0658-1541SZTC3027深圳大学无掩模曝光机采购国际招标公告(1)
0658-1541SZTC3027深圳大学无掩模曝光机采购国际招标公告(1)
深圳市国际招标有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2015-01-12在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:设备主要用途是:用于有机薄膜晶体管、有机太阳能电池材料及器件的研究,需要微米和亚微米的光刻技术制备微纳米级别的器件,并对器件性能及其它方面进行测试表征,进而对材料及工艺进行评估。因此,建立一套高效高质量的亚微米级无掩膜曝光机,对研究功能薄膜、纳米材料与器件,以及各类功能半导体薄膜及其开发在柔性器件中的应用是非常有必要的。
资金到位或资金来源落实情况:资金来源已落实。
项目已具备招标条件的说明:招标条件已具备。
2、招标内容
招标项目编号:0658-1541SZTC3027
招标项目名称:深圳大学无掩模曝光机采购
项目实施地点:中国广东省
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
一 | 无掩模曝光机 | 1套 | 如下: | 无 |
1.1 | 基本的无掩膜曝光系统 | 1台 | 曝光部分*光源:200W汞灯并包含高功率LED光源寿命:>5000小时,无需更换其他部件不接受激光光源曝光。*使用同一光源同时支持多波段曝光>510nm波段光源可用于对准以及观察基底385 nm +/- 5 nm405 nm +/ - 5 nm提供宽域的曝光模式,单次曝光使用波段范围可覆盖385-405nm对positive resist 曝光 达到0.6um或以下线宽(需提供样品)256级灰度处理能够对基底图案进行无掩膜,能够对整个XY走程范围进行曝光内嵌一体化软件用于同步控制相机 在单次曝光过程中可实现超过750,000的多像素点曝光支持远程控制读写速度可达60mm2/min 或以上自动对焦功能具有光学组件以及移动平台的现场校准功能机台必须集成基于个人电脑的微软控制系统,具备用户访问权限的管理控制,程序贮存/恢复功能自动移动平台装配线性驱动平台,100mmX100mm平台移动范围XY水平方向行程100mm,XY轴向精度误差+/- 1um,XY轴向重复性+/- 300nm,XY轴向分辨率5nmZ轴垂直方向行程25mm,Z轴向精度误差+/- 1um总转动角度135°,转动精确度+/- 5弧分,4个角度控制器,开放数据控制界面,通用真空吸盘,支持基底相机部分成像CCD步进1/2”扫描区域6.4 mm x 4.8 mm扫描阵列1392 x 1024像素像元大小4.65 um x 4.65 um使用IEEE 1394视频输出保证与NI LabWindows软件兼容可升级部件客户定制带通滤波以及能量控制滤波器可升级XY移动平台至更大面积可定制夹具或者圆柱形平台对非平面基底以及棒状基底进行曝光光源寿命:>5000小时,无需更换其他部件不接受激光光源曝光。 | 无 |
1.2 | 配置高精度位移平台 | 1个 | 详见招标文件 | 无 |
1.3 | 135°Theta方向平台 | 1个 | 详见招标文件 | 无 |
1.4 | 高分辨率透镜 | 1套 | 详见招标文件 | 无 |
1.5 | 高集成度的Camera观察系统 | 1套 | 详见招标文件 | 无 |
1.6 | 20X缩小镜头 | 1个 | 详见招标文件 | 无 |
1.7 | 无油泵 | 1个 | 详见招标文件 | 无 |
1.8 | 提供操作及维修手册 | 1套 | 详见招标文件 | 无 |
1.9 | 防震台 | 1台 | 详见招标文件 | 无 |
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