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型号

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技术规格及参数

主机：
1） 半导体特性参数分析仪主机，最多可以支持SMU单元数量9个。
2）液晶触摸屏15.6寸，分辨率1920x1080 ，固态硬盘，具有USB3.0接口，以太网，VGA，HDMI，DisplayPort,串口
3） SMU通道A/D转换器的分辨率 ≥ 22位
I-V （3个SMU模块）：
4） 3个中功率测试模块，最大电压不小于210v，最大电流100mA，最大功率2W；
5） 输入阻抗 >10^13Ω，输入泄漏电流 <30 pA，最大负载电容≤10nF.
6） 输入泄漏电流 <30pA, 最大负载电容≤10nF;
C-V(CVU模块)：
7） C-V测试带宽>=10MHz；
8） C-V测试偏置电压范围：±30V（差分模式下：±60V）；
9） 支持激励电平电容压型（DLCP）测试，提供太阳能电池上的缺陷密度信息;
10）支持C-V,C-f,C-t，Cp-G，Cp-D，Cs-Rs，Cs-D，R-jX，Z-θ等参数测试;
11）支持掺杂浓度，氧化层厚度和载流子寿命测试
PA:(前置放大器)：
12） 标配一个远程前端放大器输入阻抗 >10^16Ω，直流电流测量最高分辨率为:0.1fA；电流测量精度：10fa;
PMU：（超快速脉冲测量）：
13）标配超快速脉冲测量模块：两个独立的或同步的高速脉冲I-V源和测量通道；200 MSa/s，5 ns采样率；±40 V (80 V p-p)，±800 mA
14） 标配远程前端放大器/ 开关模块，可以扩展超快脉冲测量模块的电流量程，同时可以在I-V 测量、C-V 测量和脉冲式I-V 测量之间自动切换，而不需对测试设置重新布线
操作界面及软件：
15）半导体特性分析系统标配450多个应用元器件库, Windows GUI图形化操作界面;
16）数据存储：可以将测试数据直接实时地以.xls（电子表格），.bmp （位图），.jpg（图形），.tif等格式储存;
17） 针对7种纳米结构的16个测试库：碳纳米管、生物芯 片/器件、碳纳米管FET、纳米线、分子线、分子晶 体管、多管脚纳米格;

售后及质保要求

质保期：3年
维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【24】小时内响应，【48】小时内派员上门现场维护，并在【72】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。