一、项目名称：原子层沉积设备

二、项目编号：S*******

三、采购人：苏州大学采购与招投标管理中心

地址：江苏省苏州市东环路50号凌云楼0904室

邮编：******　　　　　　　传真：0512-********

联系人：丁老师　　　　　　电话：0512-********，********

电子邮箱：dingy@suda.edu.cn

技术联系人：彭老师　　　　电话：0512-********，138*****936

电子邮箱：jpeng@suda.edu.cn

四、采购货物品名、数量及主要性能参数要求

　原子层沉积设备　　1套

（一）主要性能参数要求

1. 工作条件

1.1 电源电压：AC 380V±10%，50Hz，三相五线

1.2 满足长时间连续工作（满足7×24，即每周7天、每天24小时运行）

2. 设备基础要求

2.1 主机

2.1.1样品台尺寸为φ200mm，高度可调，可放样品高度为10mm

2.1.2配备4 路前驱体源管路，2路常温源适用于饱和蒸汽压较高的源，2 路可加热源适用于需要加热的固态或液态源，预留2路可加热源位置用于扩展

2.1.3配备1路H2O反应物管路，反应物管路配备1个进口阀门，阀门最高耐温150℃

2.2. 适用于8英寸、6英寸、4英寸、3英寸、2英寸及破片加工，设备运行过程中，整机外壳温度均不高于60℃，以保证操作的安全性

2.3 真空腔

2.3.1 真空腔材质为不锈钢，腔体表面经过电解抛光处理

2.3.2 样品台室温至500℃可控，尺寸不小于φ200mm，可放样品高度不小于10mm

2.3.3 腔体进气方式：前驱体蒸汽通过喷淋头进入真空腔，蒸汽自上而下流经衬底

*2.3.4 腔体开关方式：可通过界面操作系统自动开关腔门，配备安全互锁检测功能，确保腔门在安全状态下开关；耐腐蚀O-ring密封

*2.3.5 腔体具备快速开关真空隔离装置，防止前驱体气体和等离子体活性自由基交叉污染，避免污染电感耦合等离子体反应装置

2.3.6 真空腔体上方具备独立的反应气扩散区域，配备活动式结构，腔体上方所有结构可完全打开，便于清洁

2.3.7 反应腔体内部配备可更换式内衬，维护时便于更换

2.4 气路

*2.4.1 至少配备4路前驱体源管路：2路常温源、2路加热源（不低于150℃）；其中两路常温源管路需加配耐腐蚀微调阀

2.4.2 每个前驱体源气路至少配备1个源瓶（≥250mL）和2个进口阀门

2.4.3 阀门配备安全互锁检测功能，在真空腔门打开时处于强制关闭状态，防止前驱体暴露在空气中

2.4.4 至少配备1路反应物管路，反应物包含H2O，每路反应物管路分别配备1个进口阀门，阀门最高耐温不小于150℃

2.4.5 反应物H2O管路需加配微调阀且配备1个经过电解抛光处理且体积不小于75mL的不锈钢源瓶

2.4.6 前驱体管路配有载气（N2），载气管路前端需配备计量调压阀、气动阀等

2.4.7 吹扫管路采用1个质量流量控制器和1个进口阀门(阀门最高耐温不小于150℃)用于控制惰性气体

2.4.8 管路及接头均采用EP级电解抛光不锈钢材料，所有气体管路连接处采用金属VCR密封

2.4.9 管路排布符合工业标准，从源瓶到真空腔的所有管路配备加热箱，保证管路、阀门等位置受热均匀

2.5 源瓶系统：室温至150℃可控，控制精度：±1℃

*2.6 加热箱：室温至150℃可控，控制精度：±1℃，要求所有管路放置在加热箱内实现一体式加热，加热箱内管路温度均匀性±5℃

2.7 采用固态继电器用于控制加热，符合UL、CSA、ROHS标准

2.8 真空泵采用双级油封式旋片真空泵，抽速65m3/h，噪音不大于62dB

2.9 真空测量：至少配备2个真空压力计，包含一个高真空压力计和一个大气真空压力计

2.10 真空压力计采用薄膜规，要求高精度，长寿命，必须对腐蚀性介质具有极高的耐受性，可在工艺进行的同时进行压力监测，精度：±0.25%读数；响应时间<20ms；分辨率≤0.005%FS；符合CE，ROHS规范

3. 设备软硬件规格

3.1 控制系统配备工控机和PLC，工控机配备SSD固态硬盘，安装正版操作系统；PLC可支持2ms扫描周期

3.2 输入设备配备鼠标、键盘和触摸显示器，显示器尺寸不小于19inch，可360度自由旋转，可调视距、视角、自由悬停

3.3 界面操作系统支持历史数据、报警日志的存储和导入导出功能

3.4 界面操作系统需实时展示系统加热状态、所有阀门开关状态、腔室压力状态

3.5 界面操作系统具备配方编辑功能，可对工艺参数沉积温度、循环次数、脉冲时间等进行编辑

3.6 用户可设定设备及工艺运行时的报警参数，包括但不限于温度、压力、流量等

3.7 用户可设定设备及工艺运行时的提醒参数，包括前驱体源用量追踪及提醒功能

3.8 界面操作系统具备用户权限管理功能，可根据用户级别设定使用权限，针对操作人员分级管理

3.9 界面操作系统支持多个配方交替运行，实现单一和多层薄膜材料的制备

3.10 界面操作系统可自动完成Thermal-ALD和PEALD的单一或多层配方运行

3.11 界面操作系统配备独立的维护界面，所有管路具备自动清洗功能，确保ALD阀门与真空腔之间的管路没有前驱体残留

3.12阀门配备电磁阀，电磁阀响应时间<5ms，带过电压保护回路，带动作指示灯

3.13电气硬件互锁设计包含CDA等硬件互锁（Interlock）功能，防止误操作的发生，保证设备和人身安全

4. 等离子体系统

4.1 采用电感耦合(ICP)远程等离子体激发源

*4.2 配备射频电源，频率13.56MHz，功率不小于1000W，冷却方式为风冷。功率输出稳定度及功率调节精度不大于10W，功率转化效率不小于65%，杂散功率抑制不小于-60dBc，谐波抑制不小于-50dBc

4.3 配备自动匹配器，可自动进行阻抗匹配，缩短匹配时间

4.4 配备自动匹配器集成步进马达和驱动器，集成VI传感器，传感器具备检测射频功率输出端参数功能，匹配时间不大于3s

4.5 配备3路气体管路，包含N2、O2、H2

4.6 每路气体管路配备1个进口阀门和1个质量流量控制器

4.7 等离子体工艺启辉窗口，功率范围30 W～1000W，压力范围0.05 Torr ～1.0Torr

5. 热阱加热器

5.1 设备配备热阱加热器用于处理反应残余气

5.2 热阱加热器内部阱芯可更换

5.3 热阱加热器最高可加热温度不小于400℃，控温精度±1℃

6. 工艺及服务

6.1.1 工艺验收标准：8英寸（?200mm）单晶硅片基底上沉积30nm Al2O3薄膜，薄膜的不均匀性＜2％（均匀九点）

6.1.2提供原子层沉积工艺技术支持

（二）质保期不少于1 年

（三）报价要求

若采购需求未发生实质性变动（由磋商小组进行认定），本项目将不再组织二次报价，即以供应商响应文件中的报价为最终报价。

五、评分标准

本次磋商采用综合评分法，总分为100分，具体内容如下：

（一）技术参数、配置及整体综合性能分（50分）

1．技术参数及配置（35分）

以供应商提供的能直接反映该产品技术参数的彩页或产品说明书等作为主要评判依据，其他情况由磋商小组根据实际情况进行评判。

（1）所提供产品多项不满足磋商公告标注“*”要求（偏离），或参数偏离超出用户教学、科研可接受范围的，经磋商小组评审可作为无效响应文件。

（2）所提供产品不满足磋商公告标注“*”要求（偏离）、配置不详、技术参数不明确、缺漏项的，每处扣5分。

（3）所提供产品不满足磋商公告未标注“*”要求（偏离）、配置不详、技术参数不明确、缺漏项的，每处扣2分。

2．综合性能情况（15分）

（1）所提供产品性能参数优于竞争性磋商文件中技术要求情况（磋商小组认为超出指标有意义的）（6分）。其中优于项，每处加2分。

（2）所提供产品的市场反馈情况（9分）。根据所提供产品的品牌影响力、市场占有率（同行业为主）、现有用户的反馈情况、使用提供产品发表的学术论文情况等综合评定。

（二）价格分（35分）

1．基准价：满足竞争性磋商文件要求且价格最低的报价为基准价，基准价为满分35分；

2．其他供应商的报价得分按照下列公式计算：报价得分＝（基准价／报价）×35分。

（三）综合商务（15分）

1．供应商综合实力（2分）

根据供应商综合实力评定。

2．售后服务与培训情况等（10分）

（1）质保期（3分）。符合磋商文件要求的，得1分，每增加一年质保期加1分。

（2）服务、技术支持与培训承诺情况（7分）。

根据磋商响应文件的相关承诺、服务网点设置情况、服务响应时间、免费培训次数、现有用户对产品售后服务情况及服务水平的反馈等综合评定。

3．其它（3分）

（1）磋商响应文件质量（1分）。根据磋商文件的规范性、完整性等情况综合评定。

（2）其它优惠措施等（2分）。根据供应商提供的在磋商文件要求范围以外，磋商小组认可的优惠措施综合评定。

六、磋商响应报价应包括所报仪器设备费、安装调试费、测试验收费、培训费、运行维护费、税金(含美国产品被加征关税)、国际国内运输费、保险和其他为完成本项目所发生的一切费用。

七、供应商资质要求

（一）在中国境内注册成立的企业，具有独立法人资格。

（二）经营范围包含报价产品。

（三）本项目不接受联合体报价。

八、磋商响应文件的组成

（一）磋商响应文件一般由下列材料组成（部分表格样式见附件），复印件须加盖供应商公章，所有材料须按序装订成册：

1. 磋商响应资料与页码对照表。

2. 磋商响应函（原件）。

3. 响应基本情况一览表（原件）。

4. 详细配置清单（原件）。

5. 技术规格偏离表（原件）。

6. 公司简介（包括响应单位的资质、业绩、获得的荣誉等，原件）。

7. 资格证明材料

（1）营业执照、税务登记证以及组织机构代码证（复印件）。

（2）法定代表人授权书（原件）。

（3）法定代表人身份证明材料（如身份证、护照等）（复印件）。

（4）法人授权代表身份证明材料（如身份证、护照等）及单位社保证明（复印件）。

（5）供应商最新的年度审计报告或财务报告（复印件）。

（6）仪器设备生产或经营企业许可证（复印件，特殊行业必须提供）。

（7）仪器设备销售代理授权证明（非投标产品生产制造厂商投标的，须按第2.2条要求提供，专项授权书提供原件、代理证书提供复印件）。

（8）有关质量认证中心出具的质量体系认证证书（例如：ISO、FDA、CE、3C等，国家强制要求的设备必须提供，复印件）。

（9）近三年来与本次磋商仪器设备相同产品的用户名单及联系方式（以教学、科研用户为主，原件）。

8. 服务措施、服务承诺（主要包括针对本项目的服务、培训方案及其他优惠措施等）（原件）。

9. 供应商认为应该提供的其他材料。

（二）特别说明

1. “磋商响应文件”应装订并密封，并加盖投标单位公章；

2. 正本一份，副本三份，如副本与正本有出入，以正本为准；

3. 相关材料及填写规范按照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第三条“投标文件”中的具体要求执行。

九、货物交货期、交货地点、付款方式、安装、调试、验收以及售后服务等相关商务要求，参照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第21条中的要求执行。

十、磋商文件价格：人民币500元（相关缴纳事宜详见附件2），售后不退。

十一、供应商在报名前，须认真阅读《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》和本磋商公告，完全了解并接受其所有条款及要求，并在2022年9月12日12：00前将报名函（格式见附件3）发送邮件至采购人处（dingy@suda.edu.cn）。

十二、递交磋商响应文件相关事宜：

（一）顺丰邮寄（建议优先采用）

1.寄达时间：2022年9月16日9：00前；

2.收件人信息：

收件人：丁悦

联系方式：138*****427

收件地址：江苏省苏州市东环路50号苏大东校区（采购与招投标管理中心）

（二）现场递交

1. 现场递交时间：2022年9月16日8：30～9：00

2. 现场递交地点：江苏省苏州市东环路50号苏州大学东校区东大门

十三、递交磋商文件截止时间：2022年9月16日9：00。

十四、磋商时间：2022年9月16日9：00。

竞争性磋商公告附件.rar