一、项目信息

采购人：合肥国家实验室

项目名称：合肥国家实验室磁控溅射镀膜机采购项目

拟采购的货物或服务的说明：合肥国家实验室拟购置一套磁控溅射镀膜机

拟采购的货物或服务的预算金额：*******.00人民币

采用单一来源采购方式的原因及说明：在半导体量子比特的多比特耦合架构设计研究中，目前国际主流的方案是利用超导微波谐振腔中的光子与半导体量子比特中电子的自旋强耦合，进而传递比特之间的相互作用。实际实验中，需要将这种材料蒸镀到基片表面，形成致密的、均匀的薄膜，以进行下一步的图形化。磁控溅射是当前主流的制备方式，该过程可以在合适的真空环境下，利用金属靶材在氮气氛围下溅射，通过控制靶材挡板、真空度、和气体流量，可以便捷的控制元素的比例，实现高质量薄膜的蒸镀。为了保证薄膜蒸镀的稳定性，避免交叉污染，保证器件质量，根据项目需求，需要购置一台磁控溅射设备，专门用于低厚度NbTiN/TiN薄膜的蒸镀

根据实验需求，要求设备技术指标要达到一下几点：（1）超高真空靶材磁控溅射沉积腔体镀膜，沉积室极限真空达到3e-9Torr；（2）超高真空进样室，包括离子束刻蚀；（3）4英寸衬底加热最高900℃，衬底和靶材间的距离自动连续可调；（4）TiN四电阻5点均匀性：TiN四电阻5点均匀性:3"1σ<+/-3%，10mmx10mm1σ<+/-1%,RoughessRa<1nm；（5）设备整机全自动运行。调研发现目前国内能够满足以上功能需求和性能需求的磁控溅射平台只有厦门韫茂科技开发的磁控溅射镀膜机。

二、拟定供应商信息

名称：厦门韫茂科技有限公司

地址：福建省厦门市集美区兑英南路255号天马华侨农场B区4号楼二楼

三、公示期限

公示期限：5个工作日（2022年8月30日-2022年9月6日）；任何供应商、单位或个人对本采购项目有异议的，可以在公示期内以书面形式向安徽省招标集团股份有限公司反映。

四、联系方式

1.采购人：合肥国家实验室

联 系 人：赵鑫

联系地址：合肥市蜀山区望江西路5099号

联系电话：0551-********

邮箱：zhaoxin@ustc.edu.cn

2.采购代理机构：安徽省招标集团股份有限公司

联 系 人：刘志凌、张文奇

联系地址：安徽省合肥市包河大道236号

联系电话：0551-********、********、152*****650

五、附件

1.专家论证意见表