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技术规格及参数

主要技术参数：
1.工作模式：轻敲模式，接触模式，相位成像模式，横向力模式 ，磁场力显微镜，压电力显微镜等；
2.扫描器指标：
2.1.扫描器须是X,Y,Z三轴分离的扫描器，X,Y,Z三个驱动轴须是严格正交；
X,Y方向的扫描范围不低于30μm，Z方向不低于5μm
2.3.扫描器闭环噪音：X,Y轴闭环噪音<70pm（Adev,1Hz到1KHz带宽）,
Z轴闭环噪音<60pm(Adev,1Hz到1KHz测试带宽).
在闭环条件下无需更换扫描器实现原子晶格的分辨率
2.4. 系统高度噪音：系统高度噪音<30pm（Adev,1Hz到1KHz带宽）；
3. 扫描速度：轻敲模式下1微米扫描时，5保证正常成像的前提时，扫描速线度≥40Hz。
4.控制器:三个全数字双频锁相放大器；具有有10个的24位和5个16位的数模转换器DAC，8个16位和6个18位模数转换器ADC。
5 操作软件：操作软件免费升级；操作软件源代码开放，用户可直接在系统操作软件上进行二次开发；
7. 导电AFM模式：利用导电针尖实现导电AFM成像和I/V曲线测试。电流测试范围1pA至20nA
8.防震隔音系统： 一体式防震隔音系统,不需要外加防震平台就能实现原子级的分辨率。
9.光学系统：光电检测器带宽≥7MHz， 光学分辨率≤1微米。
*10.自动化控制：通过软件控制探测激光点位置，无需手动调节；通过软件控制光电检测器(PD)自动归零，无需手动调节。

11. .智能化控制软件
通过AFM操作软件驱动马达自由移动检测激光的光斑位置，无需手动调节；
通过AFM操作软件控制光电二极管检测器自动归零，无需手动调节；
仪器操作软件具有中文操作界面
防震隔音系统： 须为原子力显微镜系统自身集成的一体式防震隔音系统；隔音效果20dB。
压电力显微镜(PFM)：须具有DART-PFM(双频共振追踪压电力显微镜)模式、Vector PFM(矢量压电力显微镜)以及Switching Spectroscopy PFM(压电转换谱)模式。

售后及质保要求

质保期3年。质保期内，除自然灾害、管理不当和人为因素损坏外，全部免费维修。发生故障后 2 小时给出初步反馈。如有必要，工程师在 7 个工作日内到现场进行维修，尽快排除故障。