磁控溅射镀膜机（JJ22000535）采购公告
磁控溅射镀膜机（JJ22000535）采购公告
| 项目名称 | 磁控溅射镀膜机 | 项目编号 | JJ******** |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 166*****54000 | 公告截止日期 | 166*****00000 |
| 采购单位 | 东北大学 | 付款方式 | 货到验收合格后付全款 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 成交后15天 | 到货时间要求 | 签约后60天 |
| 预 算 | ******.0 | ||
| 收货地址 | 辽宁省沈阳市和平区文化路三巷11号 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 磁控溅射镀膜机 | 1 | 台 | 其他特种设备 |
| 品牌 | 泰科诺 |
|---|---|
| 型号 | JCP500 |
| 品牌2 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 品牌3 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 预算 | ******.0 |
| 技术参数及配置要求 | 主要由真空系统、真空测量系统、气路系统、PLC+触摸屏控制系统、溅射系统等组成。其中溅射电源可兼容直流脉冲溅射电源、射频电源。基片台绝缘设计，可接脉冲偏压电源。1.真空腔室:Ф500×H420mm，SUS304不锈钢真空腔室，前开门结构，顶板焊水线；2.真空系统:复合分子泵+直联高速旋片式真空泵+高真空阀门+数显复合真空计；3.真空极限:6.0×10-5Pa（设备空载，抽真空24小时）；4.升压率:设备升压率：≤0.8Pa/h（12小时平均值）；设备保压：停泵12小时后，设备真空度≤10Pa；5.抽速:从大气抽至5.0×10-3Pa≤15min（设备空载）；从大气抽至5.0×10-3Pa≤10min（设备空载，干燥氮气环境）；6.基片台:①基片台尺寸Φ150mm，最大样品尺寸小于Φ150mm；配有基片台挡板；②旋转转速0～20转/分钟，可调可控；基片台与腔室绝缘设计，可加偏压电源；③加热:室温～500±1℃（基片台环境温度）；PID智能温控闭环控温，可控可调。7.溅射靶及电源:①配置3套3英寸永磁共焦磁控溅射靶（靶角度、靶基距手动可调），向上溅射；可以溅射磁性材料，磁控靶配有气动挡板结构；②工作方式：各靶可独立/顺次/共同工作，采用磁控靶从下向上溅射镀膜；③电源：直流脉冲溅射电源1kW，数字化控制及显示，2台；射频电源RF500W， 数字化控制及显示，1台；脉冲偏压电源：-1kV， 数字化控制及显示，1台。8.工作气路系统:质量流量控制器及量程范围：Ar，100sccm；N2，50sccm；O2，20sccm；9.膜厚不均匀性:≤±5%（单靶镀膜，基片台Φ120mm范围内）；10.控制方式:PLC+触摸屏控制；11.报警及保护:对缺水进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统； |
| 售后服务 | 无 |
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