项目概况

清华大学微纳电子器件直流电学特性测试系统采购项目 招标项目的潜在投标人应在发售网址：http://sbcgczxxfb.sysc.tsinghua.edu.cn获取招标文件，并于2022年09月09日 09点00分（北京时间）前递交投标文件。

一、项目基本情况

项目编号：清设招第*******号

项目名称：清华大学微纳电子器件直流电学特性测试系统采购项目

预算金额：165.******0 万元（人民币）

最高限价（如有）：165.******0 万元（人民币）

采购需求：

设备用途介绍：微纳电子器件直流电学特性测试系统可用于对微纳电子器件（如微机电系统器件（MEMS），场效应晶体管（FETs），发光二极管(LEDs)等）施加电压和电流信号，以及对器件的电学特性测试表征。

简要技术指标 ：

1）探针台：8英寸半自动探针台，支持晶圆、芯片及单器件IV/CV测试；具备微暗屏蔽箱，可实现遮光、EMI屏蔽，支持低漏电测试，系统漏 电流100 fA左右。EMI 屏蔽 > 30 dB (typical) @ 1 kHz to 1 MHz；光衰减 ≥ 130 dB；光谱噪声基底 ≤ -180 dBVrms/rtHz (≤ 1 MHz)；系统交流电噪声 ≤ 5 mVp-p (≤ 1 GHz)。

2）半导体参数测试仪：可用插槽数目≥10；测试软件带PC端版本，支持离线分析，且支持多个用户，便于管理；C-V 多频率电容单元，AC 阻抗测量 (C-V, C-f, C-t)，频率范围：1 KHz~5 MHz，频率分辨率：1mHz。

合同履行期限：合同签订后180日内交货。

本项目(不接受)联合体投标。

二、申请人的资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

扶持小微企业、监狱企业、残疾人福利性企业发展，优先采购节能产品、环境标志产品等。

3.本项目的特定资格要求：1）在中华人民共和国境内注册；2）符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定的条件；3）通过“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）和中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）查询信用记录（截止时点为投标截止时间），被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商，没有资格参加本项目的采购活动；4）不接受联合体投标；5）单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得同时参加同一包号的政府采购活动；6）为某一包号提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加该包的其他采购活动；7）必须在线登记获取招标文件，否则没有资格投标。

三、获取招标文件

时间：2022年08月18日至2022年08月25日，每天上午8:00至12:00，下午12:00至16:30。（北京时间，法定节假日除外）

地点：发售网址：http://sbcgczxxfb.sysc.tsinghua.edu.cn

方式：本项目招标文件网上发售，潜在投标人在线提供申请材料，经审核通过后获取电子版招标文件

售价：￥0.0元，本公告包含的招标文件售价总和

四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点

提交投标文件截止时间：2022年09月09日 09点00分（北京时间）

开标时间：2022年09月09日 09点00分（北京时间）

地点：北京市海淀区清华大学华业大厦实验室处1区5层第三评标室（清华大学东南门东侧，无须办理入校手续）

五、公告期限

自本公告发布之日起5个工作日。

六、其他补充事宜

七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。

1.采购人信息

名 称：清华大学　　　　　

地址：北京市海淀区清华大学　　　　　　　　

联系方式：李春艳 010-********　　　　　　

2.项目联系方式

项目联系人：李春艳

电　话：　　010-********