、ZnO、AZO、TaN、AlN、ITO等，是固态照明工程研究中心制备高性能薄膜材料的重要设备。

(三) 环境要求

占地面积不超过15-20平方米；

冷却循环水低于25度，流量大于10L/min，水压大于0.3MPa；

380V三相电或220V单相电，接地良好；

环境温度：10℃～30℃，相对湿度：不大于55%。

二、投标人的必备资格要求：

（一）投标人必须符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条之规定；

（二）投标人要具有独立法人资格、税务登记证、相关货物经营许可证，具有良好的企业形象和信誉，良好的银行资信状况；

（三）投标人在近三年内没有违法行为，在以往政府采购活动中没有违规和违约行为。

三、投标报名或资格预审必须提供的文件：

（一）法定代表人授权委托书（加盖公章）；

（二）生产商针对本项目产品授权书原件和各1份复印件；

（三）工商营业执照副本原件和1份复印件（原件验后归还，复印件须加盖公章）；

（四）《税务登记证》、《中华人民共和国组织机构代码证》原件和各1份复印件（原件验后归还，复印件须加盖公章）；

（五）被委托人身份证原件及法人和被委托人身份证复印件（原件验后归还，复印件须加盖公章）。

（六）货物投标承诺书（供应商注册系统——资源下载）

四、投标报名注意事项：

凡参与投标的供货商，须在采购办主页“货物类供应商注册”系统中注册，并携带组织机构代码证、税务登记证、营业执照原件，《供应商基本信息登记表》（系统第五个页签下打印）、“诚信承诺书”、“从业人员基本信息登记表”（系统“资源下载”中下载）至采购办现场审核。审核通过后，方具备项目投标资格。

五、报名时间： 2014-12-19至2014-12-25(上午8:30-11:30下午2:30-5:30 国家法定节假日及周三下午除外)

六、报名地点：西安交通大学采购与招标管理办公室

地址1：西安市咸宁西路28号西安交通大学主楼E座0908室

地址2：西安市咸宁西路28号西安交通大学计算机教学实验中心七楼采购办办公室

联系人：柴晓玲

联系电话：***-******** ********

电子邮箱：xlchai@mail.xjtu.edu.cn

邮编：710049

欢迎符合条件的供应商参加投标。

注：

　　投标人须对其所提供资料的真实性、合法性、有效性负责，如有作假，一经发现立即取消投标资格，并将其列入不良行为记录名单，同时在网上进行实名通报，一至三年内禁止参加西安交通大学的采购活动。

　　报名公司将由采购办按照相关规定进行遴选，没有被遴选入围参与投标的报名公司，恕不另行通知。

西安交通大学采购与招标管理办公室

二○一四年十二月十九日