上海积塔半导体有限公司特色工艺生产线建设项目国际招标公告(1)-4197-2140SHJT0001/166
上海积塔半导体有限公司特色工艺生产线建设项目国际招标公告(1)-4197-2140SHJT0001/166
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
4197-2140SHJT0001/166 | 场氧化炉管 | 5 | 要求设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | |
4197-2140SHJT0001/167 | 栅极氧化炉管;栅极氧化炉(薄);高温炉管;高温氧化硅沉积炉管 | 2;1;4;1 | 要求设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | |
4197-2140SHJT0001/168 | 掺氧半绝缘多晶硅沉积炉管;多晶硅沉积炉管;氮化硅沉积炉管;氧化硅沉积炉管 | 2;2;4;4 | 要求设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 |
标签: 特色工艺生产
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