浦江县妇幼保健院关于浦江县江南片区医疗中心建设工程招标公告

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项目名称AP-600等离子体清洗机项目编号XF-WSBX-*******
公告开始日期2022-09-14 08:30:02公告截止日期2022-09-21 10:00:00
采购单位浙江大学付款方式货到付款。境内供货的,甲方在到货验收后15日内向乙方一次性支付本项目的总款项。 境外供货需要由甲方办理进口减免税业务的,也必须以人民币报价,且包含货送到用户指定实验室前的所有费用。甲方指定的外贸代理公司在甲方到货验收后15日内向乙方指定的外方公司一次性支付款项。支付方式在《技术参数及配置要求》栏内另有约定的,从其约定。
联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求成交后3天到货时间要求成交后60天
预算总价¥490,000.00
收货地址浙江大学海宁校区1A楼128房间
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件




采购清单1
采购商品采购数量计量单位所属分类
AP-600等离子体清洗机1其他特种设备

品牌NORDSON MARCH
型号AP600
预算单价¥490,000.00
技术参数及配置要求浙江大学等离子清洗机招标说明文件

等离子清洗机需要是台式的,完全独立,需要最小的工作台空间。该系统底盘需要容纳
等离子室,控制电子,13.56 MHz 射频发生器和自动匹配网络(只有真空泵是外部的系统)。
通过联锁门或可拆卸面板提供维修通道。等离子需要支持多达 7 个可移动和可调的动力或接地架子,以容纳广泛的件件、组件和部件载体,包括杂志、托盘和船。真空等离子体处理系统可以容纳各种工艺气体,需要包括氩、氧、氢、氦和氟化气体。标准配置两个(2)电子质量流量控制器,用于最优气体控制,另外两个(2)可选(最多4个)。提供方便的设备连接,用于验证过程中的定期校准要求。
一、功能配置要求:
1. 灵活的货架结构允许处理各种各样的零件载体在直接或下游等离子模式
2. 13.56 MHz射频发生器需要配有自动阻抗匹配功能,满足过程重现性
3. 批量生产,每个单元都是完全独立的,只需要最小的占地面积
4. 泵、腔室、控制电子器件和13.56 MHz射频发生器都装在一个单独的外壳中
5. 带有触摸屏的PLC控制器提供直观的图形界面和实时过程表示
6. 提供专用软件控制系统输出过程和生产数据,用于统计过程控制
7. 可使用氩离子进行表面清洗
8. 可使用氧离子进行表面清洗

二、硬件配置要求:
1. 工作真空度:20-100Pa,可自动进行压力控制。
2. 真空泵极限压力:1.0×10-2Pa
3. 抽真空时间:≤90S
4. 破真空时间:20-40S
5. 供气方式:电磁阀式,可通氧气。
6. 流量计调节范围:0-300Sccm
7. 操作方式:人工取放工件,一键启动自动控制
8. 容仓≥50L
9. 油泵抽气速度:74m3hˉ1 50HZ; 90 m3hˉ1 60HZ
10. 设备尺寸不超过W569*D869*H704mm
11. 射频微波频率13.56MHz,功率不小于600W

三、清洗效果判定:
氧气环境下清洗芯片表面光刻胶,不损伤芯片上的原有的硅和金属图形。
售后服务服务网点:当地;电话支持:7x24小时;质保期:7;服务时限:报修后12小时;销售资质:协议供货商;商品承诺:原厂全新未拆封正品;

浙江大学

2022-09-14 08:30:02


联系人:郝工
电话:010-68960698
邮箱:1049263697@qq.com

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