量子点DFB激光器工艺（ZJLAB-FS-BX20220766）采购公告
量子点DFB激光器工艺（ZJLAB-FS-BX20220766）采购公告
| 项目名称 | 量子点DFB激光器工艺 | 项目编号 | ZJLAB-FS-BX******** |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 166*****37000 | 公告截止日期 | 166*****00000 |
| 采购单位 | 之江实验室 | 付款方式 | 100%预付款 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 成交后3个工作日内 | 到货时间要求 | 无 |
| 预 算 | ******.0 | ||
| 收货地址 | 无 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 量子点DFB激光器工艺 | 10 | 项 | 其他服务行业 |
| 品牌 | 无 |
|---|---|
| 型号 | 无 |
| 品牌2 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 品牌3 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 预算 | *****.0 |
| 技术参数及配置要求 | 根据我方提供具有不同外延结构的量子点材料外延片10片（包括不同掺杂类型和不同外延层厚度），完成激光器标准工艺。具体包括以下内容：1. 根据我方设计的光刻板，完成普通光刻工艺三次：分别完成脊形波导、电极窗口和金属电极图形化的制作，要求图形清晰、尺寸标准、对版准确；2. 根据我方设计的光栅方案（图案包括覆盖O波段的不同周期、相移等，深度覆盖1～2的不同耦合强度），使用电子束曝光制备图案，要求光栅形貌均匀、清晰，与脊波导耦合紧密；3. 根据工艺要求，对外延片进行减薄，厚度120μm，误差10μm以内；4. 进行正背面金属电极的沉积，分别为TiPtAu和AuGeNi、TiPt、Au等；厚度分别为500nm和400nm以上；5. 对于10片晶圆工艺，要求重复性高、均匀性好，可对比性强，器件性能均匀性良好。 |
| 售后服务 | 24小时技术支持; |
标签: 激光器 工艺
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