高真空电子束复合热蒸发镀膜机（GY202205155）采购公告

招 标 正 文
 

高真空电子束复合热蒸发镀膜机（GY202205155）采购公告

项目名称高真空电子束复合热蒸发镀膜机项目编号GY*********
公告开始日期2022-10-13 07:02:42公告截止日期2022-10-18 08:00:00
采购单位信息科学与工程学院付款方式100%预付
联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求成交后90个工作日内到货时间要求签订合同后90个工作日内
预算总价￥490,000.00 ++ 未公布
收货地址山东大学青岛校区N5楼
供应商资质要求77

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

公告说明
采购清单1
采购商品采购数量计量单位所属分类
高真空电子束复合热蒸发镀膜机1台机电设备无无
品牌品牌1微纳真空
型号VZZS-550
品牌2
型号
品牌3
型号
预算单价￥490,000.00
技术参数及配置要求主要技术参数：1) 真空腔室：Φ550×H630mm； 2) ★真空极限：优于 3.0×10-5Pa； 3) ★抽速：分子泵完全启动，抽至 5.0×10 4) 基片台：标配平板抽屉式基片台，尺寸： 可装卡各规格的基片；基片台加热：室温～ 5) 蒸发源及电源：e 型电子枪一台，枪功率 2 组蒸发源，可蒸镀金属材料和有机材料； 6) 膜厚监控：采用薄膜沉积控制仪在线监 7) 离子源辅助沉积：采用考夫曼离子源清洗基片及辅助镀膜； 8) 控制方式：PLC 手自动控制，触摸屏操作；
技术指标：
1、真空腔室：SUS304 不锈钢，Φ550×H630mm，双层水冷，立式前开门结构； 真空室内表面及防污板抛光至镜面；
2、真空系统：复合分子泵（抽速：1600 L/s）+直联旋片泵（抽速 14 L/s）； “两低一高”数显复合真空计（测量范围：1×105 Pa～1×10-5Pa）；
3、真空极限：优于 3.0×10-5Pa；
4、抽速：抽至 5.0×10-4Pa≤30min（分子泵完全启动）；
5、基片台：标配：平板式基片台 抽屉式结构，基片托尺寸：150×150mm，该范围内可装卡各种规格的基片； 样品台配有挡板，磁流体密封； 样品台旋转：旋转速度 0-25 转/分连续可调，磁流体密封，光控定位，设定在前门中 心位置方便取样； 基片台加热：采用真空专用加热器，PID 智能温控表，室温～300℃；
6、电子束蒸发源及电源：e 型电子枪一支，枪功率 8KW；束偏转角 270 度； 配置一套偏转扫描电源，一套电子枪灯丝电源；
7、热蒸发源及电源：2 组蒸发源，兼容金属材料与有机材料的蒸发源设计，源间有隔板，源上有挡板； 1 台 2KW 蒸发电源，可采用恒流/恒功率控制，可以预设工作电流；
8、离子源：采用考夫曼离子源清洗基片及辅助镀膜；
9、速率和膜厚控制系统：采用 Inficon 薄膜沉积控制器在线监测、控制蒸镀速率和膜厚，1 只水冷探头； 膜厚仪速率显示分辨率±0.015ā/s，厚度显示分辨率±0.015kā；
10、控制方式：PLC+触摸屏手自一体控制；
报警及保护：对分子泵、膜厚仪探头、蒸发电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执 行相应保护措施； 完善的程序互锁、完备的防误操作设计及保护；
售后服务服务网点:不限;质保期限:2年;响应期限:报修后4小时;

2022-10-13 07:02:42

标签: 镀膜机 热蒸发 电子束

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