离子束辅助磁控溅射机（JJ20221312）采购公告
离子束辅助磁控溅射机（JJ20221312）采购公告
| 项目名称 | 离子束辅助磁控溅射机 | 项目编号 | JJ******** |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 166*****62000 | 公告截止日期 | 166*****00000 |
| 采购单位 | 重庆大学 | 付款方式 | 货到验收合格付款 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 无 | 到货时间要求 | 合同签订3个工作日内 |
| 预 算 | 无 | ||
| 收货地址 | 重庆大学虎溪校区第一实验楼量子实验室1楼 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 离子束辅助磁控溅射机 | 1 | 台 | 电工器材 |
| 品牌 | MKN沈阳麦科诺科技有限公司 |
|---|---|
| 型号 | IBVTC450 |
| 品牌2 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 品牌3 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 预算 | 无 |
| 技术参数及配置要求 | 1.真空室为D形前开门结构,尺寸Ф420mmx450mm2.极限真空度：≤6.6x10-5 Pa；3.*采用任意角度安装脂润滑分子泵，抽速不小于700L/S4.4英寸样品台 1套，加热温度600度。5.*磁控靶磁钢与水与真空隔离，靶头尺寸不大于81mm，屏蔽罩采用三段调节固定，摆头采用焊接波纹管方式，调节角度0-45度。6.二路MFC控制进气。7.真空测量ZDF5227复合真空规进行测量。 8.* invacuum气缸挡板组件：3套采用金属波纹管焊接气缸，采用球冠全遮挡挡板，角度0-90度安装开具方向可调节，圆周位置任意安装，气缸放置在真空内，气缸接口为直径3mm不锈钢管9.直流电源：1台500w (500V/1A)液晶屏显示，输出电压：0-500V输出电流：0-1A具有时间设定功能 10.*高压电源：阳极电压4000v 1台输出电压：0-4000V输出电流：0-3mA调节方式：恒压 具有高压瞬态抑制保护11.射频电源：1台12.*冷阴极离子源：使用气体：氩气/氧气/氮气/氢气/烷类气体，工作气压1.3×10-2pa - 2.7pa 。13. 循环水冷却器：1台 |
| 售后服务 | 电话支持:7x24小时;质保期限:1年;响应时间:24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;发票类型:增值税专用发票;质保金:无; |
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