Co抛光测试晶圆（耗材）（清设比选20222067号）采购公告
Co抛光测试晶圆（耗材）（清设比选20222067号）采购公告
采购项目名称：Co抛光测试晶圆（耗材）
采购单位：北京市清华大学
付款方式：合同签订后付款70%,验收合格后一周付尾款30%
签约时间要求：成交后5个工作日
交货时间要求：签订合同后3个工作日
交货地址：北京市清华大学
技术参数及配置要求：300mm Si 12吋硅基底/ 1kA PETEOS等离子体增强正硅酸乙酯化学气相沉积二氧化硅/ ~500A PVD Ti 物理气相沉积钛/ ~1KA PVD Co 物理气相沉积钴/ 5kA ECP Co film layer 电镀钴膜
质保期：12个月
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