等离子体清洗机（XF-WSBX-2200513）采购公告

招 标 正 文
 

等离子体清洗机（XF-WSBX-2200513）采购公告

项目名称等离子体清洗机项目编号XF-WSBX-*******
公告开始日期166*****69000公告截止日期166*****00000
采购单位浙江大学付款方式预付25%，剩余款项在到货验收后15个工作日内向乙方一次性付清
联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求成交后7天到货时间要求成交后60天
预 算******.0
收货地址浙江大学海宁校区1A楼128房间
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购商品采购数量计量单位所属分类
等离子体清洗机1台其他特种设备
品牌无
型号无
品牌2无
型号无
品牌3无
型号无
预算******.0
技术参数及配置要求等离子清洗机需要是台式的，完全独立，需要最小的工作台空间。该系统底盘需要容纳等离子室，控制电子，13.56 MHz 射频发生器和自动匹配网络(只有真空泵是外部的系统)。通过联锁门或可拆卸面板提供维修通道。等离子需要支持多达 5 个可移动和可调的动力或接地架子，以容纳广泛的件件、组件和部件载体，包括杂志、托盘和船。真空等离子体处理系统可以容纳各种工艺气体，需要包括氩、氧、氢、氦和氟化气体。至少1个电子质量流量控制器，用于最优气体控制，另外两个(2)可选(最多4个)。提供方便的设备连接，用于验证过程中的定期校准要求。一、功能配置要求：1. 灵活的货架结构允许处理各种各样的零件载体在直接或下游等离子模式2.13.56 MHz射频发生器需要配有自动阻抗匹配功能，满足过程重现性3. 批量生产，每个单元都是完全独立的，只需要最小的占地面积4. 泵、腔室、控制电子器件和13.56 MHz射频发生器都装在一个单独的外壳中5. 带有触摸屏的PLC控制器提供直观的图形界面和实时过程表示6. 提供专用软件控制系统输出过程和生产数据，用于统计过程控制7. 可使用氩离子进行表面清洗8. 可使用氧离子进行表面清洗二、硬件配置要求：1. 工作真空度：20-100Pa，可自动进行压力控制。2. 真空泵极限压力：1.0×10-2Pa 3. 抽真空时间：≤90S 4. 破真空时间：20-40S 5. 供气方式：电磁阀式，可通氧气。6. 流量计调节范围：0-300Sccm 7. 操作方式：人工取放工件，一键启动自动控制 8. 容仓≥36L9. 射频微波频率13.56MHz，功率不小于600W 三、清洗效果判定：氧气环境下清洗芯片表面光刻胶，不损伤芯片上的原有的硅和金属图形。
售后服务服务网点:当地;电话支持:7x24小时;质保期:2;服务时限:报修后12小时;销售资质:协议供货商;商品承诺:原厂全新未拆封正品;

报价地址：https://www.yuncaitong.cn/publish/2022/11/07/20LA63TTOM98FZSC.shtml

联系人：郝工
电话：010-68960698
邮箱：1049263697@qq.com

标签: 等离子体 清洗机

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