采购项目名称：高温无氧真空烘箱
采购单位：北京市清华大学集成电路学院
付款方式：合同签订后付款70%,验收合格后付尾款30%
签约时间要求：成交后5个工作日
交货时间要求：签订合同后45个工作日
交货地址：北京市清华大学集成电路学院
技术参数及配置要求：尺寸：内腔尺寸：600×600×600（mm），外形尺寸:1400宽×1150深×1760高（mm）材质：内箱采用316L医用级不锈钢，外箱采用优质冷轧板静电喷塑温度范围：RT+10-450℃ ，常用400℃以下温度分辨率：0.1℃温度波动度：≤±1℃操作模式：人机界面+PLC控制，五个制程工艺设定，一键运行升温速率：≤8℃/min，升温速率可调降温速率：350℃-80℃，≤80min真空度：≤133pa电源：AC 380V±10% / 50HZ， 总功率约12.0KW 温度控制仪表：LED数显微电脑温控器，可校准温度，PID自整定等功能搁板层数：316L不锈钢托盘两层，配有限位装置真空泵：进口干泵（安捷伦）腔门密封圈：采用耐高温硅橡胶密封圈，密封圈采用一体成型无缝加工，配有冷却系统状态指示灯：配有三色指示灯及蜂鸣器来提示机台运行状态氧含量：≤20ppm洁净度：Class100级降温方式：风冷+水冷氮气控制：多通道氮气流量计，无氧、低氧环境下最大节省氮气消耗量安全保护装置：安全的接地保护装置，超温保护及报警装置，漏电保护装置。
质保期：12个月