| 一、设备用途 能够对各种类型的材料样品表面微观结构进行高分辨率成像观察，获取样品表面微观结构形貌信息、成分衬度信息，可以在低电压下条件下无需镀膜直接高分辨观察样品。配置X射线能谱仪和EBSD附件，可同时对样品表面微观区域内元素成分进行定性、定量分析以及晶体学取向等分析。 二、技术参数 2.1 图像分辨率： ★2.1.1 高真空二次电子分辨率： ≤0.7nm @15kV，≤1.2nm @1kV（非样品台减速模式）； 2.2 电子光学系统： 2.2.1 发射源：肖特基热场发射电子枪； ★2.2.2 加速电压范围（非着陆电压）不低于： 20V～30kV，10V 步进连续可调； ★2.2.3 最大探针电流不低于 20nA，束流稳定性优于0.2%/h； 2.2.4 放大倍数：范围≥8x～2,000,000x（宝丽来胶片模式）, 可进行粗调和精调两种调节模式； 2.2.5 图像控制：可自动对工作距离进行补偿，具有动态聚焦，聚焦补偿功能； ▲2.2.6 工作距离范围 0.2～50mm； ▲2.2.7 物镜光阑：不少于7孔可变光阑，光阑具备自动坐标记忆功能，可通过软件自动控制光阑孔径更换，无需手动调节，为电动调节； ▲2.2.8 扫描速度：各种扫描速度不少于 17 种，驻留时间不低于 25ns 到 1.64ms； 2.2.9 扫描方式不少于：全屏、快捷方式、选区、定点方式、线扫描、面扫描、线轮廓、扫描旋转、倾斜校正； ▲2.2.10 物镜系统至少包含静电透镜和电磁透镜两部分，能够实现物镜下方无漏磁成像模式，可对各种磁性材料实现近距离高分辨观察。 2.3 样品室及样品台： ▲2.3.1 样品室，抽屉式推拉仓门，内部尺：360mm（直径）×260mm（高）； 2.3.2 样品台类型：5 轴优中心马达驱动样品台； ▲2.3.3 样品台马达移动范围：125mm（X 方向），125mm（Y 方向），50mm（Z 方向），-4～70°（倾斜），360°（旋转）； 2.3.4 样品台 XY 重复精度：样品台不倾斜条件下 X/Y 轴移动重复精度≤3um； ▲2.3.5 最大样品尺寸：最大样品直径170mm（XY 平面内可全部观察到）； 2.3.6 样品座：配置具备导航功能的多孔样品座； ★2.3.7 配置能够控制马达台 5 个轴向快捷移动的摇杆控制器，配置多功能旋钮操作控制面板； 2.3.8 样品台具有接触报警与自停功能； ▲2.3.9 附件接口12 个； ★2.3.10 能谱分析工作距离≤ 8.5mm，取出角为 35°。 ★2.4 探测器： 2.4.1 高真空样品室内二次电子探测器； ▲2.4.2 镜筒内二次电子探测器； 2.4.3 样品室内可抽拉式背散射电子探测器（物理分割区域≥6）； 2.4.4 样品室内彩色 CCD 相机； ▲2.4.5 信号混合：任何两个探测器输入的信号能够以任何比例被混合，以增强图像信息； 2.4.6 控制：手动、自动调节亮度和对比度控制； 2.5 图像显示与处理与软件功能： ▲2.5.1 标准模式下无需拼图，单张图像最大采集分辨率不低于 32k×24k 像素； ▲2.5.2 图像显示分辨率不低于 1920x1200 像素； 2.5.3 图像采集：像素平均、帧平均、帧积分、行平均、行积分、漂移校正帧平均、漂移校正帧积分； 2.5.4 显示方式：全屏显示、分屏显示、灰度直方图、轮廓方式、伪彩色； 2.5.5 图像注释与数据区：提供标准数据区和定制数据区，可在图片上显示各种电镜参数和字符； 2.5.6 状态菜单：显示各种工作参数,可在成像后对图像的亮度，对比度，伽玛值实现更改； 2.5.7 测量功能：可对图像中的形貌进行点间距、角度、直径等测量； 2.5.8 图像输出输入功能； 2.5.8.1 图像可存储到操作系统支持的存储介质或输出到打印机； ▲2.5.8.2 图像存储格式：TIF、BMP、JPG； ▲2.5.9 具备能谱仪 RS232 智能通讯接口，能谱仪软件可自动获取主机系统图像主要技术参数； 2.6 真空系统： ▲2.6.1 抽真空系统： 涡轮分子泵：260 立升/秒； 旋转泵：10 立方米/小时，超净无油泵； 离子泵。 2.6.2 样品室极限真空度：优于 2×10-4Pa； ▲2.6.3 抽真空时间：≤5 分钟； 2.6.4 真空系统控制：全自动。 2.7 工作站不低于以下配置： 2.7.1 中央处理器：Intel i7-7700 处理器； 2.7.2 内存；16GB DDR4，无ECC； 2.7.3 操作系统：Microsoft® Windows® 10LTSC； 2.7.4 SEM系统：扫描控制、图像存储、图像处理、探测器控制； 2.7.5 外部交换接口；Serial and USB； 2.7.6 网络架构：10/100/1000 Base TX on board； 2.7.7 硬盘：最小1T SATA 硬盘； 2.7.8 光驱：DVD+/- R/RW。 2.8 其他配件： 2.8.1 配置静音闭路冷却水系统，用于冷却镜筒或其它部件； 2.8.2 配置无油空气压缩机； 2.8.3 配置不间断稳压电源。 三、能谱仪 ★3.1探测器：分析型SDD硅漂移电制冷探测器，有效面积不低于100mm2，高分子超薄窗设计。封闭式真空系统，无需借助SEM抽放真空。 ★3.2能量分辨率：Mn Ka保证优于127eV（@计数率130,000cps）； F Ka 保证优于64eV（@计数率130,000cps）； C Ka 保证优于56eV（@计数率130,000cps）； 保证符合ISO *****:2012标准。 ▲3.3元素分析范围：Be4～Cf98。 3.4探测器可软件控制自动伸缩。 ▲3.5具备元素谱图及面分布实时刷新显示功能：在样品台静止状态、移动及改变放大倍数时，均可实时显示电子图像、元素谱图、不同元素分布以及它们的叠加图。样品停止移动时，自动开启面分布图静态采集模式，得到更高清晰度的面分布图。可利用软件控制样品台移动及改变放大倍数。 3.6可记录样品预览过的位置，以便随时返回重新分析。并具备元素追踪功能，显示经过位置的不同元素含量变化。 3.7具备零峰修正功能，开机后无需重新修正峰位。 ▲3.8电子图像分辨率≥8192*8192像素；元素面分布图分辨率≥4096*4096像素；可在电子图像上叠加元素分布图；可从面分布图上进行点、线谱图重建。 3.9定性分析：可自动标识谱峰，可进行谱重构。 ★3.10具备KLM全谱线系数据库，配置20kV及5kV高低电压定量数据库，可覆盖不同电压下的定量分析。同时，用户可利用微束分析标样建立相应元素的数据库，进行有标样定量分析。 四、EBSD ★4.1高速低噪音CMOS相机，分辨率1244*1024，并能够与各主流型号的电镜良好配合； ★4.2EBSD在线解析最高标定速度不低于5700pps，此时花样分辨率仍能保持为156*128； 4.3取向精度≥0.05度； 4.4采用专门定制的光纤传导系统，光通量远大于透镜模组，特别适合弱信号分析； ★4.5专门设计的探头仰角自动调节马达，在探测器完全深入状态下，探测器Z轴可通过软件在+/-22.9 mm范围内任意调整，而无需重新校准即可连续采集EBSD数据； 4.6配有独立的操作手柄，能够实时显示探头位置，可选择直达指定位置或者步进模式控制探头就位； ★4.7采用主动式防碰撞传感器设计，在碰撞发生前探测器自动预警并后撤，起到保护EBSD作用； 4.8探测器插入退出，最快速度：15mm/s，精度：≤10μm； 4.9软件配置 4.9.1操作软件采用多任务设计，可以同时并行数个任务，并支持分屏显示及远程控制； 4.9.2 操作软件完全与能谱仪软件一体化，可根据能谱数据对EBSD花样进行预过滤，实现对未知相的相鉴定，实现能谱EBSD同时联机分析且不降速； 4.9.3 电子图像分辨率≥8192*8192，EBSD面分布图分辨率≥4096*4096； ★4.9.4 动态自动背景扣除技术，探测器参数自动优化。切换样品、更换分析位置、以及EBSD探测器伸缩、倾转后均无需重新扣除背景或重新优化； 4.9.5 能对所有对称性（从三斜到立方）晶体材料的EBSP花样进行自动化的标定，且各相的反射面可以独立选择，并可以进行带宽修正，也可以对衍射带边缘及中间进行标定； 4.9.6 配置自有数据库及ICSD海量晶体学数据库，数据容量不小于5万种； 4.9.7 采用最优化的Hough变换，多条带标定方法（最多可以用12条菊池带进行标定），根据平均角度偏差MAD结构因子进行完全自动化的菊池带识别和花样标定； 4.9.8 配有专用的高精度标定模式，实现更高角度分辨率的标定； ▲4.9.9 配有64位EBSD数据后处理软件包，和采集软件同一风格，支持10种语言界面，可处理包含多至6400万像素的单个文件，包含且不限于如下功能： （1）数据修饰； （2）晶粒统计（尺寸、形态等）； （3）晶界分析（特殊晶界、孪晶、CSL界面等、相邻及随机取向差曲线及其相似性分析等）； （4）应变分析（KAM，LAM，GROD，GOS等）； （5）极图和反极图； （6）校准EBSD分析时由于漂移导致的与电子图像产生的失真； 五、产品配置 为达到上述技术指标，产品应配置必要的硬、软件，产品不低于以下配置： 5.1 高分辨场发射扫描电子显微镜1套； 5.2 高真空样品室内二次电子探测器1套； 5.3 镜筒内二次电子探测器1套； 5.4 样品室内可抽拉式背散射电子探测器（物理分割区域≥6）1套； 5.5 样品室内彩色 CCD 相机1套； 5.6摇杆控制器及多功能旋钮操作控制面板1套； 5.7原装空气压缩机和冷却循环水系统各1套； 5.8不间断稳压电源1套，整机运行续航时间不低于1小时； 5.9 能谱仪1套； 5.10 EBSD1套； 5.11配有专用TKD样品台一个及EBSD专业离线数据处理软件1套； 5.12 离子溅射仪1套； 5.13原厂灯丝光阑2套（含安装调试） 5.14导电胶带1卷，导电胶1瓶，镊子1个，样品盒1个等； 5.15振动抛光机1台 5.16高纯氮气1瓶，氮气减压阀1个，空气开关1个，大孔插排1个，纯净水1桶。 | 
