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清华大学磁控溅射系统采购项目单一来源公示
一采购人：清华大学
二地址：北京市海淀区清华园
三联系方式：王琦sbcwqtsinghua.edu.cn
四项目名称：磁控溅射系统采购项目
项目编号：清设招第2022598号
五采购内容：磁控溅射系统
六采用单一来源采购方式原因及说明
本设备拟用于建设的新材料科技创新与挑战实验室的信息功能材料平
台，重点培养学生开展新材料及在半导体传感超材料等信息功能相关领域
的科创研究性学
拟购 的 磁控溅射系统在 体 室 实 于5 0 5 a的
， 控 的 台，在850 实 的
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方， 室一 磁传，在 体 的 传
体内， 于 体 的 控 备功能，
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警安互锁 紧急 护功能， 证设备 时的安 根据调研fi果，目前
市场上仅 深圳市矩阵多元科技 限公司 的磁控溅射系统 满足加热
性 清洁 及 护稳 性等所 技术指标求 故采用单一来
源采购
七基本 技术要求：
室尺寸：500 mm 500 mm 500 mm， 室， 备 分子泵
涡 干泵 及量程 ，本底 于 5x 0 5 a 磁控 ，
500 W直流电源 台00 W射频电源 台 及电源切换器衬底加热 ：
850 ，稳 性 最大基片尺寸：2 英寸两路气路，两
质量流量 水冷系统一
八 造商：深圳市矩阵多元科技 限公司
地址：深圳市龙华区民治街道上芬社区龙屋区6号厂房101一二楼
九征求意见期限从2022年11月21 至2022年11月24 止
十潜在 应商对公示内容 异议的，请于公示期满后1个作 内 书意
见(括： 应商名称联系人联系电话能够 本政府采购项目的说明)
反馈至清华大学(联系人：王琦 62771946，邮箱：sbcwqtsinghua.edu.cn)

联系人：郝工
电话：010-68960698
邮箱：1049263697@qq.com