感应耦合等离子体刻蚀机（硅刻蚀机）项目已具备招标条件。资金来源100%自筹资金。中科信工程咨询（北京）有限责任公司（招标代理机构）受中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所（招标人）的委托，对该项目进行国际公开招标采购。

1. 招标范围

1.1 货物名称：感应耦合等离子体刻蚀机

1.2 招标编号：0779-********A052

1.3 设备组成及技术性能：

1.3.1 设备组成

该设备通过感应耦合（ICP）方式产生高密度等离子体，用于深硅刻蚀。感应耦合等离子刻蚀机（ICP-RIE）主要由以下几部分组成：反应腔室、上电极、下电极、射频源、真空系统、气路系统、预真空室、控制系统与软件、深硅刻蚀DRIE套件、配套附件等。

1.3.2 技术性能

1.3.2.1 反应腔室：本底真空≤ 1 × 10^-6mbar，真空漏率≤ 2 x 10^-4mbar·L/s。

1.3.2.2 上电极：上电极安装感应耦合等离子体（ICP）源。

1.3.2.3 下电极： 样品直径为最大8英寸，小于8英寸的样品可使用8英寸载片器；无需打开反应腔即可进行不同尺寸样品间的切换。通过独立的冷水机和内置加热装置控制工艺温度，控温范围满足不小于-30℃ ~ +200℃，温度控制偏差≤1℃。

1.3.2.4 真空系统： 采用水平放置方式磁悬浮涡轮分子泵，涡轮分子泵抽速≥1350 L/s。

1.3.2.5 气路系统： 每路工艺气路均配置质量流量计MFC、颗粒过滤器和气动截止阀。MFC距离反应腔室的距离不超过150 cm。

1.4 数量：1台（套）。

1.5 交货期：合同签订后8个月内交货。

1.6 项目现场：中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所。

2. 对投标人的资格要求

2.1 投标人具有独立法人资格，提供有效的营业登记等许可经营的证明文件。

2.2本次招标接受代理商投标，代理商必须获得制造商的合法授权，提供授权书。

2.3本次招标不接受联合体投标。

2.4投标人必须向招标代理机构购买招标文件并进行登记才具有投标资格；接受委托参与项目前期咨询和招标文件编制的法人或其他组织不得参加投标。

3. 招标文件获取

3.1凡有意参加投标者，请于2022年9月5日至2022年9月13日17时(北京时间)，将招标文件购买费用支付至中科信工程咨询（北京）有限责任公司（开户行：华夏银行北京西客站支行；帐号：102*****000******）后登录航空工业电子采购平台（www.eavic.com）上传汇款底单和下载招标文件,现场不予受理。如有疑问，请致电航空工业电子采购平台服务热线400-890-0880。

3.2 招标文件售价800元，售后不退。

3.3 投标人必须在航空工业电子采购平台电子招投标专区注册，办理CA数字证书与电子签章，否则无法投标。（详见航空工业电子采购平台电子招投标专区相关说明）。

4. 投标文件的递交

4.1投标文件递交的截止时间（投标截止时间，下同）为2022年9月26日13时30分，投标人必须在此时间前将加密的电子版投标文件传至航空工业电子采购平台电子招投标专区（www.eavic.com/rest/index）并在此时间前现场递交单独密封的纸质版投标文件。

4.2 纸质版投标文件递交地点为北京市海淀区金沟河路与采石北路交叉口东南角88号大楼一层会议室。逾期送达的、未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文件，招标人将予以拒收。

5发布公告的媒介

本次招标公告同时在航空工业电子采购平台电子招投标专区、中招联合招标采购平台、中国国际招标网和中国招标投标公共服务平台上发布。