磁控溅射镀膜机(JJ22000535)采购公告
磁控溅射镀膜机(JJ22000535)采购公告
项目名称 | 磁控溅射镀膜机 | 项目编号 | JJ******** |
---|---|---|---|
公告开始日期 | 166*****54000 | 公告截止日期 | 166*****00000 |
采购单位 | 东北大学 | 付款方式 | 货到验收合格后付全款 |
联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
签约时间要求 | 成交后15天 | 到货时间要求 | 签约后60天 |
预 算 | ******.0 | ||
收货地址 | 辽宁省沈阳市和平区文化路三巷11号 | ||
供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
---|---|---|---|
磁控溅射镀膜机 | 1 | 台 | 其他特种设备 |
品牌 | 泰科诺 |
---|---|
型号 | JCP500 |
品牌2 | 无 |
型号 | 无 |
品牌3 | 无 |
型号 | 无 |
预算 | ******.0 |
技术参数及配置要求 | 主要由真空系统、真空测量系统、气路系统、PLC+触摸屏控制系统、溅射系统等组成。其中溅射电源可兼容直流脉冲溅射电源、射频电源。基片台绝缘设计,可接脉冲偏压电源。1.真空腔室:Ф500×H420mm,SUS304不锈钢真空腔室,前开门结构,顶板焊水线;2.真空系统:复合分子泵+直联高速旋片式真空泵+高真空阀门+数显复合真空计;3.真空极限:6.0×10-5Pa(设备空载,抽真空24小时);4.升压率:设备升压率:≤0.8Pa/h(12小时平均值);设备保压:停泵12小时后,设备真空度≤10Pa;5.抽速:从大气抽至5.0×10-3Pa≤15min(设备空载);从大气抽至5.0×10-3Pa≤10min(设备空载,干燥氮气环境);6.基片台:①基片台尺寸Φ150mm,最大样品尺寸小于Φ150mm;配有基片台挡板;②旋转转速0~20转/分钟,可调可控;基片台与腔室绝缘设计,可加偏压电源;③加热:室温~500±1℃(基片台环境温度);PID智能温控闭环控温,可控可调。7.溅射靶及电源:①配置3套3英寸永磁共焦磁控溅射靶(靶角度、靶基距手动可调),向上溅射;可以溅射磁性材料,磁控靶配有气动挡板结构;②工作方式:各靶可独立/顺次/共同工作,采用磁控靶从下向上溅射镀膜;③电源:直流脉冲溅射电源1kW,数字化控制及显示,2台;射频电源RF500W, 数字化控制及显示,1台;脉冲偏压电源:-1kV, 数字化控制及显示,1台。8.工作气路系统:质量流量控制器及量程范围:Ar,100sccm;N2,50sccm;O2,20sccm;9.膜厚不均匀性:≤±5%(单靶镀膜,基片台Φ120mm范围内);10.控制方式:PLC+触摸屏控制;11.报警及保护:对缺水进行报警并执行相应保护措施;完善的逻辑程序互锁保护系统; |
售后服务 | 无 |
招标
|
- 关注我们可获得更多采购需求 |
关注 |
最近搜索
无
热门搜索
无