匀胶旋涂仪竞价公告
匀胶旋涂仪竞价公告
正文内容
| 申购单基本信息： | |||
| 单据编号 | ********00011 | 设备类型 | 电子设备 |
| 竞价名称 | 匀胶旋涂仪 | ||
| 币种 | 美元 | 是否公开信息 | 否 |
| 截标时间 | 2015-03-16 00:00 | 收货时间 | 2015-06-01 |
| 收货地点 | 湖北省武汉市洪山区珞瑜路1037号华中科技大学机械学院 徐文超 | ||
| 竞价描述( 备注) | 1、腔体尺寸：9.5英寸 (241 毫米)；2、Wafer芯片尺寸：10-150mm直径的材料，方片125x125mm；3 转动速度：0-12,000rpm，4、旋涂加速度：0-30000rpm/sec（空载）；5、马达旋涂转速：稳定性能误差 < ±1%；6、转速调节精度：<0.2rpm，重复性< 0.2rpm；7、工艺时间设定：1-5999.9 sec/step 0.1 精度；8、匀胶机材质：NPP天然聚丙烯材质，抗腐蚀性和抗化学物性，美观大方；9、高精度数码控制器：PLC控制，点精度小于0.006%。10、程序控制：可存储20个程序段，可以设置51步不同的速度状态；11、分辨率：分辨率小于0.5转/分，可重复性小于±0.5转/分；12．电子绝缘负载双保护装置；13．嵌锁的安全盖板；14．防腐装置；15． 保护气体装置16．配套真空泵系统：无油型，17．真空泵参数：25-28 英寸汞柱，抽速：0.11 立方米/分钟。18、配套分析软件；19、进口水平测试仪； 20、两袋密封圈；21、废液接收单元；22、特氟龙材质衬垫23、晶圆对准器；24、定制型蜂窝托盘 | ||
| 附件 | |||
| 成交金额 | |||
| 申购单设备信息： | |||
| 设备名称 | 设备型号 | 设备规格 | 数量 |
| 匀胶旋涂仪 | 1 | ||
| 公司名称： | 华中科技大学实验室与设备管理处 | ||
| 地址： | 湖北省武汉市洪山区珞瑜路1037号 | ||
| 电话： | ***-******** ***-******** | ||
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