0730-154011020075/09超音波干式清洗机国际招标公告(2)
0730-154011020075/09超音波干式清洗机国际招标公告(2)
中航技国际经贸发展有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2015-05-13在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:制造执行系统装置;一次切割机;(小尺寸)偏光片贴附机;超音波干式清洗机;刻蚀终点侦测器;涡轮分子泵
资金到位或资金来源落实情况:已到位
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:****-********0075/09
招标项目名称:超音波干式清洗机
项目实施地点:中国福建省
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 制造执行系统装置 | 1 套 | MES系统分为2个部分:前段MES和后段MESEAP系统要求涵盖附件3(XMTM G6 Host Online EQP List)中所有EAP架构的设备自动化及其接口,和检测/测量/测试设备数据接口。EDB系统要求涵盖前段和后段。EES/PMS系统要求涵盖前段和后段。 | ****-********0075/04 |
2 | 一次切割机 | 2 台 | 基板尺寸:1500mm*1850mm;合板厚度:0.2(0.1+0.1)mm~1.4(0.7+0.7)mm;单板厚度:0.1mm~0.7mm; | ****-********0075/05 |
3 | (小尺寸)偏光片贴附机 | 6台 | 适用Panel与偏光片的尺寸:3.97寸(85×45mm)~9寸(210×130mm)适用Panel厚度:(0.1~0.7)×2=0.2~1.4mm适用偏光片厚度:0.07~0.3mm(该厚度仅指偏光片本体,不包含保护膜与离型膜) | ****-********0075/08 |
4 | 超音波干式清洗机 | 6台 | 残留颗粒≥3um,去除率≥97%;残留颗粒≥1.6um,去除率≥95%;残留颗粒去除率测试条件(测试用3um及1.6um Spacer 由设备供应商准备):残留颗粒去除率=(测试spacer散布后颗粒数-USC清洁后颗粒数)/(测试spacer散布后颗粒数-测试spacer散布前颗粒数)*100%;或其它使用方认可的测试方法。 | ****-********0075/09 |
5 | 刻蚀终点侦测器 | 8套 | 刻蚀终点侦测器要求能够被应用于TEL Impressio 1800型号设备刻蚀终点侦测器要求能够被应用于ICD HE1800-CDCT型号设备等离子体稳定后10秒以内,EPD是可以成功侦测的; | ****-********0075/10 |
6 | 涡轮分子泵 | 190台 | 本设备配套应用于TEL 低温多晶硅干刻蚀机台Impressio 1800 使用72台,ICD 低温多晶硅灰化机台HE1800-CDCT 使用24台,备用泵8台,刻蚀机使用涡轮分子泵共104台;本设备配套应用于NISSIN 低温多晶硅离子注入设备iG6 2个型号分别为77台及7台,2个型号备用泵各1台(备用泵共2台),Nissin 设备共使用涡轮分子泵86台; | ****-********0075/12 |
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