一、 项目概况及预算：
X射线光电子能谱仪采购项目 670万元
二、技术指标要求：
| 序号 | 采购品目 | 技术参数及要求 | 数量 （单位） | 预算单价 （元） | 预算总价 （元） |
| 1 | X射线光电子能谱仪 （进口设备） | 具体见表后说明 | 1套 | ******* | ******* |
技术参数及要求：
1.Al Kα单色化X射线源XPS性能指标（Ag 3d5/2峰）：
★（1）大束斑分析能量分辨率和灵敏度：≤0.6eV@1500kcps，注明束斑大小。
★（2）较大束斑（100～120μm）能量分辨和灵敏度：≤0.6eV@100kcps，注明束斑大小。
★（3）中等束斑（50～60μm）能量分辨和灵敏度：≤0.6eV@60kcps，注明束斑大小。
★（4）小束斑（≤20μm）能量分辨和灵敏度：≤0.6eV@1.8kcps，注明束斑大小。
★（5）PET样品大束斑分析能量分辨率（O-C=O的C 1s峰）和灵敏度（C-C/C-H的C 1s峰）：≤0.82eV@60kcps。
★（6）最小束斑直径:≤15μm。
（7）选择性分析区域束斑大小：大束斑为Φ200μm以上，应包含较大束斑（100～120μm）、中等束斑（50～60μm）和小束斑（15～20μm）等，满足微区分析需要。
2.单色化高能XPS指标（Ag 3d5/2峰半高全宽@强度，如果提供高能X射线源则需应答此指标）：
★（1）X射线源类型：Ag单色或其他单色高能X射线源。
★（2）大束斑能量分辨（Ag 3d5/2峰）：≤0.9eV。
（3）大束斑灵敏度（Ag 3d5/2峰）：≥5kcps。
3.真空系统性能指标：
（1）分析室：μ金属制造，烘烤后真空度优于7×10-8Pa。
（2）进样室：不锈钢制造，烘烤后真空度优于7×10-7Pa。
（3）烘烤系统：集成于系统，含有控制单元，软件控制，最高烘烤温度不低于120 ºC。
4.单色化X光源：
★（1）类型：单一靶面的水冷单色化Al阳极或Al/Ag（或其他高能X射线源，X射线光子能量不低于2,800eV）双阳极，至少12个新鲜靶点，包括8个Al靶点，4个Ag靶点，软件控制换点并调整校准。
★（2）最大功率：不小于100W。
（3）单色器：水冷大背板石英晶体单色器，确保分光晶体的晶格常数不随环境温度发生变化。罗兰圆不小于500mm，以获得本征宽度不大于0.25eV的单色Al Kα的X射线。
5.静电传输透镜：
（1）能量扫描范围：不小于0～3000eV。
（2）最小能量步长：不大于1.5meV。
（3）分析束斑：大束斑（不小于200μm），较大束斑（不小于100μm）、中等束斑（不小于50μm）和小束斑（不大于20μm）。
★6.荷电中和器：与静电传输透镜同轴的超低能单电子源和/或双束中和（电子源和离子源）。
7.电子能谱能量分析器：
（1）类型：180°半球扇形分析器。
★（2）平均半径：不小于150mm。
（3）通过能（FAT/CAE模式）：1～400eV可调，注明测试时实际使用的通过能预设值。通过能的设置值应保证能用于实际测试，满足电子能谱的不同能量分辨率和灵敏度的需要。对于每一个用于实际测试的通过能设置值，均应精确校准谱仪传输函数，确保在这些通过能设置值下实现精准的XPS定量分析。
8.成像电子能量分析器：
（1）类型：180°半球球镜分析器。
★（2）平均半径：不小于150mm。
（3）通过能：可满足XPS平行成像的不同能量能量分辨和灵敏度的要求，确保能够区分同一元素的不同化学状态。
9.检测器：
★（1）类型：单一的二维阵列检测器或通道式倍增器+成像检测器的双检测器或一维位敏检测器，确保可同时记录光电子发射位置及其强度，可满足XPS采谱和成像XPS、微区XPS、深度剖析XPS、动态XPS工作需要。
（2）工作模式：XPS模式下可实现“扫描”以及“拍照”等工作模式，以满足动态表面X射线光电子能谱分析的需求。
10.深度剖析离子枪：
（1）离子源类型：聚焦可扫描离子源，单个Ar原子和团簇Ar双模式。
（2）可使用气体：Ar/Ar团簇（XPS深度剖析）/He（离子散射谱，ISS）。
（3）单Ar离子能量：0.5～5keV或优于。
★（4）团簇Ar离子最高能量：不低于8keV。
★（5）团簇Ar最大离子团簇：不低于2,000Ar。
（6）气体控制：软件控制，配套高精度进气阀门和差分真空抽气系统。
11. 分析室样品控制、观察和调整：
（1）轴向：5轴样品台，即X、Y、Z移动，绕轴和绕样品面法线转动。
（2）移动：X方向≥150mm，Y方向≥±15mm，Z方向≥18mm。
（3）绕轴转动：±90°。
（4）绕样品法线转动：±180°。
★（5）最大可分析面积：不小于50mm×20mm（1000mm2）。
（6）控制：软件操控样品台，记忆和恢复分析位置以实现无人值守的自动分析。
（7）观察：软件控制变焦CCD摄像机在不同的放大倍率下实时观察、精确定位分析位置和截取图像。
（8）调整：通过可变焦CCD摄像机和实时成像系统确定分析位置，并可软件自动确定最佳的分析高度。
（9）加热制冷装置温度控制范围：不小于-100℃～800℃。
12.进样室样品控制、观察和调整：
（1）进样方式：应具备水平放置的、可一次装入并存储3个样品条的多样品停放台，应具备软件控制的全自动进样和样品交换功能。
★（2）定位相机：可在抽真空时对分析样品定位，真空度达到后转入分析室实施无人值守的全自动分析（包括全谱、高分辨谱和自动确定样品最佳分析高度）。
13.谱仪控制和数据处理：
（1）谱仪控制：全计算机自动控制。
（2）数据处理：定性分析、定量分析、曲线拟合等。
（3）计算机：主流品牌工作站（双显示器）。
14.紫外光电子能谱（UPS）：
（1）光源：He紫外光源。
（2）能量分辨和灵敏度：Ag费米边20%～80%≤120meV时Ag 4d计数率≥1Mcps。
15.冷却水系统：循环冷却系统，功率满足阳极靶、涡轮分子泵、磁透镜和石英单色器冷却需要。
16.备品备件：
（1）随机备件：保证仪器正常运行的一年随机备件及工具套包。
（2）保外备件：保修期后仪器运行五年的消耗品和其他易损备件。
17.不间断电源和隔离变压器：
（1）不间断电源：保证仪器持续运行两小时的不间断电源。
（2）隔离变压器：确保仪器正常工作的外电源隔离变压器一套。
18.培训：
（1）现场培训：至少三天的现场培训，保证操作人员熟练基本操作。
（2）高级应用培训：至少三天的用户现场的高级应用培训。
19.实验室环境增强远程支持应用系统，需提供真实机器图片作为证明文件：
（1）专业增强现实头戴显示器及专属配件、无需另外购置电脑或配件，插电即用。
（2）完整的服务软件平台、配套运营管理系统。
（3）可视化界面简化操作方式，零学习成本。
（4）采用高精密反射式自由曲面光学模组，高像质、低畸变的成像质量。
（5）软件功能要求，内置即时通讯软件功能。可组网增强现实远控智能数据终端与外部PC，移动通讯设备间的实时通讯交互。可通过扫描二维码，访问平台设施数据。可与实验室环境安全及智慧管理平台数据进行交互。就地增强现实远控智能数据终端设备可通过扫描设备、仪器的二维码，在全息辅助界面下查询，包括但不限于电子文件介绍、培训手册、操作演示模型或者视频等实时支持信息（需提前录入电子文件、视频等资料）。就地增强现实远控智能数据终端设备可实时语音视频通讯，建立设备现场与后端维护、培训、专家后台的通讯通道，对现场设备使用给予支持、建议、指导。增强现实便携式终端的实时语音视频通讯支持：空间标定-通过专家点击现场画面内容，在现场人员前方前实时显示空间闪动标记。增强现实便携式终端和PC端均可成为专家启用此项功能。标记颜色三种颜色可选。
（6）实验室专用增强现实数字共享终端功能：具有轻巧的可穿戴性，不低于1920*1080的OLED高清显示屏，对比度不低于******:1；不低于120寸虚拟大屏，FOV34度或优于；可调节显示器在眼前的位置高度，让出安全作业视野；不低于60m无线传输半径；不低于1080P 60Hz超清传输。
（7）远程设备程序控制功能：支持任何带有串口（RS485和RS232）、标准工业以太网、USB接口的设备。自带网络，支持无线通信。可在PC端远程上传、下载现场设备的系统程序。
（8）增强现实便携式终端CPU芯片：高通骁龙835 2.45GHz或优于； 内存：6G RAM/128G ROM或优于。
（9）分辨率不低于1920*1080P；至少800万高清摄像头；高精密反射式自由曲面光学模组，高像质、低畸变，成像质量优秀。
20.软件终身免费升级。
21.主机配置单不少于以下：
（1）XPS射线光电子能谱仪主机：1套；
（2）半球采谱和成像球镜分析器：1套；
（3）自动选区光阑：1套；
（4）自动选区光圈：1套；
（5）自动成像分析狭缝：1套；
（6）进样锁抽空套件：1套；
（7）进样室机械泵：1套；
（8）分析室300升/秒以上涡轮分子泵和600升/秒以上钛升华泵：1套；
（9）分析室抽空套件：1套；
（10）分析室机械泵：1套；
（11）五轴自动样品台系统：1套；
（12）高倍率样品分析室显微镜：1套；
（13）自动单色化Al/Ag双阳极X射线源：1套；
（14）多模式一体式气体团簇离子枪：1套；
（15）控制及数据处理软件：1套；
（16）数据库：1套；
（17）冷却水增压泵：1套；
（18）系统控制器：1套；
（19）全自动进样器：1套；
（20）主电源配电装置：1套；
（21）紫外光电子能谱套件：1套；
（22）原厂随机分析室加热制冷附件(不小于-100℃～+800℃)：1套；
（23）加热制冷软件控制软件：1套；
（24）原厂随机最大熵方法(MEM)重构软件：1套；
（25）实验室环境增强远程支持应用系统：1套；
（26）原厂备用消耗品：
①Al/Ag单色阳极套件：1套；
②单色阳极灯丝：3套；
③荷电中和器套件：1套；
④ 微束VI型离子枪灯丝套件：1套；
（27）外围辅助设备：
①冷却循环水：1台；
②不间断电源（含隔离变压器）：1台；
（28）离子散射谱套件ISS：1套；
（29）惰性气体传输器：1台；
（30）普通氮气钢瓶及进口精密减压阀（40L）：1套；
（31）高纯氮气钢瓶及进口精密减压阀（40L）：1套；
（32）高纯氩气钢瓶及进口精密减压阀（40L）：1套；
（33）高纯氦气钢瓶及进口精密减压阀（40L）：1套。
二、供货时间：合同签订后12个月内供货完毕，货到后15日内安装调试培训完毕。
三、供货地点：渤海大学（松山校区）综合实验楼。
四、质保期：验收后整机质保期一年。在质保期内设备如发生严重质量问题，供应商负责免费更换设备。在质保期内设备如出现质量问题,供应商免费更换或维修故障部件，维修期间按照采购方要求提供备机。质保期内(除天灾及人为损害外)部件、元件费用、出差费用均由供方承担。质保期过后供应商提供成本维修服务。
3.本项目的特定资格要求：截至投标截止时间前，经“信用中国”、“中国政府采购网”政府采购严重违法失信行为信息记录，被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的不得参加本采购项目
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