武汉高芯科技有限公司就CMP设备采购信息公示在高德红外电子采购平台进行询价采购 ，现公开邀请合格投标人进行网上电子投标。

一、项目内容

项目标号：GDHYXJ******

项目标名：CMP设备采购信息公示

交货地点和时间：,2023-03-31

二、投标人资格要求：

一、项目概况

（一）项目编号：********

（二）项目名称：CMP设备

（三）项目内容及需求：

3.1产品信息

3.1.1 8英寸硅片表面Oxide/SI/SIN/Cu CMP工艺；

3.1.2 晶圆厚度为600um-725um；

3.2设备技术要求描述

3.2.1根据Oxide/SI/SIN/Cu CMP工艺提供机台搭配方案；

3.2.2干进干出工艺,至少满足0.3um及以下CMP工艺；

3.2.3清洗单元包含mega/2brush/SRD，要求不供氢氟酸；

3.2.4 根据不同工艺提供相应SDS和CDS，且能满足自动配液；

3.2.5WIW NU,WTW NU<5%(49pts@EE5mm )；

3.2.6 Defects adder <20ea@0.2um；

3.3安全要求

3.3.1 设备自带安全防护门，作业过程中如果有人开门，设备自锁功能启动，设备停止运行；

3.2.2 设备水、电、气安装应符合国家相关的设计安全准则，不能存在漏电、漏水、运动部件伤人等安全隐患；

3.3 .3具有水电分离/过载保护/接地/线路过孔保护/标识（中文或中英文）/漏电保护/漏水检测功能等。设备工作出现异常，能够报警提示。

（四）交期：180日历天。

二、资格要求

（一）必须符合《政府采购法》第二十二条规定的条件：

1、具有独立承担民事责任的能力。

2、具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度。

3、具有履行合同所必需的设备和专业技术能力。

4、有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录。

5、法律、行政法规规定的其他条件。

6、需提供参加本项目投标活动前三年内，在经营活动中无重大违法、违规记录、重大安全生产事故的声明。

7、未被列入“信用中国”网站(www.creditchina.gov.cn)失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单和“中国政府采购网”（www.ccgp.gov.cn）政府采购严重违法失信行为记录名单，提供网上查询结果记录（查询日期在发布公告之后），截图打印。

（二）特定资格要求：

1、参与企业必须为货物的生产厂家或代理商，代理商必须持有生产厂家代理证书（代理时间不少于1年），不接受项目授权证书。

2、本次招标不接受联合体投标。

三、供应商资料递交截止时间和地点

（一）截止时间：2022-8-317:30

（二）地点：武汉市东湖技术开发区黄龙山南路6号

四、联系事项

联系人： 刘奇涛 电话：027-********

技术联系人：徐之军电话：135*****785

五、监督电话：

审计监察部：027-********

武汉鲲鹏微纳光电有限公司

2022年7月25日

三、投标人须登录高德红外电子采购平台(http://61.183.139.71:8002)进行投标和开标活动，务必在开标前完成注册并获得投标资格，中标情况将在本网公示。

四、网上投标方法：具体步骤请参照本网站“服务指南”。

五、报名截止时间：2022-07-26 16:47，投标截止及开标时间：2022-07-26 16:47，投标人应于投标截止时间前在高德红外电子采购平台成功递交所有电子投标文件。

六、物理开标地点：

七、有意者可与刘奇涛联系，业务联系电话：电话： 邮箱：mro_purchase08@guide-infrared.com 。

纪检投诉受理：

高德红外电子采购平台

2022-07-25 16:48