金属晶圆湿法刻蚀台采购公告
金属晶圆湿法刻蚀台采购公告
项目编号：XC********
根据《上海大学采购管理办法（试行）》和《上海大学货物和服务快速采购实施细则》，上海大学微电子学院因教学、科研需要，现以上大迅采方式采购金属晶圆湿法刻蚀台。
1、符合政府采购法第二十二条之供应商资格规定。
2、供应商未被列入“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）失信执行人名单、重大税收违法案件当事人名单，和中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）政府严重违法失信行为记录名单的供应商。
| 采购内容/设备名称 | 参考品牌 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|---|
| 金属晶圆湿法刻蚀台 | 1 | 台 |
| 参数名称 | 是否需要附件证明 | 评分等级 | 参数说明 |
|---|---|---|---|
| 设备组成 | 是 | 核心指标 | 设备包含1套金属晶圆刻蚀台、1套金属晶圆制备台。 (供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。) |
| 金属晶圆刻蚀台包含 | 是 | 核心指标 | 3个独立金属（Au/Ti/Mo）刻蚀槽、1个备用金属刻蚀槽、1个QDR清洗槽、1个冲洗槽。被清洗工件规格:最大6寸晶圆片，向下兼容。产能：4寸，1篮，1-25片/篮； 6寸 1篮 1-5片。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。) |
| 每个独立刻蚀槽体 | 是 | 核心指标 | 3个工艺独立刻蚀槽和1个备用刻蚀槽。1）材质采用PTFE焊接成型；2）工艺槽和备用槽功能:浸泡和加热；3）介质：金属刻蚀液；4）温度可控范围：室温-80°C可调，温控精度±1℃；5）液位：N2液位侦测，控制液位高度，确保槽体有液工作；6）内槽尺寸（约）：L×W×H≥250 mm×200 mm×250 mm；7）配有PTFE或PP槽盖；8）可设定处理时间；9）排液方式:通过重力直排至厂务端。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。) |
| 金属晶圆制备台包含 | 是 | 核心指标 | 1个沉积槽。工件规格:最大4寸晶圆。产能：4寸最多1片/篮 。沉积槽:1）材质为PTFE或PP；2）主要功能:金属沉积，具备浸泡、加热、摆动、循环过滤；3）药液温度:RT～50℃，温控范围RT～80℃可调，使用精准温控仪表控制，通过PID控制方式，温控精度±1℃，显示精度0.1℃；4）循环过滤：循环采用磁力泵循环15～30L/min，配置5英寸PP过滤器，过滤精度2μm； 5）内槽尺寸：≥200 mm×250 mm×200 mm；6）阳极：特制阳极板，改善沉积过程中的电力线分布，进一步提高沉积层一致性；7）电源：采用双脉冲电源。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。) |
| QDR槽 | 是 | 核心指标 | 数量：1套1）材质采用PTFE焊接成型或10mm厚纯天然聚丙烯（PP-N）；2）槽体功能:喷淋 溢流 鼓泡 快排；3）清洗时间可设定；4）内槽尺寸（约）：L×W×H≥250 mm×200 mm×250 mm；5）配有PTFE或PP槽盖；6）上液排液方式：自动气动阀控制；7）鼓泡：槽体配N2鼓泡管路，有效加强清洗效果；8）溢流功能：槽体周边波浪形溢流口，确保槽内污水四面均匀溢出；9）工艺流程：在触摸屏里将（喷淋 溢流 鼓泡 快排）模块化设计，每个工序时间客户可在0～9999S内自由设定，并且此模块程序可以设定重复次数，以达到清洗效果，模块工艺时间到，伴随声光报警提示。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。) |
| 冲洗槽 | 是 | 非核心指标 | 1） 材质：PTFE或10mm厚PP-N；2）槽体功能：冲洗；3）内槽尺寸（约）：L×W×H≥250 mm×200 mm×250 mm；4）配有PTFE或PP槽盖；5）排液方式：自动气动阀控制；6）介质：DIW。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。) |
| 金属晶圆刻蚀台-分布布局 | 是 | 非核心指标 | 1）使用隔断将所有槽体隔开；2）预留台面操作空间，尺寸≥400mm×200mm；3) 水枪至少一个，水龙头至少一个，氮气枪至少一个；4）抽风系统和安全保护系统。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。) |
| 金属晶圆刻蚀台 | 是 | 非核心指标 | 1) 节拍：0-99min可调；2) 管路：管路位于机台下/后部，管道采用PPH和PFA管路相互配合使用；3) 排风：根据流体学原理设计位于机台后上部；4) 工作照明：机台顶部配防腐防爆白光照明；5) 开门样式：PP 透明PVC上下推拉门；6) 安全防护6.1) 漏电保护：设备整机设有防漏电断路保护装置；6.2) 漏液检测：设备管路区安装漏液检测传感器；6.3) 防漏装置：设备底部安装5mm厚PP防漏托盘，有效防止设备漏液损害厂务地板；6.4) 操作台面为漏空台面，台面易拆卸，台面下有接水盘，打开漏空台面，槽体可从工作面取出；6.5) 线路保护：设备采用耐腐蚀导线并通过耐腐蚀PE管进行保护，防腐防水；6.6) 电器保护：电控部分正压N2保护,有效防止防腐；7) 紧急及警报系统：设备有可靠的接地装置及紧急关机和报警系统。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。) |
| 金属晶圆制备台 | 是 | 非核心指标 | 1）节拍：0-99min可调；2）管路：管路位于机台下/后部，管道采用PPH和PFA管路相互配合使用；3）DI/N2 GUN：设备配PPN2 Gun ，DIW Gun各1把；4）安全防护4.1）漏电保护：设备整机设有防漏电断路保护装置；4.2）漏液检测：设备管路区安装漏液检测传感器；4.3）防漏装置：设备底部安装5mm厚PP防漏托盘，有效防止设备漏液损害厂务地板；4.4）操作台面为漏空台面，台面易拆卸，台面下有接水盘，打开漏空台面，槽体可从工作面取出；4.5) 线路保护：设备采用耐腐蚀导线并通过耐腐蚀PE管进行保护，防腐防水；4.6) 电器保护：电控部分正压N2保护,有效防止防腐；4.7) 紧急及警报系统：设备有可靠的接地装置及紧急关机和报警系统；沉积槽：1）进液方式：手动上液；2）加热方式：采用浸入式PTFE加热器加热；3）液位保护：槽体配置高中低液位传感器，确保加热安全；4）挂具：圆片采用圆周均布多点式接电方式； 5）摆动功能：阴极挂架可水平摆动，摆动行程30mm，摆动频率0-60次/分钟连续可调，调整方式为手动电位器调整，采用精研减速机控制；6）药液注入方式：人工注入，直接倒入沉积槽；7）沉积槽液位：具有高低液位开关，防止干烧，高液位控制自动注水停止；8）沉积槽药液排放：通过操作触摸屏控制气控阀重力排放到设备后部独立排放接口；9）回收泵：配置PP气动隔膜泵将药液打进回收桶内；10）槽盖：配置透明PVC槽盖，配充N2保护。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。) |
| 每个独立刻蚀槽体 | 是 | 非核心指标 | 1）介质：金属刻蚀液；2）药液温度控制：使用精准温控仪表控制，通过PID控制方式，温控精度±1℃，显示精度0.1℃；3）进液方式：手动上液；4）加热方式：浸入式板式加热器加热；5）液位：N2液位侦测，控制液位高度，确保槽体有液工作；6）槽盖：配置PP-N手动槽盖，防止停机污染。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。) |
| 要求名称 | 是否需要附件证明 | 要求说明 |
|---|---|---|
| 营业执照（三证合一） | 是 | 请上传相关证明材料(须加盖供应商公章) |
| 信用中国证明 | 是 | 信用信息报告日期最早应为本项目迅采公告发布之日(须加盖供应商公章) |
| 要求名称 | 是否需要附件证明 | 要求说明 | 评分内容 |
|---|---|---|---|
| 同类业绩 | 是 | 供应商需提供近3年（自2019年1月起至今）同类设备的销售合同，其中需体现合同的签约主体、销售设备名称、签订日期等合同要素的相关内容。同类业绩合同供应商需分列填报上传，合并文件填报或集中填报在同一格子内的算1份业绩。 | |
| 培训计划 | 是 | 供应商完成设备的调试后，负责在 10 个工作日内完成对采购方有关人员进行使用培训，培训在采购方场地内进行。培训内容应至少包括：设备的操作使用和保养、使用过程中的安全注意事项、简易故障排除，以采购方受培训人员掌握相关内容为准。要求指导用户用样品进行现场实际操作。 | |
| 质保期 | 是 | 自到货并验收合格之日起，最低要求质保期2年。 | 2年3年4年及以上 |
| 付款方式 | 是 | 付款方式:银行保函，合同签订后，供应商需在银行办理合同总金额80%押金担保手续，采购方收到80%贷款金额的银行保函后，向供应商支付100%贷款。银行保函中50%的金额在货到后退还，30%在验收合格并签署验收报告后退还。 | |
| 交货期 | 是 | 在签订合同后180日内交货。 |
1、质保期为自用户签署最终验收报告之日起，在质保期间出现故障，供应商在接收到用户通知后于1小时以内予以回应、提出解决方案，4小时内维修人员到场，72小时排除故障（特殊情况和不可抗拒因素除外）。在此期间，设备发生任何非误操作造成的故障和损坏，均由供应商负责免费修复，失效零件予以免费更换，更换时所发生的费用均由供应商负担。质量保证期内，停机待修时间不得超过一个月，若超过一个月，则保修期延长待机时间的3倍。同时，提供软件免费升级。
2、货物到达学校后7天内由供应商负责免费安装、调试与技术培训，调试仪器所需耗材由供应商自行负担。仪器安装、调试时进行现场软硬件使用的培训：参与培训人员3～5人；内容：设备的工作原理、操作步骤、正常维护和应用等，使培训人员能够正确、熟练操作及掌握仪器简易的故障判别及排除、维修。培训人员必须为供应商公司专职技术人员，不得派出学生或供应商用户等非公司专职技术人员提供培训，否则用户方将拒绝接受。
3、 供应商根据合同提供的货物应是全新的未使用过的而且是符合国家有关制作标准和环保要求。供应商提供详细的中文操作、维护指南。
4、 定期维护，终身保修，只收取零部件成本费。
1、供应商须先完成并通过供应商注册，方可进行响应。注册网址：http://czb.shu.edu.cn/
2、供应商应具有连续多年从事该设备生产或销售经历，并有良好的声誉，且能提供良好的技术支持。
3、供应商应完全按照标书规定的设备名称、技术要求、数量报价、供货，我方不接受不确定报价。
4、供应商应保证随设备提供必要的安装、调试、培训、维修等服务，并提供合同所约订的免费维修时间及终身成本维修。
5、响应报价中标明的价格或在评审后确定的价格在合同执行过程中是固定不变的（除非采购人对设备提出新的要求）不得以任何理由予以变更。
6、供应商应在响应文件中注明货物的交货期。
7、若成交供应商的报价超出本次项目的经费预算，采购人有取消本次采购的权利。
8、供应商须登录上大迅采系统对每一项要求项进行一一响应，提交证明和支撑材料（加盖单位公章），无证明和支撑材料视为没有响应。
9、响应供应商须保证所提交的响应文件、资料的内容真实、完整、有效、一致，如递交虚假的响应文件、资料或填写信息错误导致的与本项目有关的任何损失由供应商承担。
上海大学
2022-09-26
项目编号：XC********
根据《上海大学采购管理办法（试行）》和《上海大学货物和服务快速采购实施细则》，上海大学微电子学院因教学、科研需要，现以上大迅采方式采购金属晶圆湿法刻蚀台。
1、符合政府采购法第二十二条之供应商资格规定。
2、供应商未被列入“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）失信执行人名单、重大税收违法案件当事人名单，和中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）政府严重违法失信行为记录名单的供应商。
| 采购内容/设备名称 | 参考品牌 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|---|
| 金属晶圆湿法刻蚀台 | 1 | 台 |
| 参数名称 | 是否需要附件证明 | 评分等级 | 参数说明 |
|---|---|---|---|
| 设备组成 | 是 | 核心指标 | 设备包含1套金属晶圆刻蚀台、1套金属晶圆制备台。 (供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。) |
| 金属晶圆刻蚀台包含 | 是 | 核心指标 | 3个独立金属（Au/Ti/Mo）刻蚀槽、1个备用金属刻蚀槽、1个QDR清洗槽、1个冲洗槽。被清洗工件规格:最大6寸晶圆片，向下兼容。产能：4寸，1篮，1-25片/篮； 6寸 1篮 1-5片。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。) |
| 每个独立刻蚀槽体 | 是 | 核心指标 | 3个工艺独立刻蚀槽和1个备用刻蚀槽。1）材质采用PTFE焊接成型；2）工艺槽和备用槽功能:浸泡和加热；3）介质：金属刻蚀液；4）温度可控范围：室温-80°C可调，温控精度±1℃；5）液位：N2液位侦测，控制液位高度，确保槽体有液工作；6）内槽尺寸（约）：L×W×H≥250 mm×200 mm×250 mm；7）配有PTFE或PP槽盖；8）可设定处理时间；9）排液方式:通过重力直排至厂务端。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。) |
| 金属晶圆制备台包含 | 是 | 核心指标 | 1个沉积槽。工件规格:最大4寸晶圆。产能：4寸最多1片/篮 。沉积槽:1）材质为PTFE或PP；2）主要功能:金属沉积，具备浸泡、加热、摆动、循环过滤；3）药液温度:RT～50℃，温控范围RT～80℃可调，使用精准温控仪表控制，通过PID控制方式，温控精度±1℃，显示精度0.1℃；4）循环过滤：循环采用磁力泵循环15～30L/min，配置5英寸PP过滤器，过滤精度2μm； 5）内槽尺寸：≥200 mm×250 mm×200 mm；6）阳极：特制阳极板，改善沉积过程中的电力线分布，进一步提高沉积层一致性；7）电源：采用双脉冲电源。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。) |
| QDR槽 | 是 | 核心指标 | 数量：1套1）材质采用PTFE焊接成型或10mm厚纯天然聚丙烯（PP-N）；2）槽体功能:喷淋 溢流 鼓泡 快排；3）清洗时间可设定；4）内槽尺寸（约）：L×W×H≥250 mm×200 mm×250 mm；5）配有PTFE或PP槽盖；6）上液排液方式：自动气动阀控制；7）鼓泡：槽体配N2鼓泡管路，有效加强清洗效果；8）溢流功能：槽体周边波浪形溢流口，确保槽内污水四面均匀溢出；9）工艺流程：在触摸屏里将（喷淋 溢流 鼓泡 快排）模块化设计，每个工序时间客户可在0～9999S内自由设定，并且此模块程序可以设定重复次数，以达到清洗效果，模块工艺时间到，伴随声光报警提示。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。) |
| 冲洗槽 | 是 | 非核心指标 | 1） 材质：PTFE或10mm厚PP-N；2）槽体功能：冲洗；3）内槽尺寸（约）：L×W×H≥250 mm×200 mm×250 mm；4）配有PTFE或PP槽盖；5）排液方式：自动气动阀控制；6）介质：DIW。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。) |
| 金属晶圆刻蚀台-分布布局 | 是 | 非核心指标 | 1）使用隔断将所有槽体隔开；2）预留台面操作空间，尺寸≥400mm×200mm；3) 水枪至少一个，水龙头至少一个，氮气枪至少一个；4）抽风系统和安全保护系统。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。) |
| 金属晶圆刻蚀台 | 是 | 非核心指标 | 1) 节拍：0-99min可调；2) 管路：管路位于机台下/后部，管道采用PPH和PFA管路相互配合使用；3) 排风：根据流体学原理设计位于机台后上部；4) 工作照明：机台顶部配防腐防爆白光照明；5) 开门样式：PP 透明PVC上下推拉门；6) 安全防护6.1) 漏电保护：设备整机设有防漏电断路保护装置；6.2) 漏液检测：设备管路区安装漏液检测传感器；6.3) 防漏装置：设备底部安装5mm厚PP防漏托盘，有效防止设备漏液损害厂务地板；6.4) 操作台面为漏空台面，台面易拆卸，台面下有接水盘，打开漏空台面，槽体可从工作面取出；6.5) 线路保护：设备采用耐腐蚀导线并通过耐腐蚀PE管进行保护，防腐防水；6.6) 电器保护：电控部分正压N2保护,有效防止防腐；7) 紧急及警报系统：设备有可靠的接地装置及紧急关机和报警系统。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。) |
| 金属晶圆制备台 | 是 | 非核心指标 | 1）节拍：0-99min可调；2）管路：管路位于机台下/后部，管道采用PPH和PFA管路相互配合使用；3）DI/N2 GUN：设备配PPN2 Gun ，DIW Gun各1把；4）安全防护4.1）漏电保护：设备整机设有防漏电断路保护装置；4.2）漏液检测：设备管路区安装漏液检测传感器；4.3）防漏装置：设备底部安装5mm厚PP防漏托盘，有效防止设备漏液损害厂务地板；4.4）操作台面为漏空台面，台面易拆卸，台面下有接水盘，打开漏空台面，槽体可从工作面取出；4.5) 线路保护：设备采用耐腐蚀导线并通过耐腐蚀PE管进行保护，防腐防水；4.6) 电器保护：电控部分正压N2保护,有效防止防腐；4.7) 紧急及警报系统：设备有可靠的接地装置及紧急关机和报警系统；沉积槽：1）进液方式：手动上液；2）加热方式：采用浸入式PTFE加热器加热；3）液位保护：槽体配置高中低液位传感器，确保加热安全；4）挂具：圆片采用圆周均布多点式接电方式； 5）摆动功能：阴极挂架可水平摆动，摆动行程30mm，摆动频率0-60次/分钟连续可调，调整方式为手动电位器调整，采用精研减速机控制；6）药液注入方式：人工注入，直接倒入沉积槽；7）沉积槽液位：具有高低液位开关，防止干烧，高液位控制自动注水停止；8）沉积槽药液排放：通过操作触摸屏控制气控阀重力排放到设备后部独立排放接口；9）回收泵：配置PP气动隔膜泵将药液打进回收桶内；10）槽盖：配置透明PVC槽盖，配充N2保护。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。) |
| 每个独立刻蚀槽体 | 是 | 非核心指标 | 1）介质：金属刻蚀液；2）药液温度控制：使用精准温控仪表控制，通过PID控制方式，温控精度±1℃，显示精度0.1℃；3）进液方式：手动上液；4）加热方式：浸入式板式加热器加热；5）液位：N2液位侦测，控制液位高度，确保槽体有液工作；6）槽盖：配置PP-N手动槽盖，防止停机污染。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。) |
| 要求名称 | 是否需要附件证明 | 要求说明 |
|---|---|---|
| 营业执照（三证合一） | 是 | 请上传相关证明材料(须加盖供应商公章) |
| 信用中国证明 | 是 | 信用信息报告日期最早应为本项目迅采公告发布之日(须加盖供应商公章) |
| 要求名称 | 是否需要附件证明 | 要求说明 | 评分内容 |
|---|---|---|---|
| 同类业绩 | 是 | 供应商需提供近3年（自2019年1月起至今）同类设备的销售合同，其中需体现合同的签约主体、销售设备名称、签订日期等合同要素的相关内容。同类业绩合同供应商需分列填报上传，合并文件填报或集中填报在同一格子内的算1份业绩。 | |
| 培训计划 | 是 | 供应商完成设备的调试后，负责在 10 个工作日内完成对采购方有关人员进行使用培训，培训在采购方场地内进行。培训内容应至少包括：设备的操作使用和保养、使用过程中的安全注意事项、简易故障排除，以采购方受培训人员掌握相关内容为准。要求指导用户用样品进行现场实际操作。 | |
| 质保期 | 是 | 自到货并验收合格之日起，最低要求质保期2年。 | 2年3年4年及以上 |
| 付款方式 | 是 | 付款方式:银行保函，合同签订后，供应商需在银行办理合同总金额80%押金担保手续，采购方收到80%贷款金额的银行保函后，向供应商支付100%贷款。银行保函中50%的金额在货到后退还，30%在验收合格并签署验收报告后退还。 | |
| 交货期 | 是 | 在签订合同后180日内交货。 |
1、质保期为自用户签署最终验收报告之日起，在质保期间出现故障，供应商在接收到用户通知后于1小时以内予以回应、提出解决方案，4小时内维修人员到场，72小时排除故障（特殊情况和不可抗拒因素除外）。在此期间，设备发生任何非误操作造成的故障和损坏，均由供应商负责免费修复，失效零件予以免费更换，更换时所发生的费用均由供应商负担。质量保证期内，停机待修时间不得超过一个月，若超过一个月，则保修期延长待机时间的3倍。同时，提供软件免费升级。
2、货物到达学校后7天内由供应商负责免费安装、调试与技术培训，调试仪器所需耗材由供应商自行负担。仪器安装、调试时进行现场软硬件使用的培训：参与培训人员3～5人；内容：设备的工作原理、操作步骤、正常维护和应用等，使培训人员能够正确、熟练操作及掌握仪器简易的故障判别及排除、维修。培训人员必须为供应商公司专职技术人员，不得派出学生或供应商用户等非公司专职技术人员提供培训，否则用户方将拒绝接受。
3、 供应商根据合同提供的货物应是全新的未使用过的而且是符合国家有关制作标准和环保要求。供应商提供详细的中文操作、维护指南。
4、 定期维护，终身保修，只收取零部件成本费。
1、供应商须先完成并通过供应商注册，方可进行响应。注册网址：http://czb.shu.edu.cn/
2、供应商应具有连续多年从事该设备生产或销售经历，并有良好的声誉，且能提供良好的技术支持。
3、供应商应完全按照标书规定的设备名称、技术要求、数量报价、供货，我方不接受不确定报价。
4、供应商应保证随设备提供必要的安装、调试、培训、维修等服务，并提供合同所约订的免费维修时间及终身成本维修。
5、响应报价中标明的价格或在评审后确定的价格在合同执行过程中是固定不变的（除非采购人对设备提出新的要求）不得以任何理由予以变更。
6、供应商应在响应文件中注明货物的交货期。
7、若成交供应商的报价超出本次项目的经费预算，采购人有取消本次采购的权利。
8、供应商须登录上大迅采系统对每一项要求项进行一一响应，提交证明和支撑材料（加盖单位公章），无证明和支撑材料视为没有响应。
9、响应供应商须保证所提交的响应文件、资料的内容真实、完整、有效、一致，如递交虚假的响应文件、资料或填写信息错误导致的与本项目有关的任何损失由供应商承担。
上海大学
2022-09-26
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