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光刻机-招标公告
(招标编号：0779-22400316A047)
招标项目所在地区：北京市
一招标条件
本光刻机招标项目编号：0779-22400316A047，已由项目审批/核准/备案机关批准，项目资金来源
为/，招标人为北京长城计量测试技术研究所。本项目已具备招标条件，现进行公开招标。
二项目概况和招标范围
项目规模：/ 。
招标内容与范围：本招标项目划分为标段1 个标段，本次招标为其中的：
001 第1包
三投标人资格要求
001 第1包：
1 投标人具有独立法人资格，提供有效的营业登记等许可经营的证明文件。
2本次招标接受代理商投标，代理商必须获得制造商的合法授权，提供授权书。
3本次招标不接受联合体投标。
4投标人必须向招标代理机构购买招标文件并进行登记才具有投标资格接受委托参与项目前期咨询和招标文
件编制的法人或其他组织不得参加投标。
本项目不允许联合体投标。
四招标文件的获取
获取时间：2022年08月11日09时00分00秒---2022年08月18日17时00分00秒
获取方法：/
五投标文件的递交
递交截止时间：2022年09月01日09时30分00秒
递交方法：/
六开标时间及地点
开标时间：2022年09月01日09时30分00秒
开标地点及方式：/
七其他公告内容
光刻机项目已具备招标条件。资金来源自筹资金。中科信工程咨询北京有限责任公司招标代理机构受
中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所招标人的委托，对该项目进行国际公开招标采购。1.招标范围
1.1货物名称：光刻机1.2招标编号：0779-22400316A047
1.3 设备概况及技术性能：
1.3.1设备概况光刻机主要用于光电子微电子MEMS微纳图形加工工艺中高精度的紫外曝光与套刻对准，支持各类
正胶负胶工艺。包括主机曝光系统显微对准系统计算机图像系统键合对准系统匀胶显影系统掩模版夹具对准台热板晶圆夹具等。
1.3.2技术性能1.3.2.1曝光系统：
1曝光灯：LED曝光灯，可通过软件连续调节和设定光强使用寿命大于5000小时无需气体冷却2正面套刻精度：0.25mm
3光强均匀度：2.5。1.3.2.2正面显微对准系统
1视场范围：不小于1500m2000m分辨率：0.8m/Pixel，放大倍率范围：不小于100X800X1.3.2.3背面显微对准系统
1解析度：1.1m/Pixel最大视场范围：2100mm2800mm1.3.2.4芯片找平系统
1采用独立式三轴芯片找平系统，三轴式找平装置呈120分布在对准台上，通过对准台的上下运动和精准控制压力来实现晶圆掩膜版之间的找平
2找平过程中，掩膜版位置固定不动，晶圆夹具承载晶圆垂直升降，实现找平找平系统压力连续可调。1.4数量：1套。
1.5交货期：合同签订后9个月内交货。1.6项目现场：中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所。
2.对投标人的资格要求2.1投标人具有独立法人资格，提供有效的营业登记等许可经营的证明文件。
2.2本次招标接受代理商投标，代理商必须获得制造商的合法授权，提供授权书。2.3本次招标不接受联合体投标。
2.4投标人必须向招标代理机构购买招标文件并进行登记才具有投标资格接受委托参与项目前期咨询和招标文件
编制的法人或其他组织不得参加投标。3.招标文件获取
3.1凡有意参加投标者，请于2022年8月11日至2022年8月18日17时(北京时间)
，将招标文件购买费用支付至中科信工程咨询北京有限责任公司开户行：华夏银行北京西客站支行帐号：
10235000000047830后登录航空工业电子采购平台http://www.eavic.com上传汇款底单和下载招标文件,现场不予受理。如有疑问，请致电航空工业电子采购平台服务热线400-890-0880
。3.2 招标文件售价800元，售后不退。
3 . 3 投标人必须在航空工业电子采购平台电子招投标专区注册，办理CA数字证书与电子签章，否则无法投标。详见航空工业电子采购平台电子招投标专区相关说明。
4.投标文件的递交4.1投标文件递交的截止时间投标截止时间，下同为2022年9月1日09时30分，
投标人必须在此时间前将加密的电子版投标文件传至航空工业电子采购平台电子招投标专区http://www.eavic.com/rest/index并在此时间前现场递交单独密封的纸质版投标文件。
4.2纸质版投标文件递交地点为北京市海淀区金沟河路与采石北路交叉口东南角88号大楼一层会议室。逾期送达的未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文件，招标人将予以拒收。
5发布公告的媒介本次招标公告同时在航空工业电子采购平台电子招投标专区中招联合招标采购平台中国国际招标网和
中国招标投标公共服务平台上发布。
八监督部门
本招标项目的监督部门为/。
九联系方式
招标人：北京长城计量测试技术研究所
地址：北京市海淀区太舟坞
联系人：王赛
电话：010-62459043
电子邮件：/
招标代理机构：中科信工程咨询北京有限责任公司
地址：北京市海淀区金沟河路与采石北路交口东南侧88号大楼
联系人：崔启明
电话：010-68388829
电子邮件：zhaobiaobuzonkex.com
招标人或其招标代理机构主要负责人项目负责人：签名
招标人或其招标代理机构：盖章

联系人：郝工
电话：010-68960698
邮箱：1049263697@qq.com