光刻机项目已具备招标条件。资金来源自筹资金。中科信工程咨询（北京）有限责任公司（招标代理机构）受中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所（招标人）的委托，对该项目进行国际公开招标采购。

1. 招标范围

1.1 货物名称：光刻机

1.2 招标编号：0779-********A048

1.3 设备概况及技术性能：

1.3.1 设备概况

光刻机主要用于光电子、微电子、MEMS微纳图形加工工艺中高精度的紫外曝光与套刻对准，支持各类正胶、负胶工艺。包括主机、曝光系统、显微对准系统、计算机图像系统、键合对准系统、匀胶显影系统、掩模版夹具、对准台、热板、晶圆夹具等。

1.3.2 技术性能

1.3.2.1 曝光系统：

（1）曝光灯：LED曝光灯，可通过软件连续调节和设定光强；使用寿命大于5000小时；无需气体冷却；

（2）正面套刻精度：≤ ±0.25mm；

（3）光强均匀度：≤ ±2.5％。

1.3.2.2正面显微对准系统

（1）视场范围：不小于1500μm′2000μm；分辨率：0.8μm/Pixel，放大倍率范围：不小于100X~800X；

1.3.2.3背面显微对准系统

（1）解析度：≤1.1μm/Pixel；最大视场范围：≥ 2100mm′2800mm；

1.3.2.4 芯片找平系统

（1）采用独立式三轴芯片找平系统，三轴式找平装置呈120°分布在对准台上，通过对准台的上下运动和精准控制压力来实现晶圆—掩膜版之间的找平；

（2）找平过程中，掩膜版位置固定不动，晶圆夹具承载晶圆垂直升降，实现找平；找平系统压力连续可调。

1.4 数量：1套。

1.5 交货期：合同签订后9个月内交货。

1.6 项目现场：中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所。

2. 对投标人的资格要求

2.1 投标人具有独立法人资格，提供有效的营业登记等许可经营的证明文件。

2.2本次招标接受代理商投标，代理商必须获得制造商的合法授权，提供授权书。

2.3本次招标不接受联合体投标。

2.4投标人必须向招标代理机构购买招标文件并进行登记才具有投标资格；接受委托参与项目前期咨询和招标文件编制的法人或其他组织不得参加投标。

3. 招标文件获取

3.1凡有意参加投标者，请于2022年8月19日至2022年8月26日17时(北京时间)，将招标文件购买费用支付至中科信工程咨询（北京）有限责任公司（开户行：华夏银行北京西客站支行；帐号：102*****000******）后登录航空工业电子采购平台（www.eavic.com）上传汇款底单和下载招标文件,现场不予受理。如有疑问，请致电航空工业电子采购平台服务热线400-890-0880。

3.2 招标文件售价800元，售后不退。

3.3 投标人必须在航空工业电子采购平台电子招投标专区注册，办理CA数字证书与电子签章，否则无法投标。（详见航空工业电子采购平台电子招投标专区相关说明）。

4. 投标文件的递交

4.1投标文件递交的截止时间（投标截止时间，下同）为2022年9月9日09时30分，投标人必须在此时间前将加密的电子版投标文件传至航空工业电子采购平台电子招投标专区（www.eavic.com/rest/index）并在此时间前现场递交单独密封的纸质版投标文件。

4.2 纸质版投标文件递交地点为北京市海淀区金沟河路与采石北路交叉口东南角88号大楼一层会议室。逾期送达的、未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文件，招标人将予以拒收。

5发布公告的媒介

本次招标公告同时在航空工业电子采购平台电子招投标专区、中招联合招标采购平台、中国国际招标网和中国招标投标公共服务平台上发布。