0613-154022120340上海华虹宏力半导体制造有限公司两面刷片清洗设备国际招标公告(1)
0613-154022120340上海华虹宏力半导体制造有限公司两面刷片清洗设备国际招标公告(1)
上海机电设备招标有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2015-02-05在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:通过使用纯水搭配刷子或其他高压冲洗等功能,清洗硅片正反两面,达到清除颗粒的效果。
资金到位或资金来源落实情况:资金已到位
项目已具备招标条件的说明:项目已具备招标条件
2、招标内容
招标项目编号:****-********0340
招标项目名称:上海华虹宏力半导体制造有限公司两面刷片清洗设备
项目实施地点:中国上海市
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 两面刷片清洗设备 | 1 | ★1 H3PO4 partial drain By wafer counter,满足HDP刻蚀速率要求,并能依照所需可根据1 Unscheduled Downtime ? 2%2 Scheduled Downtime ? 2%3 Equipment Availability / Uptime ? 95%4 Mean Time Between Failures (MTBF) ? 200 hours5 Mean Time To Repair (MTTR) ? 4 hours6 Scrap rate ? 1/100,000 wafers7★ WPH(Base on HG FAB2 recipe 0061/0062) >= 120pcs/hour |
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