自动显影烘烤机采购公告
自动显影烘烤机采购公告
项目编号：XC********
根据《上海大学采购管理办法（试行）》和《上海大学货物和服务快速采购实施细则》，上海大学微电子学院因教学、科研需要，现以上大迅采方式采购自动显影烘烤机。
1、符合政府采购法第二十二条之供应商资格规定。
2、供应商未被列入“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）失信执行人名单、重大税收违法案件当事人名单，和中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）政府严重违法失信行为记录名单的供应商。
| 采购内容/设备名称 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| 自动显影烘烤机 | 1 | 台 |
| 参数名称 | 是否需要附件证明 | 评分等级 | 参数说明 |
|---|---|---|---|
| 显影单元 | 是 | 核心指标 | （1）腔体数量：≥1个，材质：PP；（2）摆臂速度：1~30°/S，材质：不锈钢；（3）管路至少包括：显影1路（扇形、柱状喷嘴）、去离子水1路、氮气1路、背洗1路；（4）显影方式：自动显影，定点或扫描式；（5）喷嘴工装高度手动可调，液体流量可调，气体压力可调，液体有回吸功能；（6）载物盘材质：PPS；（7）基片固定方式：真空吸附方式；（8）真空检测：数字式压力传感器；（9）供液方式：显影液：18L压力罐；去离子水、氮气：厂务直供；压力罐带有液位检测。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。) |
| 热板 | 是 | 核心指标 | （1）数量：≥1块，上盖材质：不锈钢；（2）面板尺寸：≥220mm*220mm，面板镶嵌陶瓷球；（3）温度：≥200℃，温度分辨率：≤0.1℃；（4）温度均匀性：室温~120℃ ≤±0.75℃，120.1~200℃ ≤±1.5℃，去除边缘10mm，顶针孔除外；（5）控温方式：PID调节，报警方式：正负偏离报警；（6）顶针高度：0~20mm。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。) |
| 机器框架 | 是 | 核心指标 | （1）外壳材质：不锈钢；管路材质：PU/PFA；（2）照明：黄光灯；FFU:百级 ；触摸屏：≥10寸全彩触摸屏，≥2套；（3）开门样式：对开门，带有开门报警功能；（4）机台尺寸：≤ 1600mm（W）*1200mm（D）*1950mm。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。) |
| 工艺指标 | 是 | 核心指标 | （1）显影后外观检查；（2）显影后开窗区域无胶残留，非开窗区域无胶缺失；（3）显影后图形完整清晰；（4）显影后PR线条无坍塌、无变形；（5）显影均匀性要求:≤±3，计算公式：±（最大值-最小值）/（最大值 最小值），每片测量≥9个点，测量≥5片；测试晶圆：6寸标准晶圆；(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。) |
| 安全保护 | 是 | 核心指标 | （1）至少包括：有防漏电断路保护装置；设备带有温度过温报警功能；底部装有漏液传感器，机台漏液会有报警提示；有可靠的接地装置及紧急停止和报警系统；真空不足报警，异常报警的情况下将严禁运行设备；（2）整机主要元器件通过国家级认证，性能可靠稳定。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。) |
| 基片尺寸规格 | 是 | 非核心指标 | 6/8寸标准晶圆，材质：硅。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。) |
| 控制系统 | 是 | 非核心指标 | (1)控制系统采用PLC控制；(2)显影单元≥100组，每组≥100步，单步最大3000.0S，时间分辨率≤0.1S(3)烤胶单元≥100组，每组≥5步，单步最大*****.9S，时间分辨率≤0.1S；（3）程序可保存、调用、修改、删除；程序设置至少4级加密权限；（4）信号塔类型：至少包括红、黄、绿3色。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。) |
| 厂务系统 | 是 | 非核心指标 | （1）真空压力≤-85KPa（2）去离子水压力≥0.2MPa（3）氮气压力≥0.6MPa（4）压缩空气压力≥0.6MPa（5）排风压力-350Pa到-450Pa。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。) |
| 电机模块 | 是 | 非核心指标 | （1）转速范围-5000-5000rpm（2）主轴旋转最大加速度≥*****rpm/S（3）转速精度≤±1rpm（50-5000rpm）（4）转速分辨率≤1rpm。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。) |
| 要求名称 | 是否需要附件证明 | 要求说明 |
|---|---|---|
| 营业执照（三证合一） | 是 | 请上传相关证明材料(须加盖供应商公章) |
| 信用中国证明 | 是 | 信用信息报告日期最早应为本项目迅采公告发布之日(须加盖供应商公章) |
| 要求名称 | 是否需要附件证明 | 要求说明 | 评分内容 |
|---|---|---|---|
| 同类业绩 | 是 | 供应商需提供近3年（自2019年1月起至今）同类设备的销售合同，其中需体现合同的签约主体、销售设备名称、签订日期等合同要素的相关内容。同类业绩合同供应商需分列填报上传，合并文件填报或集中填报在同一格子内的算1份业绩。 | |
| 培训计划 | 是 | 到货后30天内供应商提供面向不少于10人、不低于10小时的线上或现场培训指导，供应商响应时提供详细的培训计划。 | |
| 质保期 | 是 | 自到货并验收合格之日起，最低要求质保期2年。 | 2年3年4年及以上 |
| 付款方式 | 是 | 银行保函。合同签订后，乙方需在银行办理合同总额80%的押金担保手续，甲方收到合同总额80%的银行保函后，向乙方支付100%货款。合同总额80%的银行保函在甲方对货物验收合格并签署验收报告后退还乙方。银行保函是1张合同总价80%额度的保函，有效期至 交货期加60日（日期）止 | |
| 交货期 | 是 | 在签订合同后150日内交货。 |
1、质保期为自用户签署最终验收报告之日起，在质保期间出现故障，供应商在接收到用户通知后于1小时以内予以回应、提出解决方案，4小时内维修人员到场，72小时排除故障（特殊情况和不可抗拒因素除外）。在此期间，设备发生任何非误操作造成的故障和损坏，均由供应商负责免费修复，失效零件予以免费更换，更换时所发生的费用均由供应商负担。质量保证期内，停机待修时间不得超过一个月，若超过一个月，则保修期延长待机时间的3倍。同时，提供软件免费升级。
2、货物到达学校后7天内由供应商负责免费安装、调试与技术培训，调试仪器所需耗材由供应商自行负担。仪器安装、调试时进行现场软硬件使用的培训：参与培训人员3～5人；内容：设备的工作原理、操作步骤、正常维护和应用等，使培训人员能够正确、熟练操作及掌握仪器简易的故障判别及排除、维修。培训人员必须为供应商公司专职技术人员，不得派出学生或供应商用户等非公司专职技术人员提供培训，否则用户方将拒绝接受。
3、 供应商根据合同提供的货物应是全新的未使用过的而且是符合国家有关制作标准和环保要求。供应商提供详细的中文操作、维护指南。
4、 定期维护，终身保修，只收取零部件成本费。
1、供应商须先完成并通过供应商注册，方可进行响应。注册网址：https://czb.shu.edu.cn/
2、供应商应具有连续多年从事该设备生产或销售经历，并有良好的声誉，且能提供良好的技术支持。
3、供应商应完全按照标书规定的设备名称、技术要求、数量报价、供货，我方不接受不确定报价。
4、供应商应保证随设备提供必要的安装、调试、培训、维修等服务，并提供合同所约订的免费维修时间及终身成本维修。
5、响应报价中标明的价格或在评审后确定的价格在合同执行过程中是固定不变的（除非采购人对设备提出新的要求）不得以任何理由予以变更。
6、供应商应在响应文件中注明货物的交货期。
7、若成交供应商的报价超出本次项目的经费预算，采购人有取消本次采购的权利。
8、供应商须登录上大迅采系统对每一项要求项进行一一响应，提交证明和支撑材料（加盖单位公章），无证明和支撑材料视为没有响应。
9、响应供应商须保证所提交的响应文件、资料的内容真实、完整、有效、一致，如递交虚假的响应文件、资料或填写信息错误导致的与本项目有关的任何损失由供应商承担。
上海大学
2022-11-08
项目编号：XC********
根据《上海大学采购管理办法（试行）》和《上海大学货物和服务快速采购实施细则》，上海大学微电子学院因教学、科研需要，现以上大迅采方式采购自动显影烘烤机。
1、符合政府采购法第二十二条之供应商资格规定。
2、供应商未被列入“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）失信执行人名单、重大税收违法案件当事人名单，和中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）政府严重违法失信行为记录名单的供应商。
| 采购内容/设备名称 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| 自动显影烘烤机 | 1 | 台 |
| 参数名称 | 是否需要附件证明 | 评分等级 | 参数说明 |
|---|---|---|---|
| 显影单元 | 是 | 核心指标 | （1）腔体数量：≥1个，材质：PP；（2）摆臂速度：1~30°/S，材质：不锈钢；（3）管路至少包括：显影1路（扇形、柱状喷嘴）、去离子水1路、氮气1路、背洗1路；（4）显影方式：自动显影，定点或扫描式；（5）喷嘴工装高度手动可调，液体流量可调，气体压力可调，液体有回吸功能；（6）载物盘材质：PPS；（7）基片固定方式：真空吸附方式；（8）真空检测：数字式压力传感器；（9）供液方式：显影液：18L压力罐；去离子水、氮气：厂务直供；压力罐带有液位检测。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。) |
| 热板 | 是 | 核心指标 | （1）数量：≥1块，上盖材质：不锈钢；（2）面板尺寸：≥220mm*220mm，面板镶嵌陶瓷球；（3）温度：≥200℃，温度分辨率：≤0.1℃；（4）温度均匀性：室温~120℃ ≤±0.75℃，120.1~200℃ ≤±1.5℃，去除边缘10mm，顶针孔除外；（5）控温方式：PID调节，报警方式：正负偏离报警；（6）顶针高度：0~20mm。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。) |
| 机器框架 | 是 | 核心指标 | （1）外壳材质：不锈钢；管路材质：PU/PFA；（2）照明：黄光灯；FFU:百级 ；触摸屏：≥10寸全彩触摸屏，≥2套；（3）开门样式：对开门，带有开门报警功能；（4）机台尺寸：≤ 1600mm（W）*1200mm（D）*1950mm。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。) |
| 工艺指标 | 是 | 核心指标 | （1）显影后外观检查；（2）显影后开窗区域无胶残留，非开窗区域无胶缺失；（3）显影后图形完整清晰；（4）显影后PR线条无坍塌、无变形；（5）显影均匀性要求:≤±3，计算公式：±（最大值-最小值）/（最大值 最小值），每片测量≥9个点，测量≥5片；测试晶圆：6寸标准晶圆；(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。) |
| 安全保护 | 是 | 核心指标 | （1）至少包括：有防漏电断路保护装置；设备带有温度过温报警功能；底部装有漏液传感器，机台漏液会有报警提示；有可靠的接地装置及紧急停止和报警系统；真空不足报警，异常报警的情况下将严禁运行设备；（2）整机主要元器件通过国家级认证，性能可靠稳定。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。) |
| 基片尺寸规格 | 是 | 非核心指标 | 6/8寸标准晶圆，材质：硅。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。) |
| 控制系统 | 是 | 非核心指标 | (1)控制系统采用PLC控制；(2)显影单元≥100组，每组≥100步，单步最大3000.0S，时间分辨率≤0.1S(3)烤胶单元≥100组，每组≥5步，单步最大*****.9S，时间分辨率≤0.1S；（3）程序可保存、调用、修改、删除；程序设置至少4级加密权限；（4）信号塔类型：至少包括红、黄、绿3色。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。) |
| 厂务系统 | 是 | 非核心指标 | （1）真空压力≤-85KPa（2）去离子水压力≥0.2MPa（3）氮气压力≥0.6MPa（4）压缩空气压力≥0.6MPa（5）排风压力-350Pa到-450Pa。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。) |
| 电机模块 | 是 | 非核心指标 | （1）转速范围-5000-5000rpm（2）主轴旋转最大加速度≥*****rpm/S（3）转速精度≤±1rpm（50-5000rpm）（4）转速分辨率≤1rpm。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。) |
| 要求名称 | 是否需要附件证明 | 要求说明 |
|---|---|---|
| 营业执照（三证合一） | 是 | 请上传相关证明材料(须加盖供应商公章) |
| 信用中国证明 | 是 | 信用信息报告日期最早应为本项目迅采公告发布之日(须加盖供应商公章) |
| 要求名称 | 是否需要附件证明 | 要求说明 | 评分内容 |
|---|---|---|---|
| 同类业绩 | 是 | 供应商需提供近3年（自2019年1月起至今）同类设备的销售合同，其中需体现合同的签约主体、销售设备名称、签订日期等合同要素的相关内容。同类业绩合同供应商需分列填报上传，合并文件填报或集中填报在同一格子内的算1份业绩。 | |
| 培训计划 | 是 | 到货后30天内供应商提供面向不少于10人、不低于10小时的线上或现场培训指导，供应商响应时提供详细的培训计划。 | |
| 质保期 | 是 | 自到货并验收合格之日起，最低要求质保期2年。 | 2年3年4年及以上 |
| 付款方式 | 是 | 银行保函。合同签订后，乙方需在银行办理合同总额80%的押金担保手续，甲方收到合同总额80%的银行保函后，向乙方支付100%货款。合同总额80%的银行保函在甲方对货物验收合格并签署验收报告后退还乙方。银行保函是1张合同总价80%额度的保函，有效期至 交货期加60日（日期）止 | |
| 交货期 | 是 | 在签订合同后150日内交货。 |
1、质保期为自用户签署最终验收报告之日起，在质保期间出现故障，供应商在接收到用户通知后于1小时以内予以回应、提出解决方案，4小时内维修人员到场，72小时排除故障（特殊情况和不可抗拒因素除外）。在此期间，设备发生任何非误操作造成的故障和损坏，均由供应商负责免费修复，失效零件予以免费更换，更换时所发生的费用均由供应商负担。质量保证期内，停机待修时间不得超过一个月，若超过一个月，则保修期延长待机时间的3倍。同时，提供软件免费升级。
2、货物到达学校后7天内由供应商负责免费安装、调试与技术培训，调试仪器所需耗材由供应商自行负担。仪器安装、调试时进行现场软硬件使用的培训：参与培训人员3～5人；内容：设备的工作原理、操作步骤、正常维护和应用等，使培训人员能够正确、熟练操作及掌握仪器简易的故障判别及排除、维修。培训人员必须为供应商公司专职技术人员，不得派出学生或供应商用户等非公司专职技术人员提供培训，否则用户方将拒绝接受。
3、 供应商根据合同提供的货物应是全新的未使用过的而且是符合国家有关制作标准和环保要求。供应商提供详细的中文操作、维护指南。
4、 定期维护，终身保修，只收取零部件成本费。
1、供应商须先完成并通过供应商注册，方可进行响应。注册网址：https://czb.shu.edu.cn/
2、供应商应具有连续多年从事该设备生产或销售经历，并有良好的声誉，且能提供良好的技术支持。
3、供应商应完全按照标书规定的设备名称、技术要求、数量报价、供货，我方不接受不确定报价。
4、供应商应保证随设备提供必要的安装、调试、培训、维修等服务，并提供合同所约订的免费维修时间及终身成本维修。
5、响应报价中标明的价格或在评审后确定的价格在合同执行过程中是固定不变的（除非采购人对设备提出新的要求）不得以任何理由予以变更。
6、供应商应在响应文件中注明货物的交货期。
7、若成交供应商的报价超出本次项目的经费预算，采购人有取消本次采购的权利。
8、供应商须登录上大迅采系统对每一项要求项进行一一响应，提交证明和支撑材料（加盖单位公章），无证明和支撑材料视为没有响应。
9、响应供应商须保证所提交的响应文件、资料的内容真实、完整、有效、一致，如递交虚假的响应文件、资料或填写信息错误导致的与本项目有关的任何损失由供应商承担。
上海大学
2022-11-08
标签: 显影
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