原子层沉积系统政府进口产品专家论证意见招标公告

原子层沉积系统政府进口产品专家论证意见招标公告

中北大学原子层沉积系统政府采购进口产品专家论证意见公示

中北大学就山西省优势特色学科建设和中北大学学科建设项目的原子层沉积系统拟采购进口产品满足需用,现将申请采购进口产品的基本情况、专家论证情况及意见进行公示,公示期为2015年4月1日起至2015年4月8日止。若对专家组论证意见存在异议,可在公示期内提出,并将相关意见和依据,书面报送采购单位和财政厅政府采购管理处。

采购单位:中北大学

联系人:陈建富

联系电话:****-*******

政府采购管理处地址:太原市迎泽大街345号

联系电话:****-*******

邮政编码:030001

中北大学原子层沉积系统进口产品专家论证意见公示


采购人(盖章)中北大学
采购设备所属项目名称1.山西省优势特色学科建设 2.中北大学学科建设
采购项目名称及金额原子层沉积系统 万元
项目组织单位中北大学
项目使用单位仪器与电子学院
申请理由□1.中国境内无法获取:□2.无法以合理的商业条件获取:√3.其他。
论证专家基本情况姓名性别职称从事专业工作单位联系方式
桑胜波副教授微纳测试太原理工大学137*****863
张雪英教授电子科学技术太原理工大学130*****372
王军民教授光电科学山西大学138*****349
李朋伟副教授微纳传感太原理工大学152*****807
岳文婷律师经济法学山西弘幍律师事务所138*****289
拟采购进口产品基本情况、申请理由拟采购进口产品基本情况: 原子层沉积是通过将气相前驱体脉冲交替的通入反应器,化学吸附在沉积衬底上并反应形成沉积膜的一种方法,是一种可以将物质以单原子膜形式一层层的镀在衬底表面的方法,以精确控制方式实现纳米级的超薄薄膜沉积,是真正的“纳米”技术,可以对大面积、多空、管状、粉末或其他复杂形状基体进行高保形的均匀沉积。原子层沉积系统是国内外光电子和微纳制造等技术领域必备的先进设备,对提升团队研究水平和器件性能具有至关重要的作用。国内原子层沉积系统设备行业起步较晚,设备具有价格优势,但设备性能稳定性较差,而且均匀度、精度、扩展性、兼容性和稳定性等技术指标难以满足高性能器件研究及制造需求,因此申请采购进口产品。
专家论证情况及意见通过五位专家的充分论证,原子层沉积系统是高质量薄膜淀积的有效手段,在科学研究和教学中能发挥重大作用,而目前国产仪器不能达到该设备技术参数,影响淀积的均匀性和重复性,进口设备系统重复性好、仪器设备稳定性佳,为更好满足工作需要,建议采购进口设备。
其他


拟采购进口产品清单
采购品目数量单价总价备注
原子层沉积系统1进口


中北大学
2015年04月01日

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